Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Permea- tionsrate mindestens eines Permeaten durch ein eine Diffusionssperre bildendes Element

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Bestimmung der Permeationsrate mindestens eines Permeaten, durch ein eine Permeationssperre bildendes Element. Für die unterschiedlichsten Anwendungen und Werkstoffe/ insbesondere polymere Werk- Stoffe, ist es häufig von Bedeutung, deren Permeabilität für bestimmte Permeate bestimmen zu können, was insbesondere in einer Entwicklungsphase solcher poly- meren Werkstoffe, gegebenenfalls mit darauf ausgebildeten Barriereschichten oder solchen Schichtsystemen und auch für die Qualitätskontrolle gewünscht ist. Dabei können Permeationssperren bildende Elemente, insbesondere Folien, Membrane, Platten, rohrförmige Elemente, oder Bauteile sein, die auch aus bzw. mit Verbundwerkstoffen gebildet sein können.

Solche Werkstoffe und auch solche Substrate werden häufig für die Verpackung von Lebensmitteln oder anderen insbesondere Oxidations- oder auch feuchtigkeitsempfindlichen Produkten eingesetzt. Solche Werk- stoffe werden aber auch für Verkapselungen, beispielsweise für organische Leuchtdioden oder LCD- Displays eingesetzt, um insbesondere feuchtigkeitsempfindliche Komponenten vor solchen Einflüssen schützen zu können und deren Lebensdauer signifikant zu verlängern.

Die jeweilige Permeationsrate bestimmt dabei in hohem Maße die Qualität, die Funktionsfähigkeit und, wie bereits angesprochen, auch die Lebensdauer sowie die Haltbarkeit von elektronischen Bauelementen, Lebensmitteln oder Pharmaka.

Dabei steigen die Forderungen nach sehr geringen Per- meationsraten und es werden Ultrabarriereeigenschaf- ten gewünscht.

Mit den herkömmlichen Messverfahren können aber solche sehr kleinen Permeationsraten entweder nicht oder nur unbefriedigend über sehr lange Messzeiten be- stimmt werden. Dabei spielt das sichere Beherrschen von Adsorptions- oder Desorptionsprozessen, die bei den geringen Permeatkonzentrationen enormen Schwankungen unterworfen sind, eine wichtige Rolle.

Aus US 5,390,539 ist eine Vorrichtung zur Bestimmung der Permeabilitäten von Membranen für Wasserdampf bekannt. Bei dieser Vorrichtung ist eine gesonderte Absorptionsmesskammer vorgesehen. In diese Absorptions- messkammer wird mittels eines Trägergases Wasser- dampf, der durch eine für Wasserdampf permeable Membran aus einem oberen Gehäusebereich durch die' Membran

in einen unteren Gehäusebereich gelangt ist, über Leitungen zugeführt. Durch die Absorptionsmesskairaner wird Infrarotstrahlung hindurch und auf einen optischen Detektor, vor dem ein optisches Filter angeord- net ist, gerichtet. Je nach dem Anteil des im Trägergas enthaltenen Wasserdampfs wird die Infrarotstrahlung mehr oder weniger absorbiert, was mit dem optischen Detektor detektiert werden kann.

Dabei liegt es auf der Hand, dass aus mehreren Gründen die Messgenauigkeit und die erforderliche Messzeit unbefriedigend sind. Dabei ist zum einen die Entfernung der Absorptionsmesskammer vom eigentlichen Ort der Permeation groß und zum anderen ist es für die Bestimmung eines anderen Permeaten außer Wasserdampf erforderlich, ein anderes optisches Filter vor einem optischen Detektor anzuordnen, also einen entsprechenden Austausch vorzunehmen, was insbesondere für die Bestimmung mehrerer Permeaten auch die Kosten erhöht.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, Möglichkeiten zu schaffen, mit denen sehr kleine Permeationsraten mit ausreichender Messempfindlichkeit, Messgenauigkeit und mit vertretbarem Zeitaufwand bestimmt werden können.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe mit einer Vorrichtung, die die Merkmale des Anspruchs 1 aufweist, ge- löst. Dabei kann mit einem Verfahren gemäß Anspruch 20 gearbeitet werden.

