ワークピースキャリアデバイス及び塗装装置

Japanese Patent JP2022504759

A

本発明は、主軸（２）を中心に回転可能な、ワークピース配列（４）を受ける駆動ギア（３）と、駆動ギア上に配置され、回転軸（５）を中心に回転可能であり、駆動ピニオン（８）と、駆動ピニオンに噛み合う内歯を備えた固定された内部入力ギア（９）とを有する複数の駆動体（６）とを含み、回転軸は主軸に平行に延び、主軸に対して同心円状に延びる駆動ギアの環状領域に配置されるので、内部入力ギアに対して駆動ギアが回転すると、駆動体はそれぞれの回転軸を中心に回転し、内部入力ギアと駆動ピニオンを有する駆動体とが相互に関連して形成及び配置され、動作中に駆動ピニオンのすべてに等しく駆動効果が伝達されるように、内部入力ギアと駆動ピニオンとの間に作動クリアランス（Ｓ）が設けられているワークピースキャリアデバイス（１）に関する。本発明はまた、このようなワークピースキャリアデバイスを含む塗装装置（１００）に関する。

JP3970359	DEVICE FOR CLAMPING AND HOLDING FLAT SUBSTRATE
JPH07130677	SUBSTRATE HEATING METHOD WITH INFRARED RAYS AND SUBSTRATE HEATING APPARATUS
JP5190802	In-line film deposition processing equipment

Mailer, Rudolph

JP2021520111A

January 13, 2022

October 28, 2019

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Oerlikon Surface Solutions AG,Pfaffikon

C23C14/50; F16H1/06; F16H55/06; F16H55/08

Hidekazu Miyoshi
Masakazu Ito
Yuko Hara
Kazushi Obuchi

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