以下、本発明の実施の形態による角速度� ��ンサについて、添付図面を参照しつつ詳細� ��説明する。

 まず、図1ないし図6は第1の実施の形態に� ��る角速度センサ1を示している。図において 、角速度センサ1は、基板2、駆動質量部4~7、� ��結梁8、接続部9~12、駆動梁13~16、振動発生部 17~20、検出質量部22~25、検出梁26~29、変位検出 部30~33、振動モニタ部35~38等によって構成さ� �ている。

 基板2は、角速度センサ1のベース部分を� �成している。そして、基板2は、例えばガラ� ��材料等により四角形の平板状に形成され、� ��いに直交するX軸,Y軸およびZ軸方向のうち、 例えばX軸およびY軸方向に沿って水平に延び� ��いる。

 また、基板2上には、例えば導電性を有す る低抵抗なシリコン材料等にエッチング加工 を施すことによって、支持部3、駆動質量部4~ 7、連結梁8、接続部9~12、駆動梁13~16、駆動用� ��ンド21、検出質量部22~25、検出梁26~29、検出� ��ランド34、振動モニタ部35~38、モニタ用ラン ド39、シールドランド40等が形成されている� �

 支持部3は、基板2の表面に設けられてい� �。また、支持部3は、基板2のうち角隅側の4� �所にそれぞれ配置されている。そして、4つ� ��支持部3に取囲まれた基板2の中央側部分に� �、駆動質量部4~7、検出質量部22~25等が基板2� �ら浮いた状態で設けられている。また、後� �する振動発生部17~20の可動側駆動電極17A~20A� �変位検出部30~33の可動側検出電極となる検出 質量部22~25等は、支持部3を介してグランドに 接続されている。

 駆動質量部4~7は、基板2の表面と隙間をも って対向し、中心部(中心点O)に対して点対称 な位置に配置されている。また、駆動質量部 4~7は、中心点Oを取囲む周方向に対して90°毎� ��互いに等間隔で配置されている。このため� ��X軸側駆動質量部4,5は、X軸に沿って配置さ� �、中心点Oを挟んで互いに対向している。一� ��、Y軸側駆動質量部6,7は、X軸と直交したY軸� ��沿って配置され、中心点Oを挟んで互いに対 向している。

 また、駆動質量部4~7は、例えば略五角形� ��枠状に形成されている。ここで、X軸側駆動 質量部4,5は、X軸方向の内側部位が中心点Oに� ��けて突出し、中心点Oに近付くに従って幅寸 法(Y軸方向寸法)が徐々に小さくなっている。 同様に、Y軸側駆動質量部6,7は、Y軸方向の内� ��部位が中心点Oに向けて突出し、中心点Oに� �付くに従って幅寸法(X軸方向寸法)が徐々に� �さくなっている。また、駆動質量部4~7の内� �側の突出部分(頂点部分)には、中心点Oに向� �て突出した接続用腕部4A~7Aが設けられている 。このとき、接続用腕部4A~7Aは、X軸、Y軸お� �びZ軸のいずれの方向にも撓み変形しないよ� ��に、高い剛性を有している。そして、接続� ��腕部4A~7Aの先端部位が、例えば駆動質量部4~ 7がX-Y平面上で振動するときの支点となって� �る。

 連結梁8は、中心点Oを取囲む環状に形成� �れ、駆動質量部4~7を互いに連結する。具体� �には、連結梁8は、例えば略円形の細長い枠� ��に形成され、X軸方向の両端側部位およびY� �方向の両端側部位がそれぞれ接続用腕部4A~7A の先端に接続されている。そして、駆動質量 部4~7が基板2と水平な状態で中心点Oを取囲む� ��方向に駆動振動したときに、連結梁8全体が 楕円形状となるように撓み変形する(図6参照) 。これにより、連結梁8は、各駆動質量部4~7� �駆動振幅および位相が一致するように調整� �る。

 接続部9~12は、図1および図2に示すように� ��中心点Oを中心として放射状に延び、連結梁 8に接続されている。また、接続部9~12は、周� ��向で隣合う2つの駆動質量部4~7の間にそれぞ れ位置して、中心点Oに対して点対称な位置� �配置されている。このため、接続部9は駆動� ��量部4,6の間に配置されると共に、接続部10� �駆動質量部5,7の間に配置され、これらの接� �部9,10は、X軸に対して45°傾斜した軸線上に� �置して互いに対向している。同様に、接続� �11は駆動質量部4,7の間に配置されると共に、 接続部12は駆動質量部5,6の間に配置され、こ� ��らの接続部11,12は、X軸に対して-45°傾斜し� �軸線上に位置して互いに対向している。こ� �により、接続部9,10と接続部11,12とは、互い� �直交している。そして、接続部9~12は、X軸、 Y軸およびZ軸のいずれの方向にも撓み変形し� ��いように、高い剛性を有している。

 駆動梁13~16は、接続部9~12の先端にそれぞ� ��設けられ、接続部9~12と支持部3との間を接� �している。ここで、駆動梁13~16は、例えば2� �の折返した梁を互いに対向して配置するこ� �によって構成され、接続部9~12と直交した方� ��に延びた細長い枠状に形成されている。そ� ��て、駆動梁13~16は、接続部9~12が長さ方向に� ��位したときに、枠内の空間が拡大、縮小す� ��ように撓み変形する。これにより、駆動梁1 3~16は、連結梁8が撓み変形するときに、各接� ��部9~12を長さ方向に変位可能に支持する。

 振動発生部17~20は、駆動質量部4~7をそれ� �れ駆動振動する駆動手段を構成している。� �して、振動発生部17~20は、駆動質量部4~7の外 径側に取付けられた可動側駆動電極17A~20Aと� �基板2上の駆動用ランド21に取付けられた固� �側駆動電極17B~20Bとによって構成されている� ��

 ここで、可動側駆動電極17Aは、例えば駆� ��質量部4から中心点Oを中心とする径方向外� �に向けて放射状に延びた2つの櫛歯状電極に� ��って構成され、該櫛歯状電極には長さ方向� ��間隔をもって複数の電極板が配置されてい� ��。そして、可動側駆動電極17Aは、駆動質量� ��4のうちY軸方向の一側に配置されている。

 また、可動側駆動電極18Aも、可動側駆動� ��極17Aと同様に、例えば駆動質量部5から中心 点Oを中心とする径方向外側に向けて放射状� �延びた2つの櫛歯状電極によって構成されて� ��る。但し、可動側駆動電極18Aは、駆動質量� ��5のうちY軸方向の他側に配置されている。� �れにより、可動側駆動電極17Aと可動側駆動� �極18Aとは、中心点Oに対して点対称な位置に� ��置されている。

