〔第1の実施の形態〕
 本発明の第1の実施の形態による表示パネル 、積層型表示素子及びその製造方法について 図1乃至図9を用いて説明する。
 図1は、本実施の形態による表示パネルを表 示面側から見た平面図である。図2は、図1のA -A線で切断した断面構成を示す断面図である� ��
 本実施形態における表示パネル13は、主に� �層されて用いられる。例えば、青色、緑色� �び赤色を表示可能な3枚の表示パネル13を積� �することにより、カラー表示が可能となる� �

 表示パネル13は、図1に示すように、矩形の� ��形状に形成され、画像等を表示可能な画素� ��域4が中央に設けられている。表示パネル13� ��、一対の矩形のガラス基板1、3、シール壁5� ��表示材料層11及びアライメントマーク群7を� ��えている。
 一対のガラス基板1、3は、図2に示すように� ��表示材料層11を挟んで対向配置されている� �ガラス基板1、3は、例えば縦横の長さが10(cm) ×8(cm)の大きさに切断したガラスを用いてい� �が、ガラスに代えてポリカーボネート(PC)や� ��リエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチ� �ンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルホン (PES)、シクロオレフィンポリマー(COP)等の樹� �で形成され、十分な可撓性を有するフィル� �基板(樹脂基板)を使用することもできる。本 実施の形態では、ガラス基板1、3はいずれも� ��光性を有しているが、複数の表示パネル13� �積層した場合には、表示面側から見て最下� �に配置される表示パネル13のガラス基板3は� �透光性であってもよい。

 これら一対のガラス基板1、3の間には、� �ラス基板1とガラス基板3とが重なり合ってい る領域の外周に沿って、この重なり合ってい る領域を密封するためのシール壁5と液晶を� �入するための封止口6(図1参照)とが設けられ� ��いる。これにより、ガラス基板1とガラス基 板3との間に、コレステリック相を形成する� �晶が封入されて表示材料層11が形成される。

 また、一対のガラス基板1、3のうち、表示� �側に配置されたガラス基板1の基板面には、� ��ラス基板3側に、矢印C方向に平行に延びる� �数の透明電極ライン8が設けられている。
 一方、表示面と反対側に配置されたガラス� ��板3の基板面には、ガラス基板1側に、矢印D� ��向(図1参照)に平行に延びる複数の透明電極� ��イン9が設けられている。なお、本実施形態 では、矢印C方向と矢印D方向とは略直交して� ��るが、透明電極ライン8と透明電極ライン9� �が交わる角度は90°(度)以外の角度であって� �よい。
 各透明電極ライン8と各透明電極ライン9と� �交差部毎には、複数の画素2が形成されてい� ��。これら複数の画素2は、例えば、ガラス基 板1の基板面に平行な面内にドットマトリク� �状に設けられている。各画素2は、図示せぬ� ��ライバIC(Integrated Circuit)の制御下で通電す� �透明電極ライン8、9が表示材料層11を駆動す� ��ことによって駆動され、画素領域4に種々の 画像を表示可能に設けられている。

 また、一対のガラス基板1、3の間には、� �実施形態における表示パネル13を他の表示パ ネルと積層するときに、積層される他の表示 パネルと位置合わせするためのアライメント マーク群7が設けられている。このアライメ� �トマーク群7は、シール壁5の内側で、一対の ガラス基板1、3の両対向面に接触して形成さ� ��ており、両対向面の間隔に等しい高さで形� ��されている。アライメントマーク群7は、例 えば接着性を有する部材であり、基板1、3の� ��方に接着されている。なお、本実施形態に� ��けるアライメントマーク群7は、一対のガラ ス基板1、3の両対向面に接触して形成されて� ��るが、いずれか一方のガラス基板1、3のみ� �接触して形成されていてもよい。

 アライメントマーク群7は、例えばフォト リソグラフィ法を用いて形成することができ る。より具体的には、一方のガラス基板1(3)� �に、アクリル系感光性樹脂等のフォトレジ� �トを塗布する。次に、フォトレジストを必� �に応じてベークした後、フォトレジストに� �してマスク露光、洗浄を行うフォトリソグ� �フィプロセスにより、アライメントマーク� �7を形成する。アライメントマーク群7の形成 材料としては、ポジ型またはネガ型の光硬化 型樹脂(フォトレジスト)や熱硬化型樹脂を好� ��に用いることができる。

 アライメントマーク群7は、図1に示すよう� �、異なる形状に形成された3つのアライメン� ��マーク小21、アライメントマーク中23及びア ライメントマーク大25を備えている。
 アライメントマーク小21は、ガラス基板1、3 の表面に対して垂直な方向にガラス基板1、3� ��に延びる中実円柱形状に形成されている。� ��のアライメントマーク小21は、表示面に垂� �な方向から見て、中実円形状に形成されて� �る。
 アライメントマーク中23は、アライメント� �ーク小21の直径よりも大きな径の内径を有し 、ガラス基板1、3の表面に対して垂直な方向� ��ガラス基板1、3間に延びる中空円柱形状に� �成されている。アライメントマーク中23は、 表示面に垂直な方向から見て、アライメント マーク小21の直径よりも大きな径の内径を有� ��る環形状に形成されている。
 アライメントマーク大25は、アライメント� �ーク中23の外径よりも大きな径の内径を有し 、ガラス基板1、3の表面に対して垂直な方向� ��ガラス基板1、3間に延びる中空円柱形状に� �成されている。アライメントマーク大25は、 表示面に垂直な方向から見て、アライメント マーク中23の外径よりも大きな径の内径を有� ��る中空円形状となるように形成されている� ��
 これらアライメントマーク21、23、25は、表� ��面に垂直な方向から見て、同心円に重ね合� ��されたときに、アライメントマーク小21の� �周をアライメントマーク中23が囲み、アライ メントマーク中23の外周をアライメントマー� ��大25が囲むようにそれぞれ形成されている� �
 なお、アライメントマーク小21、アライメ� �トマーク中23及びアライメントマーク大25の� ��面形状は、円形状、環(リング)形状、正方� �形状、L字形状、十字形状又は鍵型形状等、� ��意の形状とすることができる。

