Title:
交換装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024026477
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】研削装置で使用される研削工具を交換する、技術を提供する。【解決手段】交換装置は、研削装置で使用される研削工具を交換する。研削装置は、処理体を保持する保持部と、前記保持部に保持されている前記処理体を研削する研削工具が交換可能に取付けられる加工機構と、を備える。前記交換装置は、前記加工機構に前記研削工具を取付ける、又は前記加工機構から前記研削工具を取外す交換機構と、前記交換機構を移動させる多関節アームと、を備える。前記交換機構は、前記研削工具を保持する保持機構と、前記研削工具と前記加工機構とを締結する締結具を締める、又は緩める操作機構と、を備える。【選択図】図６
Inventors:
Yasutaka Mizomoto
Susumu Hayakawa
Susumu Hayakawa
Application Number:
JP2023216551A
Publication Date:
February 28, 2024
Filing Date:
December 22, 2023
Export Citation:
Assignee:
東京エレクトロン株式会社
International Classes:
B24B45/00; B23Q3/157; B23Q17/24; B24B7/04; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
Tadashige Ito
Tadahiko Ito
Tadahiko Ito