Title:
自動交換装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024007748
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】切削ブレードを支持する固定フランジの支持端面に汚れや傷が付いてしまっても、切削ブレードの回転中心とスピンドルの回転軸線との間にズレが生じるのを防止することができる自動交換装置を提供する。【解決手段】自動交換装置２は、複数の切削ブレード３６を保管する切削ブレード保管手段４と、切削装置の切削手段のスピンドルの先端に形成され切削ブレード３６を支持する固定フランジの支持端面を修正する修正治具１３２を保管する修正治具保管手段５と、切削ブレード保管手段４から切削ブレード３６を、または修正治具保管手段５から修正治具１３２を搬出および搬入する搬出入手段６とを含む。修正治具１３２は、支持端面から汚れまたは傷を除去する研磨部と、支持端面の状態を検出するセンサーとを有する。【選択図】図１
Inventors:
Shintaro Matsuoka
Terashi Kentaro
Terashi Kentaro
Application Number:
JP2022109039A
Publication Date:
January 19, 2024
Filing Date:
July 06, 2022
Export Citation:
Assignee:
Disco Co., Ltd.
International Classes:
B24B45/00; B24B7/04; B24B27/06; B24B49/12; H01L21/301
Attorney, Agent or Firm:
Sachiko Okunuki
Tsuyoshi Tsukano
Yoshifumi Kaneko
Tsuyoshi Tsukano
Yoshifumi Kaneko