 アライメントマーク群7は、表示パネル13� ��対角線上にある2つの角部近傍(図中左上と� �下)に設けられている。各アライメントマー� ��群7は、矢印C方向に沿って、上からアライ� �ントマーク大25、アライメントマーク中23及� ��アライメントマーク小21の順にそれぞれ設� �られている。すなわち、アライメントマー� �大25、アライメントマーク中23及びアライメ� ��トマーク小21は、ガラス基板1に設けられた� ��明電極ライン8が延びる方向と略平行に、矢 印C方向に沿って一直線状に配列されている� �

 また、アライメントマーク小21の中心と� �ライメントマーク中23の中心との間隔I1、及� ��、アライメントマーク中23の中心とアライ� �ントマーク大25の中心との間隔I2は、図2に示 すように、ガラス基板1、3の表面に沿った面� ��で等しい距離(I1=I2)に形成されている。ここ で、間隔I1を求める際のアライメントマーク� ��位置を決定する点は、例えば、アライメン� ��マークの重心であったり、L字形状のアライ メントマークを用いた場合にはその角部であ ったり、任意に設定することができる。これ ら距離I1及び距離I2は、透明電極ライン9の矢� ��C方向における画素ピッチPの略2倍の距離と� ��しい距離(I1=I2=2P)で設けられている。なお、 本実施形態における画素ピッチPは、隣り合� �透明電極ライン9の延びる方向の中心線同士� ��対する、アライメントマーク大25、アライ� �ントマーク中23及びアライメントマーク小21� ��配列された矢印C方向の間隔としている。こ こで、本実施形態では、間隔I1及び間隔I2を� �矢印C方向に取った画素ピッチPの2倍の距離� �しているが、画素ピッチPの正の整数倍の距� ��とほぼ等しい距離であればその他の距離で� ��ってもよい。

 図3は、積層型表示素子の断面図である。
 表示パネル13は積層可能に設けられており� �図3に示すように、3枚の表示パネル13を積層� ��ることにより、積層型表示素子100が形成さ� ��る。
 積層型表示素子100に設けられた3枚の表示パ ネル13は、青色を表示する表示パネル13B、緑� ��を表示する表示パネル13G、及び赤色を表示� ��る表示パネル13Rであり、表示面側からこの� ��(図中上方から下向きの順)に積層されてい� �。これにより、積層型表示素子100は、フル� �ラー表示が可能になる。特にコレステリッ� �液晶を用いた表示パネル等の光を反射して� �像を表示する反射型の表示パネルにおいて� �、重ね合わせて積層構造とした場合に、各� �が画素領域の全体に入射した光の反射光を� �用して表示できるため、明るい表示が得ら� �る。

 各表示パネル13は、表示パネル13同士の間に 設けられた接着層15によって接着されている� ��
 表示パネル13Bと表示パネル13Gとは、表示パ� ��ル13Bに形成されたアライメントマーク小21B� ��中心に、表示パネル13Gに形成されたアライ� ��ントマーク中23Gの中心が位置合わせされて� ��層されている。
 また、表示パネル13Gと表示パネル13Rとは、� ��示パネル13Gに形成されたアライメントマー� ��中23Gの中心に、表示パネル13Rに形成された� ��ライメントマーク大25Rの中心が位置合わせ� ��れて積層されている。
 これにより、表示パネル13Bのアライメント� ��ーク小21Bと、表示パネル13Gのアライメント� ��ーク中23Gと、表示パネル13Rのアライメント� ��ーク大25Rとの中心は、二点差線Eで示すよう に、ガラス基板1、3に垂直な一直線上に位置� ��わせされている。このため、隣り合って積� ��された表示パネル13Bと表示パネル13G(又は表 示パネル13Gと表示パネル13R)とは、間隔I1、す なわち、画素ピッチPの2倍の距離である2ピッ チ分の距離だけアライメントマーク群7が配� �された矢印C方向にずれて積層されている。

 各表示パネル13B、13G、13Rが、それぞれ2ピ ッチずつ矢印C方向にずれて積層されている� �とにより、各表示パネル13B、13G、13Rの画素� �域4同士もそれぞれ2ピッチずつ矢印C方向に� �れている。例えば、表示パネル13Bの画素領� �4と、表示パネル13Gの画素領域4とは、矢印C� �向に2ピッチだけずれている。これに伴って� ��各表示パネル13B、13G、13Rの画素領域4の画素 2も、ちょうど2ピッチ分の距離だけ矢印C方向 にずれている。このため、表示パネル13Bと表 示パネル13Rとでは、4ピッチずれており、各� �示パネル13B、13G、13Rに設けられた画素領域4� ��矢印C方向の幅は、実際に画像等の表示に寄 与する表示領域の幅より4ピッチ分だけ幅広� �形成されている。すなわち、各表示パネル� �形成される画素領域の幅は、少なくとも、1� ��の表示パネルに対して積層される表示パネ� ��の枚数と、アライメントマーク同士の間隔� ��を乗じた分だけ表示領域よりも幅広となる� ��なお、本実施形態では、各表示パネル13B、1 3G、13Rにおいて画素2が配列された領域を画素 領域4と定義し、3枚の表示パネル13B、13G、13R� ��積層したときに画素領域4が3層に重なって� �る領域を表示領域と定義する。