 一方、可動側駆動電極19Aは、例えば駆動� ��量部6から中心点Oを中心とする径方向外側� �向けて放射状に延びた2つの櫛歯状電極によ� ��て構成され、該櫛歯状電極には長さ方向に� ��隔をもって複数の電極板が配置されている� ��そして、可動側駆動電極19Aは、駆動質量部6 のうちX軸方向の一側に配置されている。

 また、可動側駆動電極20Aも、可動側駆動� ��極19Aと同様に、例えば駆動質量部7から中心 点Oを中心とする径方向外側に向けて放射状� �延びた2つの櫛歯状電極によって構成されて� ��る。但し、可動側駆動電極20Aは、駆動質量� ��7のうちX軸方向の他側に配置されている。� �れにより、可動側駆動電極19Aと可動側駆動� �極20Aとは、中心点Oに対して点対称な位置に� ��置されている。

 また、固定側駆動電極17B~20Bは、可動側駆 動電極17A~20Aと平行な状態で径方向外側に向� �て延びた櫛歯状電極によって構成されてい� �。そして、可動側駆動電極17A~20Aの電極板と� ��定側駆動電極17B~20Bの電極板とは、互いに隙 間をもって噛合している。

 また、固定側駆動電極17B~20Bは、それぞれ 基板2に固定された4つの駆動用ランド21に取� �けられ、電気的に接続されている。このと� �、4つの駆動用ランド21は、例えば駆動梁15,16 に接続された支持部3を挟んだ位置に設けら� �、支持部3の幅方向(周方向)の両側に配置さ� �ている。これにより、固定側駆動電極17B~20B� ��よび駆動用ランド21も、可動側駆動電極17A~2 0Aと同様に、中心点Oに対して点対称な位置に 配置されている。

 そして、固定側駆動電極17B,18Bに同じ駆動 信号(電圧信号等)を印加すると、可動側駆動� ��極17A,18Aと固定側駆動電極17B,18Bとの間には� �Y軸に沿って互いに逆方向の駆動力F1,F2(静電� ��)が発生する。これにより、駆動質量部4,5は 、互いに逆位相でY軸方向に振動する。

 一方、固定側駆動電極19B,20Bに同じ駆動信 号(電圧信号等)を印加すると、可動側駆動電� ��19A,20Aと固定側駆動電極19B,20Bとの間には、X� ��に沿って互いに逆方向の駆動力F3,F4(静電力) が発生する。これにより、駆動質量部6,7は、 互いに逆位相でX軸方向に振動する。

 さらに、振動発生部17~20は、周方向で隣� �う駆動質量部4~7が逆位相となる状態で、4つ� ��駆動質量部4~7を中心部を取囲む周方向に向� ��て振動させる。このため、駆動質量部4,6が� ��付くときには、残余の駆動質量部5,7は互い� ��近付き、駆動質量部4,6と駆動質量部5,7とは� ��いに遠ざかる。一方、駆動質量部4,7が近付� ��ときには、残余の駆動質量部5,6は互いに近� ��き、駆動質量部4,7と駆動質量部5,6とは互い� ��遠ざかる。

 検出質量部22~25は、駆動質量部4~7の内部� �位置して駆動質量部4~7にそれぞれ設けられ� �いる。また、検出質量部22~25は、駆動質量部 4~7と相似な略五角形の板状に形成されている 。さらに、検出質量部22~25は、径方向外側に� ��けて突出した接続用突出部22A~25Aを備えてい る。そして、検出質量部22~25は、接続用突出� ��22A~25Aおよび後述の検出梁26~29を介して駆動� ��量部4~7に接続され、基板2の表面と隙間をも って対向している。

 検出梁26~29は、検出質量部22~25よりも径方 向外側に位置して検出質量部22~25と駆動質量� ��4~7との間に設けられ、検出質量部22~25を基� �2の厚さ方向に変位可能に支持している。ま� ��、検出梁26~29は、中心点Oを取囲む周方向に� ��けて延び、検出質量部22~25が基板2の厚さ方� ��に変位するときに、捩れ変形する捩れ支持� ��を用いて形成されている。具体的には、検� ��梁26~29は、幅寸法δをもって直線状に延びる 細長い板状の梁によって形成されている。

 そして、検出梁26,27は、駆動質量部4,5内� �位置してY軸方向に延び、長さ方向の中央部� ��に検出質量部22,23の接続用突出部22A,23Aが取� ��けられている。また、検出梁28,29は、駆動� �量部6,7内に位置してX軸方向に延び、長さ方� ��の中央部分に検出質量部24,25の接続用突出� �24A,25Aが取付けられている。これにより、検� ��質量部22~25は中心点Oに近い径方向内側部分� ��自由端となるから、検出梁26~29は片持ち状� �で検出質量部22~25を支持する。

 そして、X軸周りの角速度ω1が作用したと きには、Y軸方向に振動する駆動質量部4,5に� �、角速度ω1に応じてZ軸方向(基板2の厚さ方� �)に向かうコリオリ力Fxが発生する。このと� �、検出梁26,27は検出質量部22,23をZ軸方向に変 位可能に支持しているから、検出質量部22,23� ��、角速度ω1に応じてZ軸方向に振動する。

 一方、Y軸周りの角速度ω2が作用したとき には、X軸方向に振動する駆動質量部6,7には� �角速度ω2に応じてZ軸方向(基板の厚さ方向)� �向かうコリオリ力Fyが発生する。このとき、 検出梁28,29は検出質量部24,25をZ軸方向に変位� ��能に支持しているから、検出質量部24,25は� �角速度ω2に応じてZ軸方向に振動する。

 変位検出部30~33は、検出質量部22~25が基板 2の厚さ方向に変位するのを検出する変位検� �手段を構成している。また、変位検出部30~33 は、可動側検出電極としての検出質量部22~25� ��、基板2に設けられた例えば導体薄膜からな る固定側検出電極30A~33Aとによって構成され� �いる。ここで、検出質量部22~25と固定側検出 電極30A~33Aとは、Z軸方向で互いに対向してい� ��。

 また、固定側検出電極30A~33Aは、それぞれ 基板2に固定された4つの検出用ランド34に取� �けられ、電気的に接続されている。このと� �、4つの検出用ランド34は、駆動質量部4~7の� �方向外側に配置されている。これにより、� �定側検出電極30A~33Aおよび検出用ランド34も� �検出質量部22~25と同様に、中心点Oに対して� �対称な位置に配置されている。

