Title:
ドナーシート及び光誘起前方転写による製造方法
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2015521234
Kind Code:
A
Abstract:
光誘起前方転写による製造方法はドナーシートから構造体上への材料の転写を与える。使用されるドナーシートは当該ドナーシートの表面に溝を備え、溝内に転写材料を有している。この材料は溝の底部に沿って光スポットのスキャンにより転写される。使用されるドナーシートは、スキャン方向において溝の平均深さが変化する。これはドナーシートを介した溝からの位置情報の光学的な読み出し、及び／又は溝から所定高さの輪郭を有する構造の転写に役立つ。平均深さとの組み合わせにおいて、又はそれら自身によって、光学的な位置情報の読み取り及び／又は所定構造の転写を支援するために、溝幅、平均トラックからの溝のずれ若しくは溝の底部の材料の厚さ又は組成が溝に沿った位置の関数として変化してもよい。【選択図】図２
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Inventors:
Mainders, Elwyn Rinaldo
Frederas, Henri
Planen, Anne Maria
Frederas, Henri
Planen, Anne Maria
Application Number:
JP2015510202A
Publication Date:
July 27, 2015
Filing Date:
May 01, 2013
Export Citation:
Assignee:
Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO
International Classes:
C23C14/04; C23C14/28
Domestic Patent References:
| JP2010267410A | 2010-11-25 |
Foreign References:
| DE10237732B4 | 2004-08-26 | |||
| WO2009154156A1 | 2009-12-23 | |||
| WO2009157077A1 | 2009-12-30 |
Attorney, Agent or Firm:
Kimura Mitsuru
Takanori Mamoru
Taiji Morikawa
Kei Sakurada
Mie Hideki
Takanori Mamoru
Taiji Morikawa
Kei Sakurada
Mie Hideki