Mit in untergeordneten Ansprüchen bezeichneten Merkmalen können vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiter- bildungen der Erfindung erreicht werden.

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Eine erfindungsgemäße Vorrichtung zur Bestimmung der Permeationsrate mindestens eines Permeaten durch ein eine Permeationssperre bildendes Element, das bevorzugt mit einem polymeren Stoff ausgebildet ist, weist eine Detektionskammer auf, die von einer Permeatkam- mer getrennt ist. Zumindest die Detektionskammer ist gegenüber der Umgebungsatmosphäre hermetisch abgedichtet. Ein eine Permeationssperre bildendes Element kann dabei eine Trennwand zwischen Permeatkammer und Detektiosnskammer oder zwischen Permeatkammer und einem Anschluss zur Detektionskammer bilden. Dieses muss hierzu nicht zwingend die gesamte Trennfläche der beiden Kammern ausfüllen, was beispielsweise durch eine klemmende Befestigung eines solchen EIe- mentes zwischen den beiden Kammern erfolgen kann, sondern es reicht aus, wenn eine Grenzfläche mit ausreichender Flächengröße durch das Element gebildet ist. Dabei sollte die Größe der Fläche des Elementes, durch die eine Permeation in die Detektionskammer er- folgen kann, bekannt sein.

Ein eine Permeationssperre bildendes Element sollte vorteilhaft auch zumindest über die gesamte Fläche über die eine Permeation erfolgen kann eine konstante Dicke und ggf. auch eine homogene Materialzusammensetzung aufweisen. Für den Fall, dass ein Element mit einer flächigen Beschichtung versehen worden ist, sollte auch die Beschichtung über diese Fläche gleichmäßig ausgebildet sein, was die Schichtdicke (n) einer aber auch mehrerer Schichten sowie deren Konsistenz betrifft.

In einer Permeatkammer ist ein gasförmiges Permeat, ein Gas oder eine Flüssigkeit enthalten, in dem/der wieder mindestens ein Permeat enthalten ist. Dabei besteht die Möglichkeit, ein solches mindestens einen

Permeaten enthaltendes Gas oder eine Flüssigkeit in die Permeatkammer kontinuierlich zu und wieder abzuführen, wobei möglichst mit konstantem Druck und konstantem Volumenstrom des/der zu- und wieder abgeführ- ten Gases/Flüssigkeit innerhalb der Permeatkammer gearbeitet werden sollte. In einer Permeatkammer kann aber auch ein konstantes Flüssigkeits- oder Gasvolumen enthalten sein bzw. das Flüssigkeit- oder Gasvolumen oder vorgebbare eine Flüssigkeits- oder Gasmen- ge statisch vorliegen.

Durch die Detektionskammer wird Strahlung einer Laserlichtquelle mit einer Wellenlänge, die einer Absorptionswellenlänge des jeweiligen Permeaten ent- spricht, zumindest aber in einem eng begrenzten Wellenlängenbereich um eine solche Absorptionswellenlänge eines Permeaten liegt, geführt. Der Laserstrahl durchdringt dabei die Atmosphäre in der Detektionskammer und trifft auf einen optischen Detektor, der zur Bestimmung einer Intensität mindestens einer jeweiligen Absorptionswellenlänge eines Permeaten geeignet ausgebildet ist.

Je nach Anteil eines durch das eine Permeationssperre bildenden Elementes in die Detektionskammer gelangten Permeaten wird in der dort vorhandenen Atmosphäre die Laserstrahlung mehr oder weniger absorbiert, was mit dem optischen Detektor erfasst werden kann.

Die Bestimmung kann dabei kontinuierlich über die

Zeit, zur Bestimmung der jeweiligen Permeationsrate, erfolgen. Es besteht aber auch die Möglichkeit, die Messungen zu vorgegebenen größeren diskreten Zeitpunkten durchzuführen und aus den so erhaltenen Mess- werten die jeweilige Permeationsrate rechnerisch zu bestimmen, was beispielsweise auch durch eine Inter-

polation möglich ist.