 各表示パネル13B、13G、13Rには、表示領域の� ��素列の本数よりも4ピッチ分、即ち4本多く� �画素列で画素領域4が形成されている。この� ��め、表示領域を形成する画素列の数が1から nのn本とすると、各表示パネル13B、13G、13Rは� ��表示領域の画素列の数nに4本加えたn+4本の� �素列で形成された画素領域4を有している。
 なお、アライメントマーク間の間隔が1ピッ チ分の距離である表示パネルを2枚積層した2� ��構造の積層型表示素子の場合には、表示領� ��の画素列の本数よりも1本多いn+1本の画素列 で画素領域が各表示パネルに形成される。

 各表示パネル13B、13G、13Rを重ね合わせる際� ��は、表示パネル13Bの画素領域4における端部 から3番目の画素列に、表示パネル13Gの画素� �域4における端部から1番目の画素列が位置合 わせされて2枚の表示パネル13B、13Gは重ね合� �されている。
 一方、表示パネル13Gの画素領域4における端 部から3番目の画素列に、表示パネル13Rの画� �領域4における端部から1番目の画素列が位置 合わせされて2枚の表示パネル13G、13Rは重ね� �わされている。
 すなわち、3つの表示パネル13B、13G、13Rは、 それぞれ2ピッチ分だけずらして重ね合わさ� �ており、表示パネル13Bに設けられた5~n+4番目 の画素列と、表示パネル13Gに設けられた3~n+2� ��目の画素列と、表示パネル13Rに設けられた1 ~n番目の画素列とが、互いの画素列と重なっ� ��いる。このため、表示パネル13Bに形成され� ��2ピッチ分の1、2番目の画素列、及び、表示� ��ネル13Rに形成された2ピッチ分のn+3、n+4番目 の画素列は、それぞれ表示パネル13Gに形成さ れた画素列に重ならないように設けられてい る。

 本実施形態における積層型表示素子100では� ��各表示パネル13B、13G、13RとドライバICや駆� �用電源回路とを接続する方法としては、公� �の手法を用いることができる。表示パネル13 の端部に透明電極ライン8、9を露出させてお� ��、露出している透明電極ライン8、9に図示� �ぬFPC(Flexible Printed Circuit)を接続する手法が� ��般的である。しかしながら、本発明におい� ��は、各層の表示パネル13B、13G、13Rをずらし� ��作製するため、従来と同様の方法によりFPC� ��接続すると表示パネル13B、13G、13Rに表示さ� ��る画像が層毎にずれてしまう。表示パネル1 3B、13G、13Rに表示される画像が層毎に一致す� ��ように設けられたFPCを用いればこの問題は� ��じないが、各層毎に異なるパターンの複数� ��FPCを用いる必要があり、製造コストの点で� ��ましくない。
 また、各表示パネル13B、13G、13Rの透明電極� ��イン8、9に合わせてFPCを接着する位置をず� �せば、表示のずれは生じない。しかしなが� �、この場合では、各表示パネル13B、13G、13R� �設けられた透明電極ライン8、9の端子部とFPC との位置合わせを行うアライメントマークを 、表示パネル13B、13G、13R毎に変更しなければ ならず、作業効率の点で好ましくない。

 本実施形態における積層型表示素子100では� ��重ね合わされる各表示パネル13B、13G、13Rに� ��続するFPCとして、同じパターンのFPCを用い� ��いる。
 各表示パネル13B、13G、13Rに接続される3つの FPCには、それぞれ1枚の表示パネル13B、13G、13 Rに設けられたn+4本の画素列と同数のn+4本の� �線が設けられている。各表示パネル13B、13G� �13Rに接続されるFPCは、各表示パネル13B、13G� �13Rに設けられた1~n+4番目の画素列に接続され る。

 ドライバICは、視認する方向に配列され� �各画素2間が、積層型表示素子100の表示面に� ��示する画像の同じ部分に、それぞれ対応す� ��ように信号を送信する。例えば、表示パネ� ��13Bに設けられた5番目の画素列に送信する信 号と、表示パネル13Gに設けられた3番目の画� �列に送信する信号と、表示パネル13Rに設け� �れた1番目の画素列に送信する信号とが対応� ��るようにドライバICは信号を送信する。こ� �により、ドライバICは、表示パネル13Bに設け られた5~n+4番目の画素列と、表示パネル13Gに� ��けられた3~n+2番目の画素列と、表示パネル13 Rに設けられた1~n番目の画素列とに信号を送� �する。すなわち、表示パネル13Bに設けられ� �1~4番目の配線と、表示パネル13Gに設けられ� �1、2、n+1、n+2番目の配線と、表示パネル13Rに 設けられたn+1~n+4番目の配線とは信号の送信� �用いられないようになっている。

 以上の構成により、同じ配線パターンのF PCを各層の表示パネル13B、13G、13Rに対して共� ��に用いることが可能である。これにより、� ��表示パネル13B、13G、13RにFPCを接着する位置� ��共通の位置となり、表示パネル13B、13G、13R� ��FPCを位置合わせするための図示せぬアライ� ��ントマークを、各表示パネル13B、13G、13Rで� ��じ位置に設けることが可能である。このた� ��、表示パネル13B、13G、13Rの共通化を図るこ� ��が可能である。