 そして、検出質量部22~25がZ軸方向に振動� ��たときには、検出質量部22~25と固定側検出� �極30A~33Aとの間の距離が変化する。これによ� ��、検出質量部22~25と固定側検出電極30A~33Aと� ��間の静電容量Cs1~Cs4も変化する。このため、 変位検出部30~33は、検出質量部22~25のZ軸方向� ��変位量を検出質量部22~25と固定側検出電極30 A~33Aとの間の静電容量Cs1~Cs4の変化によって検 出する。

 振動モニタ部35~38は、駆動質量部4~7の振� �方向の変位を検出するモニタ手段を構成し� �いる。そして、振動モニタ部35~38は、駆動質 量部4~7の外径側に取付けられた可動側モニタ 電極35A~38Aと、基板2上のモニタ用ランド39に� �付けられた固定側モニタ電極35B~38Bとによっ� ��構成されている。

 ここで、可動側モニタ電極35A~38Aは、振動 発生部17~20の可動側駆動電極17A~20Aとほぼ同様 に駆動質量部4~7から径方向外側に向けて放射 状に延びた2つの櫛歯状電極によって構成さ� �ている。但し、可動側モニタ電極35A,36Aは、� ��動質量部4,5を挟んで可動側駆動電極17A,18Aと はY軸方向の反対側に配置されている。同様� �、可動側モニタ電極37A,38Aは、駆動質量部6,7� ��挟んで可動側駆動電極19A,20AとはX軸方向の� �対側に配置されている。

 また、固定側モニタ電極35B~38Bは、可動側 モニタ電極35A~38Aと平行な状態で径方向外側� �向けて延びた櫛歯状電極によって構成され� �いる。そして、可動側モニタ電極35A~38Aの電� ��板と固定側モニタ電極35B~38Bの電極板とは、 互いに隙間をもって噛合している。

 また、固定側モニタ電極35B~38Bは、それぞ れ基板2に固定された4つのモニタ用ランド39� �取付けられ、電気的に接続されている。こ� �とき、4つのモニタ用ランド39は、例えば駆� �梁13,14に接続された支持部3を挟んだ位置に� �けられ、支持部3の幅方向(周方向)の両側に� �置されている。そして、可動側モニタ電極35 A~38A、固定側モニタ電極35B~38Bおよびモニタ用 ランド39は、中心点Oに対して点対称な位置に 配置されている。

 ここで、駆動質量部4,5がY軸方向に変位し たときには、可動側モニタ電極35A,36Aと固定� �モニタ電極35B,36Bとの間の静電容量Cm1,Cm2が変 化する。また、駆動質量部6,7がX軸方向に変� �したときには、可動側モニタ電極37A,38Aと固� ��側モニタ電極37B,38Bとの間の静電容量Cm3,Cm4� �変化する。このため、振動モニタ部35~38は、 この静電容量Cm1~Cm4の変化によって駆動質量� �4~7の振動状態をモニタする。

 なお、周方向で隣合う駆動質量部4~7が逆� ��相となる状態で4つの駆動質量部4~7が振動し たときには、振動モニタ部35~38の静電容量Cm1~ Cm4は、同期して変化する構成となっている。

 シールドランド40は、4つの検出用ランド3 4の周方向の両側に位置して、基板2上に合計8 個設けられている。ここで、各シールドラン ド40は、駆動用ランド21と検出用ランド34との 間に配置されると共に、モニタ用ランド39と� ��出用ランド34との間に配置されている。ま� �、8つのシールドランド40は、中心点Oに対し� ��点対称な位置に配置されている。

 そして、シールドランド40は、ランド21,34 ,39と電気的に絶縁した状態で設けられ、例え ばグランドに接続されている。これにより、 シールドランド40は、検出用ランド34の周囲� �電気的にシールド(遮断)し、検出用ランド34� ��変位検出信号に対して駆動用ランド21側の� �動信号およびモニタ用ランド39のモニタ信号 が干渉するのを防止している。

 蓋板41は、例えばガラス材料等によって� �角形の板状に形成され、陽極接合等の手段� �用いて支持部3、駆動用ランド21、検出用ラ� �ド34、モニタ用ランド39およびシールドラン� ��40に接合されている。また、蓋板41は、検出 質量部22~25等との対向面(裏面)側に、四角形� �に凹陥したキャビティ41Aが形成されている� �そして、キャビティ41Aは、駆動質量部4~7、� �結梁8、接続部9~12、駆動梁13~16、検出質量部2 2~25、検出梁26~29、振動発生部17~20および振動� ��ニタ部35~38と対向した位置に設けられてい� �。これにより、駆動質量部4~7、検出質量部22 ~25は、蓋板41に接触することなく、振動変位� ��ることができる。

 そして、蓋板41には、複数のビアホール42 が厚さ方向に貫通して形成されている。この とき、ビアホール42は、支持部3および各ラン ド21,34,39,40と対応した位置にそれぞれ形成さ� ��ている。これにより、支持部3等は、ビアホ ール42を通じて蓋板41上に設けられた外部電� �(図示せず)に接続される。このため、振動発 生部17~20、変位検出部30~33および振動モニタ� �35~38は、外部電極を通じて後述する振動制御 回路51および角速度検出回路61等に接続する� �とができる。

 次に、図7を参照しつつ、駆動質量部4~7の 振動状態を制御する振動制御回路51について� ��明する。振動制御回路51は、振動モニタ部35 ~38によるモニタ信号Vmを用いて振動発生部17~2 0に出力する駆動信号Vdを制御する。そして、 振動制御回路51は、C-V変換回路52、増幅器53、 AGC回路54、駆動信号発生回路55等によって構� �されている。

 C-V変換回路52は振動モニタ部35~38の出力側 に接続されている。そして、C-V変換回路52は� ��振動モニタ部35~38の静電容量Cm1~Cm4の変化を� ��圧変化に変換し、これらの電圧変化をモニ� ��信号Vmとして出力する。そして、このモニ� �信号Vmは、C-V変換回路52の出力側に接続され� ��増幅器53によって増幅され、AGC回路54に向け て出力される。

 AGC回路54の出力側は、駆動信号Vdを出力す る駆動信号発生回路55に接続されている。そ� ��て、AGC回路54は、モニタ信号Vmが一定となる ようにゲインを調整する。また、駆動信号発 生回路55は、増幅器56を介して振動発生部17~20 に接続される。これにより、駆動信号発生回 路55は、振動発生部17~20に対して互いに駆動� �号Vdを入力し、振動発生部17~20は、周方向で� ��合う駆動質量部4~7が互いに逆位相となる状� ��で、駆動質量部4~7を振動させる。