Für eine Bestimmung der Permeation sollte der Abstand des jeweiligen Laserstrahls zur Oberfläche des EIe- mentes innerhalb der Detektionskämmer klein gehalten sein, um die Messempfindlichkeit zu erhöhen. Dadurch kann das Totvolumen innerhalb der Detektionskammer klein gehalten werden, das nicht vom Laserstrahl durchdrungen und für die Detektion berücksichtigt werden kann.

Die Messempfindlichkeit kann außerdem dadurch erhöht werden, dass der vom Laserstrahl durch die Detektionskammer zurückgelegte Weg verlängert wird, bevor er auf den optischen Detektor auftrifft. Dies kann durch mindestens eine Reflexion erreicht werden, bei der der Laserstrahl seine Richtung ändert. Es besteht aber auch die Möglichkeit, mehrfache Reflexionen durch den Laserstrahl vorzusehen. Hierfür kann min- destens ein reflektierendes Element bevorzugt innerhalb oder aber auch außerhalb der Detektionskammer angeordnet sein. Es besteht aber auch die Möglichkeit, die innere Wandung der Detektionskammer zumindest bereichsweise für die Laserstrahlung reflektie- rend auszubilden oder so zu beschichten, wobei lediglich gesichert sein soll, dass der Laserstrahl auch auf den jeweiligen optischen Detektor auftrifft.

Dabei kann eine Reflexion des Laserstrahls so durch- geführt werden, dass er mehrfach die Richtung innerhalb der Detektionskammer wechselt und so ein großer Bereich des Detektionskammervolumens überstrichen und nicht nutzbares Totvolumen reduziert wird.

Das innere Volumen der Detektionskammer sollte kleiner, als das Volumen einer Permeatkammer sein. Da-

durch kann das Totvolumen, also ein Bereich, der nicht von Laserstrahlung überstrichen wird, reduziert werden.

In bevorzugter Ausführung sollte als Laserlichtquelle mindestens eine Laserdiode eingesetzt sein. Es können aber auch andere Laserlichtquellen, wie beispielsweise Quantenkaskadenlaser, Bleisalzlaser oder Festkörperlaser (Faserlaser, Scheibenlaser) in Verbindung mit der Erfindung eingesetzt werden.

Wird eine Laserlichtquelle eingesetzt, die monochromatische Strahlung einer Wellenlänge emittiert, die einer Absorptionswellenlänge eines Permeaten ent- spricht, kann eine zweite Laserlichtquelle eingesetzt werden, die Laserstrahlung mit davon abweichender Wellenlänge emittiert, die dann auch nicht von einem Permeaten absorbiert und auf einen weiteren oder den einen Detektor gerichtet wird. Mit diesen beiden be- stimmten Intensitäten kann eine Quantifizierung des durch das eine Permeationssperre bildenden Elementes diffundierten Permeaten erreicht werden.

Günstig ist es, insbesondere für eine Detektion von mehreren Permeaten, durchstimmbare Laserlichtquellen einzusetzen, mit denen Laserstrahlung mit ausgewählten Wellenlängen emittiert werden kann, die dann wiederum bestimmten Absorptionswellenlängen der jeweiligen Permeate zugeordnet sein können. Es ist so aber auch möglich bei der Durchstimmung den Wellenlängenbereich einer Absorptionsbande eines Permeaten zu ü- berstreichen und dadurch eine Quantifizierung des in die Detektionskammer diffundierten Permeaten zu erreichen.

Somit besteht neben der Möglichkeit einer kontinuier-

liehen oder auch, wie bereits erwähnt, zeitlich sequentiellen Bestimmung eines Permeaten, innerhalb einer Bestimmung auch mindestens eines weiteren Permeaten bezüglich der jeweiligen Permeationsrate. Da- bei kann ein alternierender Wechsel von emittierter Laserstrahlung mit jeweils unterschiedlichen Wellenlängen, bei zwei voneinander unterschiedlichen Wellenlängen oder eine zyklische Messung bei mehr als zwei Wellenlängen durchgeführt werden.