 以下、積層型表示素子100の製造方法につい� ��説明する。
 積層型表示素子100を製造する際には、先ず� ��3つの表示パネル13B、13G、13Rを製造する。
 表示パネル13B、13G、13Rを製造する際には、� ��ず、ストライプ状のパターンをエッチング� ��よりガラス基板1、3上に形成することによ� �透明電極ライン8、9を形成する。

 ガラス基板1、3上に電極ライン8、9を形成 したら、レジストを塗布した後に、マスク露 光、洗浄を行うフォトリソグラフィプロセス によって、ガラス基板1、3の対角線上にある2 つの角部近傍にアライメントマーク群7B、7G� �7Rをそれぞれ形成する。

 アライメントマーク群7B、7G、7Rを形成し� ��ら、ガラス基板1、3が重なる領域の周縁部� �ディスペンサを用いてシール壁5を描画する� ��

 一方のガラス基板3(1)にはスペーサビーズ (図示せず)を散布し、両ガラス基板1、3を貼� �合わせて液晶用セルを形成する。

 3個の液晶用セルを形成したら、次に、各 液晶用セルにB(青色表示)、G(緑色表示)、R(赤� ��表示)用の液晶をそれぞれ真空注入して封止 口6(図1参照)を封止する。これにより、各セ� �に表示材料層11B、11G、11Rがそれぞれ形成さ� �る。

 表示材料層11が形成されると、ガラス基� �1、3の端部の電極端子部にACF(Anisotropic Condact ive Film)を介してFPCを加熱圧着して表示パネ� �13B、13G、13Rとなる。

 表示パネル13B、13G、13Rが製造されると、表� ��パネル13B、13G、13Rを積層して積層型表示素� ��100を製造する。次に、表示パネル13B、13G、1 3Rを積層する際の位置合わせ工程及び貼り合� ��せ工程について図4乃至図7を用いて説明す� �。図4は、吸着基板(支持基板)73、74及び表示� ��ネル13B等を概略的に示す斜視図である。
 先ず、図4に示すように、ガラス基板1B(図3� �照)を吸着基板73側に向けて表示パネル13Bを� �着基板73上に吸着固定する。次に、表示パネ ル13Bのガラス基板3B(図3参照)上に光硬化型の� ��体状の透明な接着剤を塗布する。次に、ガ� ��ス基板1G(図3参照)を吸着基板74側に向けて表 示パネル13G(図3参照)を吸着基板74上に吸着固� ��する。吸着基板74には、表示パネル13B、13G� �それぞれに2つずつ設けられた各アライメン� ��マーク群7、7と重なる位置にそれぞれ開口� �74Aが形成されている。吸着基板73、74の少な� ��とも一方は不図示のX-Yステージ上に設置さ� ��、図4の図中に示すx方向及びy方向に移動可� ��となっている。

 図5は、図4のA-A線で切断した断面図である� �
 次に、図5に示すように、アライメントマー ク小21B、21Bの位置及びアライメントマーク中 23G、23Gの位置がそれぞれ対応するように、表 示パネル13Gを表示パネル13Bの上に重ね合わせ る。このとき、接着剤が2枚の表示パネル13B� �13Gの間に広がって接着層15が形成される。こ れにより、ガラス基板3B、1Gの両対向面間に� �該接着剤で形成された接着層15が形成される 。接着剤は表示パネル13B、13Gの周囲にはみ出 すこともある。

 表示パネル13Bのアライメントマーク小21B� ��21B及び表示パネル13Gのアライメントマーク� ��21G、21Gの上方には対物レンズ付のCCDカメラ9 1、91が配置される。CCDカメラ91、91の位置は� �例えば固定される。

 次に、図中二点鎖線で模式的に示すよう� ��、CCDカメラ91による撮像システムにより、� �着基板74側から開口部74Aを介してアライメン トマーク小21Bとアライメントマーク中23Gとを 同一視野内で視認する。

 図6は、CCDカメラ91によって撮像される画像� ��示す模式図である。また、図7は、吸着基板 の移動後にCCDカメラ91によって撮像される画� ��を示す模式図である。
 本実施形態では、図6に示すように、画像認 識等の方法により、撮像した画像よりアライ メントマーク小21Bの中心のx、y座標及びアラ� ��メントマーク中23Gの中心のx、y座標を同時� �認識し、アライメントマーク小21Bとアライ� �ントマーク中23Gとのx-y面内におけるずれ量� �測定する。

 ここで、一方の表示パネルに形成された� ��形状のアライメントマークに対して、他方� ��表示パネルに形成されたアライメントマー� ��が、一方の表示パネルに形成された円形状� ��アライメントマークの直径よりも大きな内� ��を有する環形状である、すなわち、隣り合� ��て積層される表示パネル13B、13G同士を互い� ��異なる形状のアライメントマーク小21Bとア� ��イメントマーク23Gとで位置合わせすること� ��より、各アライメントマークが判別され易� ��なる。また、積層された表示パネルに形成� ��れたアライメントマークは、層毎にアライ� ��ントマークの位置が異なるため、同時に視� ��するときに、一方の層のアライメントマー� ��に焦点を合わせると、他方の層のアライメ� ��トマークに焦点が合わなくなり、アライメ� ��トマークの輪郭が不明瞭となる場合がある� ��、アライメントマークの中心(重心)の位置� �合わせることにより、輪郭のボケによる位� �ずれが起こり難くなる。