 次に、2軸周り(X軸およびY軸周り)の角速� �ω1,ω2を検出する角速度検出回路61(角速度検� ��手段)について説明する。角速度検出回路61� ��、変位検出部30~33による変位検出信号Vx,Vyを 振動モニタ部35~38によるモニタ信号Vmを用い� �同期検波し、駆動質量部4~7に作用する角速� �ω1,ω2を検出する。そして、角速度検出回路6 1は、例えばC-V変換回路62~65、差動増幅器66,70� ��同期検波回路67,71等によって構成されてい� �。

 C-V変換回路62~65は、変位検出部30~33の静電 容量Cs1,Cs2,Cs3,Cs4の変化を電圧変化に変換し、 これらの電圧変化を予備的な変位検出信号Vs1 ,Vs2,Vs3,Vs4としてそれぞれ出力する。

 ここで、隣合う駆動質量部4~7が互いに逆� ��相で振動している状態で、X軸周りの角速度 ω1が作用したときには、検出質量部22,23は互� ��に逆位相でZ軸方向に変位する。このとき、 予備的な変位検出信号Vs1と変位検出信号Vs2は 互いに逆位相となる。

 このため、差動増幅器66は、C-V変換回路62 ,63の出力側に接続され、これらの予備的な変 位検出信号Vs1,Vs2の差から最終的な変位検出� �号Vxを演算する。

 同期検波回路67の入力側は、差動増幅器66 に接続されると共に、位相シフト回路57を介� ��てAGC回路54に接続されている。また、同期� �波回路67の出力側には、角速度信号を取り出 すための低域通過フィルタ(LPF)68が接続され� �と共に、LPF68の出力側にはゲインおよびオフ セットを調整するための調整回路69が接続さ� ��ている。ここで、位相シフト回路57は、AGC� �路54を介して出力されるモニタ信号Vmの位相� ��90°シフトさせた位相シフト信号Vm″を出力� ��る。これにより、同期検波回路67は、変位� �出信号Vxから位相シフト信号Vm″を用いて同� ��検波し、LPF68、調整回路69を介してX軸周り� �角速度ω1に応じた角速度信号を出力する。

 一方、隣合う駆動質量部4~7が互いに逆位� ��で振動している状態で、Y軸周りの角速度ω2 が作用したときには、検出質量部24,25は互い� ��逆位相でZ軸方向に変位する。このとき、予 備的な変位検出信号Vs3と変位検出信号Vs4は互 いに逆位相となる。

 このため、差動増幅器70は、C-V変換回路64 ,65の出力側に接続され、これらの予備的な変 位検出信号Vs3,Vs4の差から最終的な変位検出� �号Vyを演算する。これにより、同期検波回路 71は、同期検波回路67と同様に、変位検出信� �Vyから位相シフト信号Vm″を用いて同期検波� ��、LPF72、調整回路73を介してY軸周りの角速� �ω2に応じた角速度信号を出力する。

 次に、図8ないし図11に基づいて、本実施� ��形態による角速度センサ1の製造方法につい て説明する。

 図8に示す基板接合工程では、予めシリコ ン基板81の裏面にエッチング処理を施して、� ��央部分が凹陥した略四角形または円形の凹� ��部82を形成する。一方、基板2となるガラス� ��板83の表面には、中央側に位置して、スパ� �タ等の手段を用いて導体薄膜からなる4つの� ��定側検出電極30A~33Aを形成する。その後、例 えば陽極接合等の接合手段を用いて、ガラス 基板83の表面に、シリコン基板81の裏面を接� �する。このとき、固定側検出電極30A~33Aは、� ��陥部82の内側に配置される。

 次に、図9に示す薄膜化工程では、シリコ ン基板81の表面側を研磨して、厚さ寸法の薄� ��シリコン層84を形成する。このとき、シリ� �ン層84の外縁側は、ガラス基板83に接合され� ��いる。また、シリコン層84のうち凹陥部82と 対応した薄肉部84Aは、ガラス基板83と隙間を� ��って離間している。

 次に、図10に示す機能部形成工程では、� �ッチング処理を施して、シリコン層84のうち 薄肉部84Aに対応した位置に、駆動質量部4~7、 連結梁8、接続部9~12、駆動梁13~16、振動発生� �17~20、検出質量部22~25、検出梁26~29、振動モ� �タ部35~38を形成する。また、シリコン層84の� ��縁側には、支持部3、駆動用ランド21、検出� ��ランド34、モニタ用ランド39、シールドラン ド40を形成する。このとき、検出質量部22~25� �、変位検出部30~33を構成するために、固定側 検出電極30A~33Aと対向した位置に形成される� �

 また、駆動用ランド21には振動発生部17~20 の固定側駆動電極17B~20Bを接続し、検出用ラ� �ド34には変位検出部30~33の固定側検出電極30A~ 33Aを接続し、モニタ用ランド39には振動モニ� ��部35~38の固定側モニタ電極35B~38Bを接続する� ��

 次に、図11に示す蓋板接合工程では、蓋� �41となるガラス板85の裏面側に、予めキャビ� ��ィ41Aとなる凹陥部86を形成する。このとき� �凹陥部86は、駆動質量部4~7、連結梁8、接続� �9~12、駆動梁13~16、振動発生部17~20、検出質量 部22~25、検出梁26~29、振動モニタ部35~38等と対 向した位置に形成される。

 そして、例えば陽極接合等の接合手段を� ��いて、シリコン層84の表面に、ガラス基板85 の裏面を接合する。これにより、ガラス基板 85の外縁側は支持部3および各ランド21,34,39,40� ��接合される。なお、固定側検出電極30A~33Aは ガラス基板83ではなく、ガラス基板85(蓋板41)� ��形成してもよい。

 次に、電極形成工程では、蓋板41にサン� �ブラスト等の穴あけ加工処理を施して、ビ� �ホール42を形成する。このとき、ビアホール 42は、支持部3および各ランド21,34,39,40と対応� ��た位置にそれぞれ形成されている。最後に� ��蓋板41の表面には、外部の回路と接続する� �めの外部電極(図示せず)を設ける。そして、 外部電極は、ビアホール42の内面に設けられ� ��導体膜を通じて、支持部3および各ランド21, 34,39,40に対して電気的に接続する。これによ� ��、図1ないし図6に示す角速度センサ1が完成� ��る。そして、振動発生部17~20、変位検出部30 ~33および振動モニタ部35~38は、外部電極を通� ��て振動制御回路51および角速度検出回路61等 に接続する。

 なお、ビアホール42は、ガラス基板83側に 形成してもよい。好ましくは、ガラス基板83, 85のうち固定側検出電極30A~33Aが形成されたも のにビアホール42を加工した方がよい。ビア� ��ールを形成したガラス基板の表面は、薄膜� ��線等を形成するために、ガラス基板越しに� ��部が見えなくなる。固定側検出電極を形成� ��た面は、固定側検出電極によって元々内部� ��見えにくいため、逆側から内部を観察でき� ��ようにしておいた方が、製造上好ましいか� ��である。