Es besteht aber auch die Möglichkeit, mindestens zwei voneinander unterschiedliche Laserlichtquellen, die Laserstrahlung mit voneinander abweichenden Wellenlängen emittieren, an einer erfindungsgemäßen Vor- richtung einzusetzen. Auch bei einer solchen Ausführungsform kann ein alternierender oder zyklischer Betrieb dieser Laserlichtquellen durchgeführt werden, wobei dann mindestens ein optischer Detektor vorhanden sein soll.

Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht außerdem die Möglichkeit, an der Detektionskammer mindestens ein Fensterelement vorzusehen. Durch ein solches Fensterelement kann dann ein Laserstrahl, der von ei- ner Laserlichtquelle emittiert worden ist, in das Innere der Detektionskammer gerichtet werden. Der Laserstrahl kann dann nach Durchdringen der Atmosphäre innerhalb der Detektionskammer auf einen optischen Detektor, der innerhalb der Detektionskammer angeord- net ist, zur Bestimmung der Permeationsrate, auftreffen. Es besteht aber auch die Möglichkeit, einen solchen optischen Detektor außerhalb der Detektionskammer anzuordnen und dann ein zweites Fensterelement an der Detektionskammer vorzusehen, durch das der Laser- strahl dann auf den außerhalb des zweiten Teils der

Detektionskammer angeordneten optischen Detektor auf-

treffen kann.

In einer weiteren Alternative besteht aber auch die Möglichkeit, innerhalb der Detektionskammer ein re- flektierendes Element anzuordnen, auf das der in die Detektionskammer eintretende Laserstrahl auftrifft und zurück durch dieses Fensterelement auf einen dann wieder außerhalb der Detektionskammer angeordneten optischen Detektor auftreffen kann.

Bei der Bestimmung einer Permeationsrate mindestens eines Permeaten kann in die Detektionskammer ein Trägergas zugeführt werden, in dem ein Permeat mit bekannter Konzentration oder kein Permeat enthalten ist. In diesem Fall sollte auch eine dementsprechende Abfuhr über einen Auslass aus der Detektioskämmer möglich sein. Dabei sollte möglichst in der Detektionskammer ein konstanter Druck vorliegen und die Zufuhr eines Trägergases mit einem vorgegebenen und konstant gehaltenem Volumenstrom durchgeführt werden.

In einer anderen Alternative besteht aber auch die Möglichkeit, ein solches Gas innerhalb einer nach außen abgeschlossenen Detektionskammer gasdicht gegen- über der äußeren Umgebungsatmosphäre abzuschließen. In diesem Fall erfolgt durch eine Permeation innerhalb der Atmosphäre der Detektionskammer eine Aufkonzentration des jeweiligen Permeaten, was bei der Bestimmung der Permeationsrate berücksichtigt werden kann.

Bei der Erfindung sollte bevorzugt Laserstrahlung im Wellenlängenbereich des infraroten, im Bereich des sichtbaren Lichts, des nahen infraroten, des mittle- ren infraroten und/oder des fernen infraroten Strahlungsspektrums eingesetzt werden, um dadurch eine hö-

here Empfindlichkeit und Selektivität für die jeweiligen Permeaten erreichen zu können.

Der durch das Innere der Detektionskammer geführte Laserstrahl sollte möglichst mit einem geeigneten optischen Element kollimiert sein, so dass eine nahezu parallele mit geringer Divergenz versehene Laserstrahlung genutzt werden kann.

Zur Gewinnung eines Referenzsignals besteht außerdem die Möglichkeit, die von der jeweiligen Laserlichtquelle, zumindest jedoch von einer eingesetzten Laserlichtquelle emittierte Laserstrahlung in zwei Laserstrahlen aufzuteilen und dabei einen der beiden Laserstrahlen direkt, d.h. außerhalb der Detektionskammer, unmittelbar auf einen optischen Detektor zu richten. Dies kann beispielsweise über eine geeignete optische Faser erfolgen, um Umgebungsatmosphäreneinflüsse zu vermeiden.