 次に、図6の矢印で模式的に示すように、 吸着基板73、74(図4参照)の一方又は両方をx方� ��及びy方向に移動して、当該2つのずれ量を� �小化するように表示パネル13B、13Gの一方又� �両方を移動させる。これにより、図7に示す� ��うに、各表示パネル13B、13Gにそれぞれ2つず つ設けられたアライメントマーク小21B、21Bと アライメントマーク中23G、23Gとをそれぞれ位 置合わせすることができる。ところで、ガラ ス基板1、3(図5参照)の膨張、収縮、歪みや、� ��ラス基板1、3に設けられたアライメントマ� �クの位置ずれ等が生じてしまい、同じ表示� �ネル内に設けられた複数のアライメントマ� �クの位置関係がずれて、これら複数のアラ� �メントマークが、重ね合わされた表示パネ� �に設けられた複数のアライメントマークと� �全に一致しない場合がある。このような場� �には、例えば、2つずつ設けられたアライメ� ��トマーク小21B、21B及びアライメントマーク� ��23Gをそれぞれ位置合わせするときに、一方� ��アライメントマーク小21Bと一方のアライメ� ��トマーク小23Gとのずれ量が、他方のアライ� ��ントマーク小21Bと他方のアライメントマー� ��小23Gとのずれ量と略同じ量となる位置に、� ��示パネル13B、13Gの一方又は両方を移動させ� ��位置合わせする。

 各アライメントマーク小21B、21Bと各アラ� ��メントマーク中23G、23Gとが、図5に示すよう に、それぞれ位置合わせされると、吸着基板 73、74を表示パネル13B、13Gから除去する。次� �、接着層15に光を照射して接着層15を硬化さ� ��、表示パネル13Bと表示パネル13Gとを接着層1 5により固着する。

 次に、接着層15による固着によって積層� �れた表示パネル13Bと表示パネル13Gとに、表� �パネル13Rを位置合わせして積層する工程を� �明する。

 図8は、3枚の表示パネル13B、13G、13Rを位置� �わせする工程を示す模式図である。なお、� �8では、理解を容易にするため、アライメン� ��マーク小21Bとアライメントマーク中23Gとで� ��置合わせされて積層された表示パネル13B、1 3Gはずらして図示されている。
 先ず、表示パネル13Bを吸着基板73(図5参照)� �に向けて表示パネル13B、13Gを吸着基板73上に 吸着固定する。次に、表示パネル13G(図3参照) のガラス基板3G上に光硬化型の液体状の透明� ��接着剤を塗布する。次に、ガラス基板3Rを� �着基板74(図5参照)側に向けて表示パネル13Rを 吸着基板74上に吸着固定する。

 図9は、位置合わせされた3枚の表示パネル13 B、13G、13Rを模式的に示す平面図である。
 積層された表示パネル13Bと表示パネル13Gと� ��、表示パネル13Rを位置合わせするときには� ��表示パネル13Bと表示パネル13Gとを位置合わ� ��するときと同様の工程で行う。表示パネル1 3Rを積層された表示パネル13Bと表示パネル13G� ��位置合わせするときには、図9に示すように 、表示パネル13Bのアライメントマーク小21B、 21B及び表示パネル13Gのアライメントマーク中 23G、23Gと、表示パネル13Rのアライメントマー ク大25R、25Rとを位置合わせする。このとき、 表示パネル13Bのアライメントマーク中23Bと表 示パネル13Gのアライメントマーク大25Gとが位 置合わせされている。また、表示パネル13Gの アライメントマーク小21Gと表示パネル13Rのア ライメントマーク中23Rとが位置合わせされて いる。

 積層された表示パネル13Bと表示パネル13G� ��に、表示パネル13Rが位置合わせされると、� ��着基板73、74(図4参照)を除去する。次に、接 着層15に光を照射して接着層15(図3参照)を硬� �させ、表示パネル13Gと表示パネル13Rとを接� �層15により固着する。以上の工程によって、 積層型表示素子100が完成する。

 図10は、表示パネル毎に同じ形状で1つのア� ��イメントマークが形成された2枚の表示パネ ルを位置合わせするための比較例としての位 置合わせ工程を模式的に示す平面図である。 図11は、それぞれ異なる形状からなるアライ� ��ントマークが形成された2枚の表示パネルを 位置合わせするための比較例としての位置合 わせ工程を模式的に示す平面図であり、図12� ��、この表示パネルを3層積層した積層型表示 素子を模式的に示す断面図である。また、図 13は、本実施形態に係る表示パネル13を模式� �に示す平面図である。なお、図13では、アラ イメントマーク小21B、21G及びアライメントマ ーク中23B、23Gのみ示している。
 同じ形状で1つのアライメントマーク323B、32 3Gが形成された2枚の表示パネル313B、313Gを位� ��合わせする際には、図10に示すように、複� �の重なった状態のアライメントマーク323B、3 23Gが、上下どちらの表示パネル313B、313Gに形� ��されているのかが区別し難い。このため、� ��ずれかの表示パネル313B、313Gを少し動かし� �動いた方のアライメントマーク323B、323Gが動 かした方の表示パネルに対応すると判断して 区別するため、区別し難い。特に、これら表 示パネル313B、313Gを位置合わせする際に、CCD� ��より撮像した画像ではマーク形状の認識が� ��きず、表示パネル313B、313Gの位置合わせが� �きなかった。

