SO JIN-HYUK (KR)
OH KWANG-SEOK (KR)
SO JIN-HYUK (KR)
| JP2002098379A | 2002-04-05 | |||
| JP2005243858A | 2005-09-08 | |||
| JP2007186902A | 2007-07-26 | |||
| JP2003176567A | 2003-06-24 |
| クリーンルームの上層作業空間域の底部に取り付けるためのダミーグレーチングであって、 前記ダミーグレーチングは、前記上層作業空間域の底部を構成するグレーチングを開放することで形成される開口部を閉塞し、 前記ダミーグレーチングは、その側面部にホールが形成されており、前記ホールを開閉するホール蓋体を有することを特徴とするダミーグレーチング。 |
| 前記ダミーグレーチングは、上面部を含む上部と、この上部の下端に一体で形成される下部とからなり、 前記上面部は正四角形状であり、 前記上部と下部との境界部位には段差が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のダミーグレーチング。 |
| 前記ホールは、前記ダミーグレーチングの側面部の中心に位置する半円形の形状を有していることを特徴とする請求項2に記載のダミーグレーチング。 |
| 前記ダミーグレーチングの上面部には、前記ホール蓋体を収納することができる収納部が形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のダミーグレーチング。 |
| 前記収納部は、ホール蓋体と同じ形状と深さを有するくぼみ部からなることを特徴とする請求項4に記載のダミーグレーチング。 |
| 前記ダミーグレーチングの上面部には、取っ手が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のダミーグレーチング。 |
| 前記ダミーグレーチングは、ポリカーボネートを含む合成樹脂からなることを特徴とする請求項1に記載のダミーグレーチング。 |
| 前記ダミーグレーチングの上面部は、隣接するグレーチングの上面部と同一高さであることを特徴とする請求項1に記載のダミーグレーチング。 |
本発明は、クリーンルームのダミーグレ チングに係り、より詳しくは、クリーンル ムにおける上層作業空間域の底部に取り付 るためのダミーグレーチングに関する。
クリーンルームは、汚染物質が所定値以 に抑えられた空間であって、この空間内に いて作業を進めることで作業対象体が汚染 質に露出しないようにし、または汚染物質 露出してもその被害を最小化できるように る設備である。一方、例えば半導体は、多 の工程を経て製造され、工程中に周辺環境 存在する浮遊粉塵、有害ガス、パーティク 、微生物などの汚染物質によって半導体素 の品質及び歩留まりが低下することがある め、一般に、半導体の製造工程はクリーン ーム内で行われる。
半導体の高集積化及び歩留まりの向上の めに、クリーンルームの清浄度を高める必 があることはもとより、クリーンルーム内 行われる装備の修理などの作業にも多くの 限が求められてきている。一方、クリーン ームは、上記の半導体製造工程のほかにも 医薬、精密機械、バイオ産業、新素材産業 どの多くの分野で汚染物質による問題を解 することができる必須施設となりつつある
従来より利用される半導体製造用クリー ルームの構成について、図1を参照して説明 する。図1は、半導体製造用クリーンルーム 概路図であって、同図における図面符号10は 、クリーンルームを示す。
クリーンルーム10は、上層の作業空間域20 と、下層のユーティリティー部30、及び循環 クト40とで構成される。一般に、クリーン ーム10内の気流はダウンストリームをなし、 したがって、作業空間域の天井に配設された 空調部70から供給される空気は、作業空間域2 0とユーティリティー部30を流れてから、循環 ダクト40を通って再び空調部70に流れ込む。
空調部70は、一般に循環ファン及びフィ ターで構成され、この空調部70により空気が 強制循環される。作業空間域20内には、成膜 備、エッチング装備、プラズマ処理装備な の半導体製造用主装備21が配設され、ユー ィリティー部30には、電源装置、ポンプ、ガ ス供給装置、チラー(chiller)などの補助装備31 配設される。
作業空間域20の底部50は鉄骨構造からなり 、その上に複数枚のグレーチングが取り付け られて底部50全体を覆っている。グレーチン は、半導体製造用主装備21を支持できる強 を有する金属からなる。一方、底部50の下方 には補助底部60を設けることにより、底部50 補助底部60との間に電気、ガスなどの配管ラ インが通り得る空間部を形成し、必要に応じ て作業者がこの空間部内で配管作業または修 理作業を行う。
