以下、添付図面を参照しつつ、本発明の� ��施形態の一例について詳細に説明する。

 図1は、本発明の実施形態の一例である落 下防止機構130を備えた樹脂封止装置100の構造 図である。

 樹脂封止装置100は、上型機構101と、下型� ��構201とで構成されている。この上型機構101� ��下型機構201とは、例えば、図示せぬプレス� ��構等によって、互いに当接・離反可能とさ� ��ている。

 上型機構101は、上型ベース120と、該上型� ��ース120の下側(下型機構201側)に設置固定さ� �た上型110と、当該上型110の周囲を取り囲む� �うに配置された減圧シール150とから構成さ� �る。又、上型110の下型機構201側には、図示� �ぬ搬送機構によって当該上型110表面に供給� �れる被形成品300の落下を防止するための落� �防止機構130(詳細は後述する)が備わっている 。又、図示はしないが、上型110の表面(下型� �構201側表面)には、被成形品300を吸着保持可� ��な吸着孔(吸着機構)が形成されている。

 一方、下型機構201は、下型ベース220と、� ��下型ベース220の上面略中央部分に設置固定� ��れた底型212と、該底型212の周囲に配置され� ��つ下型ベース220に対して上下に移動可能な� ��型214と、該枠型214を上下に移動させること� ��可能なクランプバネ216とから構成される。� ��言すると、枠型214には、底型212が貫通可能� ��貫通孔が形成されており、この貫通孔に底� ��212を貫通させた状態で上下に移動可能とさ� ��ている。なお、底型212と、枠型214とで下型2 10を構成している。

 次に、図2を参照しつつ、上型110に備わる 落下防止機構130について説明する。図2は、� �1における落下防止機構130部分の拡大図であ� ��、(A)~(D)は、落下防止機構130が被成形品300を 保持する工程を時系列的に示している。なお 、保持部材132の、図2(A)又は図2(D)で示した位� ��が「保持位置(被成形品を保持可能な位置)� �であり、図2(B)又は図2(C)で示した位置が「解 放位置(被成形品を保持不可能な位置:解放す� ��位置)」である。

 落下防止機構130は、保持位置と解放位置� ��の間を反復して回動することにより被成形� ��300を保持・解放可能な状態となる保持部材1 32と、この保持部材132を上型110に対して回動� ��能に支持する固定ピン(支持部材)134と、保� �部材132を回動させるための動力を伝達する� �力伝達構造140とを備えている。保持部材132� �、アーム部132Cの先端側に第1クランク部132B� �備え、後端側に第2クランク部132Dを備えた形 状の部材である。第1クランク部132Bの更に先� ��側が被成形品300を直接保持する爪部132Aとし て構成される。又、第2クランク部132Dの更に� ��端側が外部からの動力を受ける基部132Eとし て構成される。なお、保持部材132は、第2ク� �ンク部132Dにおいて前述した固定ピン134によ� ��て上型110に対して回動可能に支持固定され� ��いる。

 動力伝達構造140は、第1作用部材136と、第 2作用部材138とを備える。第1作用部材136は、� ��持部材132を保持位置から解放位置へと運動� ��せる作用を行う部材であり、一方、第2作用 部材は、保持部材132を解放位置から保持位置 へと運動させる作用を行う部材である。本実 施形態においては、この第1作用部材136は、� �型110の表面から自身の一部が(下型210側に)突 出して配置される押しピン136Aと、該押しピ� �136Aの上部に配置される第1弾性体136Bとで構� �される。この第1弾性体136Bは押しピン136Aの� �部に当接すると同時に保持部材132の基部132E� ��当接している。又、第1弾性体136Bの弾性係� �は、後述する第2弾性体138の弾性係数よりも� ��きく(変形し難い)設定されている。即ち、� �の押しピン136Aに外部からの動力(本実施形態 では搬送装置400から受ける反力)が伝達され� �ことによって、押しピン136A、第1弾性体136B� �基部132Eを介して、保持部材132を保持位置か� ��解放位置へと回動(矢示B方向への回動)させ� ��ことが可能な構成とされている。又、保持� ��材132のアーム部132Cには、第2作用部材であ� �第2弾性体138が配置されている。この第2弾性 体138は、保持部材132のアーム部132Cに当接す� �と同時に上型110にも当接している。その結� �、この第2弾性体138は、保持部材132が保持位� ��と解放位置との間を反復する際に連動して� ��縮・弛緩する。即ち、保持部材132が保持位� ��にあるときに最も弛緩した状態であり、前� ��した第1の作用部材136によって保持部材132が 保持位置から解放位置へと回動させられると 同時に圧縮される。一方、第1の作用部材136� �の外部からの動力の伝達が解かれると、自� �の弾性力によって、保持部材132を解放位置� �ら保持位置へと戻す(矢示A方向の回動)こと� �可能である。

 なお、動力伝達機構140は、上記で示した� ��うに、外部動力を下型機構201側(下型210側)� �ら受けており、上型110を上下方向に貫通す� �部材を有していない。その結果、別途貫通� �分をシールする必要もなく、封止時に金型� �部を減圧する場合においても減圧の信頼性� �低下することはない。