 一方、それぞれ異なる形状からなる、ア� ��イメントマーク中423B、423Bが形成された表� �パネル413Bと、アライメントマーク小421G、421 Gが形成された表示パネル413Gとを位置合わせ� ��る際には、図11に示すように、層毎にアラ� �メントマークの形状を変えており、アライ� �ントマークを形成するためのマスク等が異� �る。例えば、図12に示すように、赤色、青色 及び緑色をそれぞれ表示する3層構造の積層� �表示素子413R、413B、413Gの場合には、赤色、� �色及び緑色を表示する表示パネル413R、413B、 413Gのそれぞれに形成されたアライメントマ� �ク425R、423B、421Gが異なる形状となるため、� �示パネル413R、413B、413G毎に、アライメント� �ーク425R、423B、421G用の露光マスクの交換が� �要となり、作製工数が増加してしまう。こ� �ため、表示パネル413R、413B、413Gを製造する� �に、積層される層毎に異なる構造の表示パ� �ル413R、413B、413Gに作り分ける手間が生じて� �まい、効率が悪い上に製造コストが高くな� �てしまう。

 これらに対し、本実施形態に係る表示パ� ��ル13B、13Gでは、図13に示すように、アライ� �ントマーク小21B、21Gとアライメントマーク� �23B、23Gとの間隔に等しい距離だけ各表示パ� �ル13B、13Gをずらして位置合わせする。これ� �より、位置合わせされるアライメントマー� �小21Bとアライメントマーク中23Gとが、上下� �ちらの表示パネル13B、13Gに形成されている� �かを区別し易い上に、各層に共通の表示パ� �ル13を用いることができるため、効率が良い 上に製造コストを低く抑えることができる。

 本実施の形態に係る表示パネル13及び積� �型表示素子100によれば、表示材料層11を挟ん で対向配置された一対の基板1、3と、一対の� ��板1、3間の基板面とほぼ平行な面内に設け� �れた複数の画素2と、積層する際に位置合わ� ��するために、一対の基板1、3に間隔I1あるい は間隔I2を設けて直線状に矢印C方向に配列さ れ、異なる形状に形成されたアライメントマ ーク小21、アライメントマーク中23及びアラ� �メントマーク大25と、を備えている。これに より、各表示パネル13B、13G、13Rを間隔I1ある� ��は間隔I2と等しい距離だけずらして重ね合� �せると、表示パネル13Bに形成されたアライ� �ントマーク小21Bの中心と、表示パネル13Gに� �成されたアライメントマーク中23Gの中心と� �位置合わせされ、表示パネル13Gに形成され� �アライメントマーク中23Gの中心と、表示パ� �ル13Rに形成されたアライメントマーク大25R� �中心とが位置合わせされ、形状の異なるア� �イメントマーク同士を位置合わせすること� �なる。このため、各表示パネル13B、13G、13R� �共通のアライメントマーク群7を設けた場合� ��あっても、各表示パネル13B、13G、13Rをずら� ��て重ね合わせたときに、各表示パネル13B、1 3G、13Rの上下の位置関係が区別可能であり、� ��表示パネル13B、13G、13Rの重ね合わせ位置を� ��易に位置合わせすることができ、作業効率� ��向上する。また、画像認識を用いて位置合� ��せが自動で行われる自動アライメントも容� ��に可能となる。

 また、本実施形態では、複数の表示パネ� ��13B、13G、13Rを積層することにより積層型表� ��素子100を設けたときに、各表示パネル13B、1 3G、13Rの画素2が、ちょうど画素ピッチPの2倍� ��距離と等しい距離だけ矢印C方向にずれてい る。このため、層毎に上下の表示パネル13で� ��素2がちょうど重なって、各表示パネル13B、 13G、13Rの画素2の並びが位置合わせされるた� �、層毎に画素がずれて文字や画像がぼけた� �、色ずれが生じたりして表示品質が低下す� �ことがなく、高品質な画像を表示すること� �できる。

 さらに、本実施形態では、アライメント� ��ーク群7は、一対の基板1、3の両対向面に接� ��して形成されているため、背景とのコント� ��ストが高く、視認性に優れている。

 さらにまた、本実施形態では、複数の画� ��2は、任意のパターンの表示を行うことが可 能なドットマトリクス状に設けられている。 複数の画素2がドットマトリクス状に設けら� �た表示パネル13は、同じ構造の画素2がいく� �も並んでおり、アライメントマーク群7が設� ��られていないと、積層された表示パネル13� �士の位置が意図していない位置にずれてし� �っていても分かり難いため、アライメント� �ーク群7を設けることは極めて効果的である� ��

 また、本実施形態では、アライメントマ� ��ク群7は、表示パネル13の対向するガラス基� ��1、3間に、両対向面の間隔に等しい高さで� �示面に垂直な方向に厚く形成されているた� �、視認性に優れている。

〔第2の実施の形態〕
 本発明の第2の実施の形態による積層型表示 素子について図14乃至図16を用いて説明する� �
 本実施の形態に係る積層型表示素子200は、� ��1の実施形態における積層型表示素子100と略 同一の構成を有しており、表示パネルを形成 する基板の材質及び各表示パネルの積層状態 が異なる。以下、共通部分の符号を同符号と するとともに説明を省略する。
 図14は、第2の実施の形態に係る積層型表示� ��子の断面図である。
 本実施形態における表示パネル213B、213G、21 3Rは、それぞれ一対の矩形の樹脂基板201、203� ��備えている。