In ganz besonders bevorzugter Ausführungsform können mindestens eine Laserlichtquelle und ein optischer Detektor ein Laserdiodenspektrometer bilden, was sich insbesondere auf die Kosten günstig auswirken kann. Außerdem besteht die Möglichkeit, Laserdioden durch Veränderung der Leistung oder einer Temperatur so durchzustimmen, dass von ihnen Laserstrahlung mit unterschiedlichen Wellenlängen emittiert werden kann. Hierzu können beispielsweise Peltierelemente oder an- dere geeignete Thermistoren in Verbindung mit Laserdioden eingesetzt werden.

Wie bereits angesprochen besteht die Möglichkeit, ein Verfahren zur Bestimmung der Permeationsrate mindes- tens eines Permeaten so durchzuführen, dass mindestens ein Permeat enthaltendes Gas, eine solche Flüs-

sigkeit oder gasförmiges Permeat mit konstanter Konsistenz und bevorzugt mit konstantem Volumenstrom, der Permeatkammer kontinuierlich zu- und daraus wieder abgeführt wird. Dabei sollte möglichst auch ein konstanter Innendruck in der Detektionskammer eingehalten werden.

In Alternative dazu kann aber auch eine statische Gaskonzentration dauerhaft in der Permeatkammer, wäh- rend der Bestimmung einer Permeationsrate, enthalten sein.

Eine Flüssigkeit, wie z.B. Wasser kann aber auch in einer Permeatkammer eingeschlossen gehalten sein. Die Permeation kann dann als Dampf über ein eine Permea- tionssperre bildendes Element in die Detektionkammer erfolgen.

Ein oder mehrere Permeat (en) können in Folge einer Permeabilität eines eine Permeationssperre bildenden Elementes durch dieses hindurch in die Detektionskammer gelangen. Innerhalb der Detektionskammer kann dann die Bestimmung der Permeationsrate durchgeführt werden, wie dies bereits vorab mittels des Laser- Strahls und des optischen Detektors erläutert worden ist, durchgeführt werden.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung kann vor Beginn einer Permeationsratenbestimmung gereinigt werden, um insbesondere Reste vorab eingesetzter Gase oder Flüssigkeiten zu entfernen, was bevorzugt durch eine Spülung mit einer geeigneten neutralen Flüssigkeit (Nullspülung) und/oder mit geeigneten Gasen für eine Reinigung der Oberflächen in den Kammern erreicht werden kann.

Mit der Erfindung können sehr hohe Nachweisempfind- lichkeiten und Selektivitäten bei der Permeationsra- tenbeStimmung erreicht werden. Außerdem können unterschiedliche Permeaten, wie beispielsweise Wasser (Dampf, Feuchtigkeit) , Sauerstoff, Methan, Kohlendioxid, Kohlenmonoxid, Ammoniak, Fluorwasserstoffe aber auch andere Permeaten mit der Erfindung detektiert werden.

In einer Ausführungsform kann ein eine Permeati- onssperre bildendes Element innen hohl und mit zwei offenen gegenüberliegenden Stirnseiten ausgebildet sein und beispielsweise die Form eines Hohlzylinders aufweisen. Ein so ausgebildetes eine Permeationssper- re bildendes Element kann dann gleichzeitig Bestandteil der Detektionskammer sein. Durch das innen hohle eine Permeationssperre bildende Elemente kann dann der zumindest eine Laserstrahl für die Detektion gerichtet werden. Ein solches Element kann vollständig in eine Permeatkammer aufgenommen sein, so dass die gesamte Mantelfläche des Elementes von außen von einem Gas oder einer Flüssigkeit umgeben ist und die Permeation durch die Mantelfläche erfolgen kann.

Ein so ausgebildetes eine Permeationssperre bildendes Element kann aber auch in eine Aufnahme, die beispielsweise an einer Wandung einer Permeatkammer ausgebildet ist, eingesetzt werden. Dabei soll die Aufnahme so ausgebildet sein, dass ein Bereich der Man- telfläche des einen eine Permeationssperre bildenden Elementes in das Innere der Permeatkammer weist und so eine Permeation möglich in das Innere des Elementes ist.

