Title:
A ceramics material and a sputtering target member
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2014073388
Kind Code:
A1
Abstract:
本発明のセラミックス材料は、マグネシウム、ガリウム、リチウム及び酸素を主成分とするセラミックス材料であって、酸化マグネシウムに酸化ガリウム及び酸化リチウムが固溶した固溶体の結晶相を主相とするものである。この固溶体は、ＣｕＫα線を用いたときの（２００）面のＸＲＤピークが酸化マグネシウムの立方晶のピークより大きい２θ＝４２．９１°以上に現れることが好ましく、２θ＝４２．９１°〜４３．２８°に現れることがより好ましく、２θ＝４２．９１°〜４３．０２°に現れることが更に好ましい。更に、セラミックス材料は、ＬｉとＧａとのモル比Ｌｉ／Ｇａが０．８０以上１．２０以下の範囲にあることが好ましい。
Inventors:
Yosuke Sato
Yoshinori Isoda
Yuji Katsuta
Yoshinori Isoda
Yuji Katsuta
Application Number:
JP2014545646A
Publication Date:
September 08, 2016
Filing Date:
October 24, 2013
Export Citation:
Assignee:
Nippon Insulator Co., Ltd.
International Classes:
C04B35/053; C23C14/34; H01L21/8246; H01L27/105; H01L29/82; H01L43/12
Domestic Patent References:
| JPS57202603A | 1982-12-11 | |||
| JP2007305610A | 2007-11-22 | |||
| JP2006080116A | 2006-03-23 | |||
| JPS4810044A |
Foreign References:
| WO2012056875A1 | 2012-05-03 | |||
| WO2012056808A1 | 2012-05-03 |
Other References:
LEI,LI ET AL.: "Disorder-activated Raman spectra of cubic rocksalt-type Li(1-x)/2Ga(1-x)2MxO(M=Mg,Zn) alloys", JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, vol. Vol.112, pp.043501-1 to 043501-6, JPN6014002951, 16 August 2012 (2012-08-16), US, ISSN: 0003448165
Attorney, Agent or Firm:
Aitec International Patent Office