 樹脂を用いた基板201、203では、樹脂基板2 01と樹脂基板203との間隔を略一定に保持する� ��とが困難である。このため、隣り合う画素2 の間に、樹脂基板201と樹脂基板203とに接触し て一対の基板201、203の間隔を略一定の距離に 保持するための隔壁構造状のスペーサ28を形� ��する。このスペーサ28は、ストライプ状に� �明電極ライン8、9を作製したいずれかの樹脂 基板201、203上にレジストを塗布した後、フォ トリソグラフィ法により、格子状にパターニ ングを行って隔壁構造状に形成される。本実 施形態では、スペーサ28を形成するフォトリ� ��グラフィプロセス時に、同一の形成材料で� ��時に同層にアライメントマーク群207を、ス� ��ーサ28を形成した樹脂基板201、203の外縁部� �形成する。なお、スペーサ28は、隔壁構造状 に限らず、隣り合う4つの画素2の中央に円柱� ��状で形成されていてもよい。

 表示パネル213B、213G、213Rには、それぞれ� ��ライメントマーク群207B、207G、207Rが形成さ� ��ている。これら各アライメントマーク群207B 、207G、207Rは、それぞれ、アライメントマー� ��小21B、21G、21Rとアライメントマーク中23B、2 3G、21Rとを備えている。

 図15は、3枚の表示パネル213B、213G、213Rを位� ��合わせする工程を示す模式図である。
 表示パネル213Bと表示パネル213Gとは、図15に 示すように、表示パネル213Bに形成されたア� �イメントマーク小21Bの中心に、表示パネル21 3Gに形成されたアライメントマーク中23Gの中� ��を位置合わせされて積層されている。
 また、表示パネル213Gと表示パネル213Rとは� �表示パネル13Gに形成されたアライメントマ� �ク中23Gの中心に、表示パネル213Rに形成され� ��アライメントマーク小21Rの中心を位置合わ� ��されて積層されている。
 これにより、表示パネル213Bのアライメント マーク小21Bと、表示パネル213Gのアライメン� �マーク中23Gと、表示パネル213Rのアライメン� ��マーク小21Rとの中心は、二点差線Fで示す一 直線上に位置合わせされている。このため、 隣り合って積層された表示パネル213Bと表示� �ネル213Gとは、間隔I1、すなわち、画素ピッ� �P(図14参照)の2倍の距離と等しい距離だけ矢� �C方向にずれて積層されている。また、隣り� ��って積層された表示パネル213Gと表示パネル 213Rとも同様に、間隔I1の距離と等しい距離だ け、矢印C方向に、表示パネル213Bと表示パネ� ��213Gとがずれた向きとは逆向きにずれて積層 される。

 次に、表示パネル213B、213G、213Rの位置合わ� ��工程及び貼り合わせ工程について説明する� ��
 図16は、位置合わせされた3枚の表示パネル2 13B、213G、213Rを模式的に示す平面図である。
 本実施の形態における、表示パネル213Bと表 示パネル213Gとは、第1の実施の形態と同様に� ��置合わせがなされる。
 接着層15による固着によって積層された表� �パネル213Bと表示パネル213Gとに、表示パネル 213Rを位置合わせして積層する場合には、図16 に示すように、表示パネル213Rのアライメン� �マーク小21Rは、表示パネル213Bのアライメン� ��マーク小21Bと、表示パネル213Gのアライメン トマーク中23Gとに位置合わせされる。このと き、表示パネル213Rのアライメントマーク小21 Rと、表示パネル213Bのアライメントマーク小2 1Bとは、同一形状を有している。しかしなが� ��、アライメントマーク小21Bは、既に表示パ� ��ル213Gのアライメントマーク中23Gと位置合わ せされて一体となっている、すなわち、アラ イメントマーク小21Rと、アライメントマーク 小21B及びアライメントマーク中23Gからなるア ライメントマークとは、異なる形状を有して いる。

 本実施の形態に係る積層型表示素子200に� ��れば、表示材料層11を挟んで対向配置され� �一対の基板201、203と、一対の基板201、203間� �基板面とほぼ平行な面に設けられた複数の� �素2と、積層する際に位置合わせするために� ��一対の基板201、203に間隔I1を設けて直線状� �矢印C方向に配列され、異なる形状に形成さ� ��たアライメントマーク小21B、21G、21R及びア� ��イメントマーク中23B、23G、23Rを備えている� ��これにより、各表示パネル213B、213G、213Rを� ��隔I1と等しい距離だけずらして重ね合わせ� �と、表示パネル213Bに形成されたアライメン� ��マーク小21Bの中心と、表示パネル213Gに形成 されたアライメントマーク中23Gの中心とが位 置合わせされ、表示パネル213Gに形成された� �ライメントマーク中23Gの中心と、表示パネ� �13Rに形成されたアライメントマーク小21Rの� �心とが位置合わせされ、形状の異なるアラ� �メントマーク同士を位置合わせすることに� �る。このため、各表示パネル213B、213G、213R� �共通のアライメントマーク群207B、207G、207R� �設けた場合であっても、各表示パネル213B、2 13G、213Rをずらして重ね合わせたときに、各� �示パネル213B、213G、213Rの上下の位置関係が� �別可能であり、各表示パネル213B、213G、213R� �重ね合わせ位置を容易に位置合わせするこ� �ができ、作業効率が向上する。また、画像� �識を用いて位置合わせが自動で行われる自� �アライメントも容易に可能となる。

 また、本実施形態における積層型表示素� ��200は、各表示パネル213B、213G、213Rの画素2が 、ちょうど画素ピッチPの2倍の距離と等しい� ��離だけ矢印C方向にずれている。このため、 層毎に上下の表示パネル213で画素2がちょう� �重なって、各表示パネル213B、213G、213Rの画� �2の並びが位置合わせされるため、層毎に画� ��がずれて文字や画像がぼけたり、色ずれが� ��じたりして表示品質が低下することがなく� ��高品質な画像を表示することができる。