Wie bereits angesprochen, besteht aber auch die Möglichkeit, mehr als einen Permeaten bei einer Bestim-

mung zu berücksichtigen.

Durch die Detektion und Bestimmung unmittelbar in der Vorrichtung fallen Transportwege weg, die die Messge- nauigkeit, Messempfindlichkeit und die Zeitkonstante negativ beeinflussen.

Die Erfindung gestattet einen statischen und auch dynamischen Betrieb, wobei ein großer Dynamikbereich berücksichtigt werden kann.

Es kann bei unterschiedlichen Drücken, sowohl statisch, wie auch dynamisch, z.B. innerhalb der Per- meatkammer, detektiert werden.

Es besteht außerdem die Möglichkeit, herkömmliche Messsysteme, wie beispielsweise bereits kommerziell erhältliche Laserdiodenspektrometer einzusetzen, die dann lediglich an eine erfindungsgemäß ausgebildete Vorrichtung angeschlossen oder angeflanscht werden können.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung arbeitet verschleißfrei und bildet ein regenerationsfreies Mess- system. Es besteht auch die Möglichkeit, nach einmaliger Kalibrierung eine langzeitstabile Bestimmung von Permeationsraten durchführen zu können. Vor Beginn einer neuen Messung von Permeationsraten kann eine Spülung von Permeatkammer und/oder Detekti- onskammer vorgenommen werden, um Restkontaminierungen zu beseitigen.

Wie bereits vorab angesprochen, besteht die einfache Möglichkeit, die jeweiligen optischen Weglängen, über die ein Laserstrahl durch das Innere der Detekti- onskammer geführt werden kann, durch Mehrfachreflexi-

onen zu verlängern.

Bei einer Anordnung einer Laserlichtquelle und eines optischen Detektors innerhalb der Detektionskammer kann auch auf Fensterelemente verzichtet werden. Für die Strahlführung können außerdem Prismen, optische Linsen oder auch Fasern anstelle von reflektierenden Elementen eingesetzt werden.

In einer geringfügigen Abwandlung der Erfindung besteht die Möglichkeit, auch nach dem Prinzip der Ca- vity-Ring-Down-Spektroskopie oder der fotoakustischen Spektroskopie zu arbeiten.

Nachfolgend soll die Erfindung beispielhaft näher erläutert werden.

Dabei zeigen:

Figur 1 in schematischer Form in einer Schnittdarstellung ein Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung und

Figur 2 eine Detektionskammer, die an eine Permeat- kammer einer erfindungsgemäßen Vorrichtung angeschlossen werden kann.

Figur 1 zeigt ein erstes Beispiel einer erfindungsgemäßen Vorrichtung mit einer Permeatkammer 2.1, die mit einer Detektionskammer 2.2 verbunden ist. Permeatkammer 2.1 und Detektionskammer 2.2 weisen Hohlräume auf. Die beiden Kammern 2.2 und 2.1 sind durch ein hier flächiges ein eine Permeationssperre bildendes Element 1 zumindest mit ihren Hohlräumen vonein- ander getrennt. Dabei kann das Element 1 zwischen den beiden Kammern 2.2 und 2.1 klemmend gehalten

sein. Gegenüber der Umgebungsatmosphäre sind die Hohlräume der beiden Kammern 2.2 und 2.1 hermetisch abgeschlossen.

Durch einen Zufluss 14 kann ein mindestens einen Per- meaten enthaltendes Gas, eine Flüssigkeit oder ein gasförmiges Permeat, wie mit dem links angeordneten Pfeil dargestellt, in die Permeatkammer 2.1 zu- und auf der gegenüber liegenden Seite über den Abfluss 15 wieder abgeführt werden. Dabei sollen konstante