 第1の実施の形態による角速度センサ1は� �述の如き構成を有するもので、次にその作� �について説明する。

 まず、X軸周りの角速度ω1を検出する場合 について説明する。外部の振動制御回路51か� ��駆動用ランド21に駆動信号Vdを入力すると、 駆動信号Vdは振動発生部17~20の固定側駆動電� �17B~20Bに印加される。これにより、駆動質量� ��4,5にはY軸方向の静電引力が作用し、駆動質 量部4,5はY軸方向に振動する。一方、駆動質� �部6,7にはX軸方向の静電引力が作用し、駆動� ��量部6,7はX軸方向に振動する。そして、周方 向で隣合う駆動質量部4~7は、互いに逆位相で 振動する。

 駆動質量部4~7が振動している状態でX軸周 りの角速度ω1が作用すると、Y軸方向に振動� �る駆動質量部4,5には、角速度ω1に応じて、� �下の数1に示すコリオリ力Fxが作用する。一� �、X軸方向に振動する駆動質量部6,7には、コ� ��オリ力は作用しない。これにより、検出質� ��部22,23は、コリオリ力FxによってZ軸方向に� �位し、角速度ω1に応じて振動する。

 このため、変位検出部30,31は、検出質量� �22,23のZ軸方向の変位に応じて検出質量部22,23 と固定側検出電極30A,31Aとの間の静電容量Cs1,C s2が変化する。このとき、角速度検出回路61� �C-V変換回路62,63は、静電容量Cs1,Cs2の変化を� �備的な変位検出信号Vs1,Vs2に変換する。そし� ��、差動増幅器66は、変位検出信号Vs1,Vs2の差� ��基づいて、X軸周りの角速度ω1に応じた最終 的な変位検出信号Vxを出力する。同期検波回� ��67は、変位検出信号Vxから位相シフト信号Vm� ��と同期した信号を検波する。これにより、� ��速度検出回路61は、X軸周りの角速度ω1に応� ��た角速度信号を出力する。

 次に、Y軸周りの角速度ω2を検出する場合 について説明する。外部の振動制御回路51か� ��駆動用ランド21に駆動信号Vdを入力し、駆動 質量部4~7を振動させる。この振動状態でY軸� �りの角速度ω2が作用すると、X軸方向に振動� ��る駆動質量部6,7には、角速度ω2に応じて、� ��下の数2に示すコリオリ力Fyが作用する。一� ��、Y軸方向に振動する駆動質量部4,5には、コ リオリ力は作用しない。これにより、検出質 量部24,25は、コリオリ力FyによってZ軸方向に� ��位し、角速度ω2に応じて振動する。

 このため、変位検出部32,33は、検出質量� �24,25のZ軸方向の変位に応じて検出質量部24,25 と固定側検出電極32A,33Aとの間の静電容量Cs3,C s4が変化する。このとき、角速度検出回路61� �C-V変換回路64,65は、静電容量Cs3,Cs4の変化を� �位検出信号Vs3,Vs4に変換する。そして、差動� ��幅器70は、変位検出信号Vs3,Vs4の差に基づい� ��、Y軸周りの角速度ω2に応じた変位検出信号 Vyを出力する。同期検波回路71は、変位検出� �号Vyから位相シフト信号Vm″と同期した信号� ��検波する。これにより、角速度検出回路61� �、Y軸周りの角速度ω2に応じた角速度信号を� ��力する。

 かくして、本実施の形態では、4つの駆動 質量部4~7は中心点Oに対して点対称な位置に� �置されているから、2つの駆動質量部4,5は中� ��点Oを挟んでX軸方向の両側に配置すること� �でき、2つの駆動質量部6,7は中心点Oを挟んで Y軸方向の両側に配置することができる。ま� �、周方向で隣合う駆動質量部4~7は互いに逆� �相で振動する。

 これにより、X軸周りの角速度ω1が作用し たときには、Y軸方向に振動する駆動質量部4, 5にはZ軸方向に向かうコリオリ力Fxを発生さ� �ることができる。このため、角速度ω1が作� �したときには、検出質量部22,23はZ軸方向に� �位して振動する。従って、この振動を変位� �出部30,31を用いて検出することによって、X� �周りの角速度ω1を検出することができる。

 一方、Y軸周りの角速度ω2が作用したとき には、X軸方向に振動する駆動質量部6,7にはZ� ��方向に向かうコリオリ力Fyを発生させるこ� �ができる。このため、角速度ω2が作用した� �きには、検出質量部24,25はZ軸方向に変位し� �振動する。従って、この振動を変位検出部32 ,33を用いて検出することによって、Y軸周り� �角速度ω2を検出することができる。これに� �り、単一の角速度センサ1を用いて、基板2と 水平な2つの軸(X軸およびY軸)周りに作用する� ��速度ω1,ω2を検出することができる。

 また、4つの駆動質量部4~7は中心点Oに対� �て点対称な位置に配置されているから、周� �向で互いに隣合う駆動質量部4~7を逆方向(逆� ��相)に振動させる構成となっている。このた め、4つの駆動質量部4~7全体の重心位置を固� �することができると共に、4つの駆動質量部4 ~7全体に生じる周方向の回転トルク(回転モー メント)を相殺することができる。このとき� �連結梁8は4つの駆動質量部4~7を互いに連結す るから、例えば4つの駆動質量部4~7に加工ば� �つきが生じたときでも、各駆動質量部4~7は� �動振幅および位相が揃った状態で振動する� �この結果、4つの駆動質量部4~7全体の重心位� ��の変動や回転トルクを確実に小さくするこ� ��ができ、駆動質量部4~7の駆動振動が基板2等 に漏れることがなくなる。これにより、角速 度信号のオフセット出力が安定する。

 また、駆動質量部4~7は駆動梁13~16を用い� �支持し、検出質量部22~25は検出梁26~29を用い� ��支持する構成とした。このため、駆動質量� ��4~7と検出質量部22~25とを独立した別個の梁(� ��動梁13~16および検出梁26~29)を用いて支持す� �ことができ、共通の梁を用いて支持した場� �に比べて、駆動振動と検出振動との間の結� �を小さくすることができる。従って、変位� �出部30~33が検出質量部22~25の変位を検出して� ��備的な変位検出信号Vs1~Vs4を出力したときに は、この変位検出信号Vs1~Vs4にノイズ信号と� �る駆動振動の成分が混入することがない。� �の結果、例えば変位検出信号Vs1~Vs4を直接増� ��するとき、または差動増幅器66,70を用いて� �動増幅するときでも、ノイズ信号によって� �得が飽和することがない。このため、同期� �波前の初期段階の増幅率を高くすることが� �きるから、角速度信号に含まれるノイズ信� �を相対的に小さくすることができ、SN比が良 い角速度信号を得ることができ、角速度セン サ1の検出精度を向上することができる。