 又、弾性部材は種々のものを使用するこ� ��が可能であり、例えばゴムを利用すれば安� ��に構成することが可能であり、バネを利用� ��れば経年変化に強い落下防止機構を構成す� ��ことができる。

 続いてこの落下防止機構130の動作につい� ��説明する。

 図2(A)に示すように、搬送機構400によって 半導体チップ等の被成形品300が上型110の表面 へと搬送供給されてくる。このとき保持部材 132は、未だ保持位置に位置して待機しており 、この状態のままでは爪部132Aが障害となり� �成形品300を受け取ることは不可能である。

 次に、図2(B)に示すように、更に搬送機構 400が上昇するに伴って、搬送機構400の上面の 一部が押しピン136Aを押し上げる。これに伴� �押しピン136A、第1弾性体136B、基部132Eを介し� ��保持部材132が保持位置から解放位置へと回� ��する(矢示B方向の回動)。このとき、第1弾性 体136Bの弾性係数は、第2弾性体138の弾性係数� ��りも大きく設定されているため、第2弾性体 138が保持部材132を保持位置に保とうとする力 に打ち勝って、保持部材132を解放位置へと運 動させることが可能となっている。なお、第 1、第2弾性体136B、138の弾性係数を同じとした 場合でも、保持部材132を回動支持する固定ピ ン134からの距離(固定ピン134から各弾性体が� �接している位置までの距離)を変化させるこ� ��によって同様の作用を営むことも可能であ� ��。

 更に搬送機構400は上昇を続けるが、続く� ��1弾性体136Bの圧縮(未だこの第1弾性体136Bに� �圧縮される余地が残っている。)によってこ� ��搬送機構400の上昇は許容される(図2(C))。

 被成形品300が上型110の表面へと到達する� ��、図示せぬ吸着機構によって被成形品300が� ��型110の表面に吸着保持される。その後、図2 (D)に示すように、搬送機構400が下降すること によって押しピン136Aへの動力の伝達が断た� �ると、被成形品300は上型110の表面に吸着保� �された状態のままで、解放位置にあった保� �部材132が第2弾性体138によって保持位置へと� ��される。これにより、被成形品300は吸着機� ��によって吸着保持されると同時に、当該落� ��防止機構130によって確実に落下が防止され� ��。

 なお、搬送機構400の上下動は、例えば下� ��機構201から動力を受けるように構成しても� ��く、そのようにすれば別途搬送機構400を上� ��動させるための動力源を設ける必要がない� ��

 次に、図3及び図4を用いて、落下防止機� �の他の実施形態について説明する。図3及び� ��4は、いずれも落下防止機構部分の拡大図で ある。なお、図2で示した落下防止機構130と� �一又は類似する部分については同一の符号� �付して説明することとし、重複する構成及� �作用の説明は省略する。

 図3に示す落下防止機構130´は、第2作用部 材である第2弾性体138が、保持部材132のアー� �部132Cではなく、基部132Eに配置されている点 が前述の落下防止機構130と異なっている。こ こでは、保持部材132の基部132Eを挟んで上下� �向に第1弾性体136Bと第2弾性体138とが配置さ� �ており、第2弾性体138は、保持部材132の基部1 32Eと当接すると同時に上型110にも当接してい る。その結果、保持部材132が上型110に対して 回動可能とされている。上型110の大きさや厚 さ等を考慮して、このような構成を採用する ことも可能である。

 次に、図4に示す落下防止機構130´´は、� �持部材132が保持位置と解放位置との間を回� �して反復運動するのではなく、スライドに� �る反復運動をすることにより被成形品300を� �持・解放することを可能としている。

 保持部材132は、被成形品300を保持する爪� ��132Aを有している。又、アーム部132Cの中程� �は、斜め方向に切り欠かれた溝132Fが形成さ� ��ている。この溝132Fには、押しピン136Aに備� �るローラ136Cが組み込まれており、溝132Fに沿 って転動可能とされている。なお、押しピン 136Aとローラ136Cとで第1作用部材136を構成して いる。又、保持部材132は、スライダ(支持部� �)134によって上型110にスライド可能に支持さ� ��ている。又、アーム部132Cには、第2作用部� �である弾性体138が当接している。この弾性� �138は同時に上型110にも当接している。

 落下防止機構130´´では、搬送機構400の上 昇(搬送機構400自身の上昇でもよいし、下型� �構201によって間接的に上昇していてもよい)� ��より押しピン136Aが押し上げられると、溝132 F内をローラ136Cが転動するため、保持部材に� ��矢示A方向への分力が発生する。このとき保 持部材132はスライダ134によって上型110に対し てスライド可能とされているので、押しピン 136Aの上昇に伴って保持位置から解放位置へ� �スライドする。一方、搬送機構400が下降す� �と、弾性体138の弾力によって保持部材が矢� �B方向に押されるため、再び保持位置へとス� ��イドして戻される。

 このように被成形品300が保持された後、� ��部から封止用の樹脂が投入され、更に上型� ��構101と下型機構201とが閉じることによって� ��樹脂封止が完了する。

 なお、反復運動の例として回動、スライ� ��を例示したが、これに限定されるものでは� ��く、その他にも例えば、カム等を使用して� ��持部材を反復運動させることも可能である� ��