Druckverhältnisse und die Zufuhr mit konstantem Volumenstrom und konstanter Konsistenz in definierter Form erfolgen, um reproduzier- und vergleichbare Werte zu ermitteln. An der hier unten dargestellt ange- ordneten Detektionskammer 2.2 sind zwei Fensterelemente 6 und 7 an gegenüber liegenden Seiten der Detektionskammer 2.2 angeordnet. Durch das Fensterelement 6 kann Laserstrahlung, die von der Laserlichtquelle 4, hier ein Diodenlaser, emittiert wird, in das Innere der Detektionskammer 2.2 eintreten. Dabei kann der Laserstrahl 3 durch das reflektierende Element 8 zurück in Richtung auf ein zweites Element 9 und von diesem auf einem nach einem optischen Fensterelement 7 angeordneten optischen Detektor 5 ge- richtet werden, wobei bei entsprechender Gestaltung und Ausrichtung von reflektierenden Elementen 8 und 9 sowie dem Einfallswinkel des Laserstrahls 3 mehr als zwei Reflexionen innerhalb der Detektionskammer 2.2 zur Verlängerung des vom Laserstrahl 3 darin zurück gelegten Weges möglich sind.

Die Laserlichtquelle 4 emittiert dabei Laserstrahlung mit einer Wellenlänge von 1,38 μm, was einer Absorptionswellenlänge für Wasserdampf entspricht. Durch die mehrfache Reflexion des Laserstrahls 3 innerhalb der Detektionskammer 2.2 kann der zurückgelegte Mess-

weg vergrößert und so die Sensitivität erhöht werden, um die momentane Konzentration des Permeaten innerhalb der Detektionskammer 2.2 durch Bestimmung der Intensität des auf den optischen Detektor 5 auftref- fenden Laserstrahls 3 zu ermitteln. Durch entsprechende zeitliche Bestimmung kann daraus die jeweilige Permeationsrate des Permeaten durch das Element 1 bestimmt werden.

Bei dem in Figur 1 gezeigten Beispiel ist ebenfalls für eine Zufuhr und eine Abfuhr ein änschluss 10 und ein Abfluss 11 für ein Trägergas an der Detekti- onsskammer 2.2 dargestellt. Das zu- und wieder abgeführte Trägergas ist bei der Zufuhr frei von dem zu- mindest jeweiligen Permeaten. Die Zufuhr des Trägergases soll dabei so geregelt sein, dass diese mit einem konstanten Volumenstrom sowie einer konstanten Konsistenz des Trägergases durchgeführt wird, so dass konstante Verhältnisse in der Detektionskammer 2.2 eingehalten werden können. Zur Realisierung statischer Bedingungen sind die Ventile 12 und 13 vorhanden.

Die in Figur 2 gezeigte Detektionskammer 2.2 kann an eine Permeatkammer 2.1 angeschlossen oder daran angeflanscht werden. Dabei gelangt ein mindestens einen Permeaten enthaltendes Trägergas über einen Zufluss 16 in die Detektionskammer 2.2 und kann aus dieser über einen Abfluss 17 wieder abgeführt werden, wie dies mit den dick gedruckten Pfeilen angedeutet ist.

Alle übrigen Elemente entsprechen denen, wie sie auch beim Beispiel nach Figur 1 vorgesehen und mit gleichen Bezugszeichen versehen sind.

In nicht dargestellter Form besteht aber auch die

Möglichkeit, sämtliche optischen Elemente, also die Laserlichtquelle 4, die reflektierenden Elemente 8 und 9 und den optischen Detektor 5 innerhalb der De- tektioskämmer 2.2 anzuordnen, wobei dann auf die Fensterelemente 6 und 7 verzichtet werden kann.

So sind die eigentlich für die Detektion und Bestimmung der Permeationsrate erforderlichen Elemente alle innerhalb der Detektionskammer 2.2 aufgenommen und so geschützt angeordnet, so dass äußere Einflüsse die Bestimmung der Permeationsrate nicht beeinflussen können.

über den Anschluss 16 gelangt das Permeat oder ein Permeat enthaltendes Gas, der/das durch das Element 1 aus einer Permeatkammer 2.1 (hier nicht dargestellt) diffundiert ist, in die Detektionskammer 2.2 und tritt durch den Abfluss 17 wieder aus.