 さらに、可動部となる駆動質量部4~7、連� ��梁8、接続部9~12、駆動梁13~16、検出質量部22~ 25等は中心点Oに対して点対称な形状となると 共に、中心点Oを挟んで対称な位置に配置さ� �て駆動質量部4,6と駆動質量部5,7とは互いに� �方向に向けて振動する。従って、角速度ω1,� �2が作用したときには、検出質量部22,24と検� �質量部23,25とはZ軸方向に向けて互いに逆方� �に変位する。これに対し、基板2の垂直方向( Z軸方向)に加速度が作用しても、検出質量部2 2~25がZ軸方向に変位しても、この変位による� ��位検出部30~33の静電容量Cs1~Cs4の変化は同じ� ��になる。このため、変位検出部30~33による� �位検出信号Vs1~Vs4を差動検出することによっ� ��、角速度信号から加速度による成分を除去� ��ることができる。

 また、駆動質量部4~7および検出質量部22~2 5自体は変形する必要がないから、駆動質量� �4~7および検出質量部22~25の質量を大きくして 、共振周波数を低下させることができる。こ のため、コリオリ力Fx,Fyによる検出質量部22~2 5の変位量を大きくすることができ、角速度ω 1,ω2の検出感度を高めることができる。さら� ��、検出質量部22~25の面積を大きくすること� �できる。このため、変位検出部30~33を検出質 量部22~25とZ軸方向で対向した固定側検出電極 30A~33Aを用いて構成した場合でも、検出質量� �22~25がZ軸方向に変位したときの静電容量Cs1~C s4の変化を大きくすることができ、検出感度� ��高めることができる。

 また、連結梁8には放射状に延びる4つの� �続部9~12を設けると共に、各接続部9~12を長さ 方向に変位可能に支持する駆動梁13~16を設け� ��構成とした。このため、基板2に歪みが生じ ても、この歪みを駆動梁13~16によって吸収す� ��ことができ、例えば連結梁8の張力に対する 影響を軽減することができる。この結果、駆 動質量部4~7および検出質量部22~25の共振周波� ��が変化しにくく、特性変動を小さくするこ� ��ができ、角速度センサ1の出力を安定化する ことができる。

 また、第1の実施の形態では、検出梁26~29� ��、検出質量部22~25が基板2の厚さ方向に変位� ��るときに、捩れ変形する捩れ支持梁を用い� ��形成した。このため、例えばシリコン材料� ��を基板2の垂直方向に加工することによって 捩れ支持梁を形成することができ、容易に加 工することができる。また、捩れ支持梁は幅 寸法が小さい細長い直線状の梁を用いて形成 するから、検出梁26~29の幅寸法δにはばらつ� �が生じ易い傾向がある。

 仮に、幅寸法δにばらつきが生じても、� �動質量部4~7の共振周波数を決める連結梁8お� ��び駆動梁13~16も同様な細長い梁を用いて形� �しているから、連結梁8、駆動梁13~16および� �出梁26~29の幅寸法は一緒に増加または減少す る。この結果、連結梁8、駆動梁13~16および検 出梁26~29のばね定数は一緒に変化するから、� ��動振動の共振周波数と検出振動の共振周波� ��とは一緒に変動する。これにより、駆動振� ��と検出振動との間で共振周波数の差が拡大� ��ないから、加工ばらつきに基づく検出感度� ��低下を防止することができる。

 また、駆動質量部4~7は円周状に並べて配� ��したから、径方向外側に比べて径方向内側� ��は駆動質量部4~7の周方向の長さ寸法が小さ� ��なる。このとき、検出梁26~29は、駆動質量� �4~7のうち径方向外側に配置したから、径方� �内側に配置した場合に比べて、周方向に延� �る長さ寸法を大きくすることができる。こ� �ため、検出梁26~29の設計自由度を大きくする ことができる。

 また、検出梁26~29は接続用突出部22A~25Aを� ��いて検出質量部22~25の径方向外側に接続さ� �ている。このため、駆動振動によって検出� �量部22~25の径方向外側に大きな駆動トルクが 作用するときでも、検出梁26~29を用いて検出� ��量部22~25および駆動質量部4~7を一緒に駆動� �動させることができる。

 また、連結梁8は4つの駆動質量部4~7に取� �まれた中心点O側に設ける構成としたから、� ��結梁8の全長を短くすることができ、基板2� �垂直方向(Z軸方向)に対する剛性を高めるこ� �ができる。このため、駆動質量部4~7および� �出質量部22~25が基板2の垂直方向に変位する� �を防ぐことができ、この質量部4~7,22~25の変� �に基づくノイズを低減することができる。

 また、振動発生部17~20は、駆動質量部4~7� �設けられた可動側駆動電極17A~20Aと、基板2に 設けられた固定側駆動電極17B~20Bとによって� �成したから、可動側駆動電極17A~20Aと固定側� ��動電極17B~20Bとの間に作用する静電力によっ て駆動質量部4~7を直接的に変位させて、駆動 質量部4~7を駆動振動させることができる。

 また、変位検出部30~33の固定側検出電極30 A~33Aを検出用ランド34に電気的に接続し、振� �発生部17~20の固定側駆動電極17B~20Bを駆動用� �ンド21に電気的に接続すると共に、駆動用ラ ンド21と検出用ランド34との間にはシールド� �ンド40を設ける構成とした。このため、駆動 用ランド21と検出用ランド34との間の結合を� �ールドランド40を用いて阻止することができ 、これらの間の信号の干渉を遮断することが できる。この結果、変位検出部30~33による変� ��検出信号Vs1~Vs4に対して、振動発生部17~20に� ��給する駆動信号Vdが混入することがなく、� �速度ω1,ω2の検出精度を高めることができる� ��

 さらに、駆動質量部4~7の振動方向の変位� ��モニタする振動モニタ部35~38を設けたから� �振動モニタ部35~38を用いて駆動質量部4~7の振 動振幅および位相を検出することができる。 このため、振動モニタ部35~38によるモニタ信� ��Vmは振動制御回路51の参照信号として利用す ることができ、共振状態の安定化を図ること ができる。また、振動モニタ部35~38によるモ� ��タ信号Vmは角速度検出回路61の参照信号(位� �シフト信号Vm″)としても利用することがで� �、駆動質量部4~7の振動状態に応じて正確な� �期検波を行うことができる。