 さらに、本実施形態では、アライメント� ��ーク群207は、一対の基板201、203の両対向面� ��接触して形成されているため、背景とのコ� ��トラストが高く、視認性に優れている。

 さらにまた、本実施形態では、複数の画� ��2は、任意のパターンの表示を行うことが可 能なドットマトリクス状に設けられている。 複数の画素2がドットマトリクス状に設けら� �た表示パネル213は、同じ構造の画素2がいく� ��も並んでおり、アライメントマーク群207が� ��けられていないと、積層された表示パネル2 13同士の位置が意図していない位置にずれて� ��まっていても分かり難いため、アライメン� ��マーク群207を設けることは極めて効果的で� ��る。

 また、本実施形態では、樹脂基板201と樹� ��基板203との間隙を確保するためのスペーサ2 8を形成する際に、マスクパターンを変える� �とによりアライメントマーク群207を形成し� �いるため、製造工程数を増加させずにアラ� �メントマーク群207を容易に形成することが� �きる。

 以上、実施形態に基づいて本発明を説明し� ��が、本発明は、上記実施の形態に限らず種� ��の変形が可能である。
 例えば、上記第1の実施の形態では、3つの� �ライメントマークからなるアライメントマ� �ク群7を設け、上記第2の実施の形態では、2� �のアライメントマークからなるアライメン� �マーク群207を設けているが、本発明はこれ� �限定されず、アライメントマークは、異な� �形状で形成されていれば、その他の個数で� �成されていてもよい。このとき、アライメ� �トマーク群は、位置合わせの精度を向上さ� �るべく2つのアライメントマーク群の間隔を� ��くするために、それぞれ表示パネルの対角� ��角部近傍や、対辺の端部近傍に設けること� ��好ましい。

 また、上記実施の形態では、アライメン� ��マーク群7、207をシール壁5の内側、かつ、� �示領域が形成される画素領域4の外側に設け� ��いるが、本発明はこれに限定されず、表示� ��ネルの面内における任意の場所に配置でき� ��。例えば、表示品質を損なわせない程度に� ��ライメントマークを十分に小さく形成すれ� ��、表示領域内に設けてもよい。

 さらにまた、上記実施の形態では、フォ� ��リソグラフィ法によりアライメントマーク� ��7、207を形成しているが、本発明はこれに限 定されず、ディスペンサや、シルク版、凸版 、凹版または平版等の各種印刷等により、ア ライメントマークを形成してもよい。また、 視認性には劣るが、透明電極ライン8、9をガ� ��ス基板1、3にパターニングする際に、アラ� �メントマーク群7を含む形状にしてもよい。

 また、上記実施の形態では、表示パネル1 3の対向するガラス基板1、3間に、両対向面の 間隔に等しい高さでアライメントマーク群7� �表示面に垂直な方向に厚く形成しているが� �本発明はこれに限定されず、アライメント� �ークの厚さは基板間の両対向面の間隔と等� �い高さに限定されない。両対向面の間隔に� �しい高さでアライメントマーク群7を形成す� ��とき、アライメントマークの厚さが薄過ぎ� ��場合は、周囲とのコントラストが低下する� ��けでなく、電極間の表示体の厚みも薄くな� ��ため、例えば、液晶表示素子においては表� ��のコントラストが低下するおそれがある。� ��た、アライメントマークの厚さが厚過ぎる� ��、アライメントマークの輪郭がぼけて位置� ��度の低下を招くだけでなく、液晶を駆動す� ��際に高い電圧が必要となってしまうため、� ��ましくない。従って、アライメントマーク� ��厚さとしては、1~10(μm)であることが好まし� ��。さらには、アライメントマークと背景部� ��のコントラストが高くなるため、微小な大� ��さのアライメントマークを表示領域内に形� ��することもできる。これにより、周縁部に� ��分なスペースがなくともアライメントマー� ��を設置でき、いわゆる額縁の狭い表示パネ� ��を作製することができる。

 さらに、上記実施の形態では、表示材料� ��して液晶を用いた表示パネル13、213により� �明しているが、本発明はこれに限定されず� �表示パネルが完全に遮光されず、表示パネ� �を通して下側にある別の表示パネルが視認� �きる状態が存在する積層型の表示素子であ� �ばよい。このような積層型表示素子に用い� �ことのできる表示材料としては、電圧の印� �により電解質が化学反応を起こして、着色� �消色されるようなエレクトロクロミックや� �レクトロデポジションなどの電気化学方式� �用いた表示素子等であってもよい。

 さらにまた、上記実施の形態では、光が� ��射されることにより硬化する光硬化型の透� ��な接着剤で接着層15を形成し、表示パネル13 、213同士を接着する方法を用いているが、本 発明はこれに限定されず、加熱されることに より硬化する熱硬化型の接着剤を用いる方法 、シート状の接着剤を2枚の表示パネルの間� �挟んで貼り合わせ、その後にシート状接着� �を光や熱で硬化させる方法、及び、両面粘� �シートを2枚の表示パネルの間に挟み、ロー� ��やプレスにより貼り合わせる方法等がある� ��これらの表示パネル同士の位置合わせや貼� ��合わせ工程は、大気圧下で行ってもよく、� ��た、減圧下で行ってもよい。減圧下の場合� ��、設備が大規模となるが、接着層内に気泡� ��残り難いという利点がある。