 また、第1の実施の形態では、振動発生部 17~20、駆動用ランド21、変位検出部30~33、検出 用ランド34、振動モニタ部35~38、モニタ用ラ� �ド39、シールドランド40等は対称性を有する� ��態で形成した。このため、変位検出部30~33� �変位検出信号Vs1~Vs4に対して駆動信号Vdやモ� �タ信号Vmがノイズ信号として混入するときで も、このノイズ信号は変位検出信号Vs1~Vs4に� �して全て同じレベルとなるから、容易にノ� �ズ信号を除去することができる。

 なお、第1の実施の形態では、駆動質量部 4~7の全てに振動モニタ部35~38を設ける構成と� ��た。しかし、本発明はこれに限らず、例え� ��4個の駆動質量部4~7のうちいずれか1個、2個� ��たは3個の駆動質量部に振動モニタ部を設け る構成としてもよい。

 また、第1の実施の形態では、振動発生部 17~20と振動モニタ部35~38とは同じ形状に形成� �たから、振動モニタ部を振動発生部として� �用することもできる。この場合、駆動質量� �に対する駆動力を増加させることができる� �

 次に、図12ないし図14は本発明による第2� �実施の形態を示している。そして、本実施� �形態の特徴は、振動発生部は、連結梁に設� �られた可動側駆動電極と、該可動側駆動電� �と対向して基板に設けられた固定側駆動電� �とによって構成したことにある。なお、本� �施の形態では前記第1の実施の形態と同一の� ��成要素に同一の符号を付し、その説明を省� ��するものとする。

 角速度センサ91は、第1の実施の形態によ� ��角速度センサ1とほぼ同様に、基板2、駆動� �量部4~7、連結梁8、駆動梁13~16、振動発生部92 ,93、検出質量部22~25、検出梁26~29、変位検出� �30~33、振動モニタ部35~38等によって構成され� ��いる。

 振動発生部92,93は、中心点Oの近傍に位置� ��て連結梁8の内側に配置されている。ここで 、振動発生部92,93は、第1の実施の形態による 振動発生部17~20と同様に例えば低抵抗なシリ� ��ン材料によって形成されている。そして、� ��動発生部92,93は、連結梁8に取付けられた可� ��側駆動電極92A,93Aと、基板2上の電極支持部94 に取付けられた固定側駆動電極92B,93Bとによ� �て構成されている。

 このとき、電極支持部94は、連結梁8に取� ��まれ、基板2の中心点O付近に固定されてい� �。また、可動側駆動電極92A,93Aは、接続部9,10 を内径側に延長した延長部9A,10Aの先端にそれ ぞれ取付けられ、複数の電極板からなる櫛歯 状電極によって構成されている。さらに、固 定側駆動電極92B,93Bは、可動側駆動電極92A,93A� ��対向して電極支持部94の周囲に取付けられ� �複数の電極板からなる櫛歯状電極によって� �成されている。そして、可動側駆動電極92A,9 3Aと固定側駆動電極92B,93Bとは、互いに噛合し た状態で設けられ、電極支持部94に駆動信号� ��印加することによって、静電力が作用して� ��いに接近、離間する。これにより、振動発� ��部92,93は、可動側駆動電極92A,93Aと固定側駆� ��電極92B,93Bとの間に作用する静電力によって 連結梁8を撓み変形させて、駆動質量部4~7を� �接的に振動させる。

 かくして、このように構成される本実施� ��形態でも、第1の実施の形態とほぼ同様の作 用効果を得ることができる。そして、特に本 実施の形態では、振動発生部92,93は、可動側� ��動電極92A,93Aと固定側駆動電極92B,93Bとによ� �て構成したから、可動側駆動電極92A,93Aと固� ��側駆動電極92B,93Bとの間に作用する静電力に よって連結梁8を撓み変形させることができ� �。これにより、連結梁8に接続された駆動質� ��部4~7を間接的に変位させて、駆動質量部4~7� ��駆動振動させることができる。

 また、振動発生部92,93は駆動質量部4~7の� �囲に設ける必要がないから、駆動質量部4~7� �よび検出質量部22~25を大きくして、角速度ω1 ,ω2の検出感度を高めることができる。一方� �駆動質量部4~7の周囲に振動発生部92,93を設け ない分だけ、角速度センサ91全体を小型化す� ��ことができ、製造コストを低減することが� ��きる。

 また、例えば容量結合等によって振動発� ��部92,93と変位検出部30~33との間で電気的クロ ストークが生じても、この電気的クロストー クを完全に対称で、かつ最小限にすることが できる。この結果、変位検出信号Vs1~Vs4に対� �るノイズを小さくすることができる。

 さらに、固定側駆動電極92B,93Bは基板2の� �心部(中心点O)に位置する1箇所で外部の回路( 振動制御回路51)と接続すればよいから、外部 接続用の端子を減少させることができる。こ れにより、角速度センサ91全体を小型化する� ��とができ、製造コストを低減することがで� ��る。

 なお、第2の実施の形態では、連結梁8の� �側に位置して駆動質量部4~7の周囲に取付け� �振動モニタ部35~38を用いて駆動質量部4~7の振 動方向の変位をモニタする構成とした。しか し、本発明はこれに限らず、例えば振動モニ タ部は連結梁の内側に設ける構成としてもよ い。この場合、振動モニタ部は、例えば振動 発生部92,93と同様に構成し、連結梁に設けた� ��動側モニタ電極と基板に設けた固定側モニ� ��電極との間の静電容量を検出するものであ� ��。

 次に、図15および図16は本発明による第3� �実施の形態を示している。そして、本実施� �形態の特徴は、検出梁の両端側を応力低減� �続部を用いて検出質量部と駆動質量部とに� �れぞれ接続する構成としたことにある。な� �、本実施の形態では前記第1の実施の形態と� ��一の構成要素に同一の符号を付し、その説� ��を省略するものとする。

 角速度センサ101は、第1の実施の形態によ る角速度センサ1とほぼ同様に、基板2、駆動� ��量部4~7、連結梁8、駆動梁13~16、振動発生部1 7~20、検出質量部22~25、検出梁102~105、変位検� �部30~33、振動モニタ部35~38等によって構成さ� ��ている。

 検出梁102~105は、検出質量部22~25よりも径� ��向外側に位置して検出質量部22~25と駆動質� �部4~7との間に設けられ、検出質量部22~25を基 板2の厚さ方向に変位可能に支持している。� �た、検出梁26~29は、中心点Oを取囲む周方向� �向けて延び、検出質量部22~25が基板2の厚さ� �向に変位するときに、捩れ変形する捩れ支� �梁を用いて形成されている。さらに、検出� �102~105は、幅寸法δをもって直線状に延びる� �長い板状の梁によって形成されている。こ� �とき、検出質量部22~25は中心点Oに近い径方� �内側部分が自由端となるから、検出梁102~105� ��片持ち状態で検出質量部22~25を支持する。

 但し、検出梁102~105は、検出質量部22~25に� ��して2つずつ設けられている点で、第1の実� �の形態による検出梁26~29とは異なっている。 このとき、2つの検出梁102は、駆動質量部4内� ��位置してY軸方向に延びると共に、Y軸方向� �両側にそれぞれ配置されている。同様に、2� ��の検出梁103は、駆動質量部5内に位置してY� �方向に延びると共に、Y軸方向の両側にそれ� ��れ配置されている。

 また、2つの検出梁104は、駆動質量部6内� �位置してX軸方向に延びると共に、X軸方向の 両側にそれぞれ配置されている。同様に、2� �の検出梁105は、駆動質量部7内に位置してX軸 方向に延びると共に、X軸方向の両側にそれ� �れ配置されている。

 また、各検出梁102の一端部側は、検出質� ��部22のうちY軸方向の中心部分に位置して応� ��低減接続部としてのL型梁106を用いて検出質 量部22に接続されている。さらに、各検出梁1 02の他端部側は、検出質量部22のうちY軸方向� ��両端部側にそれぞれ位置してL型梁106を用い て駆動質量部4に接続されている。

 同様に、各検出梁103の一端部側は、検出� ��量部23のうちY軸方向の中心部分に位置して� ��力低減接続部としてのL型梁107を用いて検出 質量部23に接続されている。さらに、各検出� ��103の他端部側は、検出質量部23のうちY軸方� ��の両端部側にそれぞれ位置してL型梁107を用 いて駆動質量部5に接続されている。

 また、各検出梁104の一端部側は、検出質� ��部24のうちX軸方向の中心部分に位置して応� ��低減接続部としてのL型梁108を用いて検出質 量部24に接続されている。さらに、各検出梁1 04の他端部側は、検出質量部24のうちX軸方向� ��両端部側にそれぞれ位置してL型梁108を用い て駆動質量部6に接続されている。

 同様に、各検出梁105の一端部側は、検出� ��量部25のうちX軸方向の中心部分に位置して� ��力低減接続部としてのL型梁109を用いて検出 質量部25に接続されている。さらに、各検出� ��105の他端部側は、検出質量部25のうちX軸方� ��の両端部側にそれぞれ位置してL型梁109を用 いて駆動質量部7に接続されている。

 このとき、L型梁106,107は、例えば検出梁10 2,103からL字形状に屈曲している。これにより 、検出梁102,103の両端側は、その長さ方向と� �るY軸方向に対して自由度をもった状態で支� ��されている。同様に、L型梁108,109は、例え� �検出梁104,105からL字状に屈曲している。これ により、検出梁104,105の両端側は、その長さ� �向となるX軸方向に対して自由度をもった状� ��で支持されている。この結果、検出梁102~105 が捩れ変形するときには、検出梁102~105の両� �側が長さ方向に変位することができるから� �検出梁102~105の両端側に作用する歪みや応力� ��低減されている。

 かくして、このように構成される本実施� ��形態でも、第1の実施の形態とほぼ同様の作 用効果を得ることができる。そして、特に本 実施の形態では、検出梁102~105の両端側はL型� ��106~109を用いて検出質量部22~25と駆動質量部4 ~7とにそれぞれ接続したから、角速度センサ1 01の感度ばらつきを小さくすることができる� ��

 ここで、L型梁106~109と感度ばらつきとの� �係を詳しく説明する。まず、第1の実施の形� ��のように、検出梁26~29の両端を固定した場� �には、固定部分に作用する応力によって検� �梁26~29の捩れ変形が阻害される。このため、 検出梁26~29の厚さ寸法が変化したときには、� ��の厚さ寸法の変化分に対する共振周波数の� ��化が大きくなる。この結果、加工ばらつき� ��駆動モードと検出モードの共振周波数差に� ��える影響が大きくなる傾向がある。

 これに対し、本実施の形態では、検出梁1 02~105の両端側はL型梁106~109を用いて検出質量� ��22~25と駆動質量部4~7とにそれぞれ接続した� �ら、検出梁102~105が捩れ変形するときに検出� ��102~105の両端側に作用する歪みや応力を低減 することができる。これにより、厚さ寸法の 加工ばらつきが駆動モードと検出モードの共 振周波数差に与える影響を小さくすることが でき、角速度センサ101の感度ばらつきを小さ くすることができる。

 なお、第3の実施の形態では、L型梁106~109� ��用いて応力低減接続部を構成した。しかし� ��本発明はこれに限らず、応力低減接続部は� ��検出梁の長さ方向(捩れ軸方向)に対して自� �度を与える構成であればよい。このため、� �えば図17に示す第1の変形例のように、検出� �102″の端部側がT字形状となったT型梁106″を 用いて応力低減接続部を構成してもよい。

 また、前記第3の実施の形態では、検出梁 102~105は、直線状に延びる捩れ支持梁を用い� �形成した。しかし、本発明はこれに限らず� �例えば図18に示す第2の変形例のように、検� �梁102′は1回または複数回折り返した形状の� ��れ支持梁を用いて形成してもよい。

 また、前記各実施の形態では、検出梁26~2 9,102~105は、検出質量部22~25が基板2の厚さ方向 に変位するときに捩れ変形する捩れ支持梁を 用いて形成した。しかし、本発明はこれに限 らず、例えば検出質量部が基板の厚さ方向に 変位するときに撓み変形する撓み支持梁を用 いて検出梁を形成してもよい。

 また、前記各実施の形態では、連結梁8は 円形の枠状に形成する構成とした。しかし、 本発明はこれに限らず、図19に示す第3の変形 例による角速度センサ111ように、例えば連結 梁112を四角形の枠状に形成してもよく、四角 形以上の多角形の枠状に形成してもよい。こ の場合、連結梁は、例えば八角形、十二角形 等のように、4の倍数の角を有する多角形の� �状に形成するのが好ましい。

 また、前記各実施の形態では、連結梁8は 駆動質量部4~7に取囲まれた中心点O側(内径側) に設ける構成とした。しかし、本発明はこれ に限らず、図20に示す第4の変形例による角速 度センサ121のように、例えば連結梁122は駆動 質量部4~7を取囲む外径側に設ける構成として もよい。