しかしながら、このように構成された従 のクリーンルームにおいて配管及び修理作 を行う際、次のような問題があった。すな ち、配管作業及び修理作業の際、作業者は 部のグレーチングを治具などを利用して開 した後、底部50と補助底部60との間で作業を 行うが、このとき、グレーチングを開放する ことで形成される開口部から他の作業者が墜 落したり、または作業道具などを落としたり するなどの事故が生じることがあり、また、 これは、安全事故や設備の破損にもつながる ことがある。このような事故を予防するため に作業が行われる開口部の周辺に安全柵を設 置するなどの対策が講じられたが、根本的な 解決策にはなりえなかった。また、グレーチ ングを開放することによって作業空間域20と ーティリティー部30との間の空気流に変化 生じ、この結果、作業空間域20内の清浄度が 低下したり、または高精度を要する半導体工 程に悪影響を及ぼすという問題を生じさせた りした。
また、例えば電線あるいはガス配管等を 層の作業空間域20に接続して作業を行う場 、連続して作業を行うためには、底部50の開 口部を閉塞するグレーチングが障害となる。 その結果、底部50の一部を開口せざるをえな という問題が生じた。
本発明は、かかる点に鑑みてなされたも であり、クリーンルームの上層作業空間域 底部のグレーチングを開放する際にも安全 び品質上の問題が生じないようにしつつ、 続して作業を行える装置を提供することを 的としている。
前記目的を達成するため、本発明は、ク ーンルームの上層作業空間域の底部に取り けるためのダミーグレーチングであって、 記ダミーグレーチングは、前記上層作業空 域の底部を構成するグレーチングを開放す ことで形成される開口部を閉塞し、前記ダ ーグレーチングは、その側面部にホールが 成されており、前記ホールを開閉するホー 蓋体を有することを特徴としている。
本発明によれば、クリーンルームの上層 業空間域の底部を構成するグレーチングを 時的な理由から開放する際、底部に形成さ る開口部を本発明によるダミーグレーチン で閉塞することにより、安全事故や作業道 の落下などを未然に抑え、かつ空気流の乱 を防止することができる。また、ダミーグ ーチングの側面部にホールが形成されてい ので、電線、ガス配管などをダミーグレー ングのホールを通じて接続することができ グレーチングを開放することなく必要な作 を連続して行うことができる。さらに、ダ ーグレーチングはホールを開閉するホール 体を有しているので、ホールの開放が不要 ある場合は、ホール蓋体でホールを閉塞す ことにより、ホールから作業道具などがユ ティリティー部に落ちるなどの事故を防止 ることができる。
前記ダミーグレーチングは、上面部を含 上部と、この上部の下端に一体で形成され 下部とからなり、前記上面部は正四角形状 あり、前記上部と下部との境界部位には段 が設けられていてもよい。これによって、 ミーグレーチングは、作業空間域の底部を 成する鉄骨構造上に容易に取り付けること できる。
前記ホールは、前記ダミーグレーチング 側面部の中心に位置する半円形の形状を有 ていてもよい。
前記ダミーグレーチングの上面部には、 記ホール蓋体を収納することができる収納 が形成されていてもよい。また、前記収納 は、ホール蓋体と同じ形状と深さを有する ぼみ部(recess)であってもよい。これによっ 、ホール蓋体を容易に収納することができ 。
前記ダミーグレーチングの上面部には、 っ手が設けられていてもよい。これによっ 、ダミーグレーチングの取り外しがより容 になる。
前記ダミーグレーチングは、ポリカーボ ートを含む合成樹脂からなっていてもよい これによって、十分な強度を有する軽量の ミーグレーチングを得ることができる。
前記ダミーグレーチングの上面部は、隣 するグレーチングの上面部と同一高さであ てもよい。これによって、作業者の通行が ミーグレーチングの取付けにより邪魔され ことがない。
本発明によれば、クリーンルームの上層 業空間域の底部のグレーチングを開放する にも、ダミーグレーチングで開口部を閉塞 て安全上の問題が生じないようにしつつ、 続して作業を行うことができる。
10 クリーンルーム
20 作業空間域
30 ユーティリティー部
50 底部
100 ダミーグレーチング
101 上面部
103 側面部
107 収納部
110 上部
120 下部
121 段差
130 ホール
132 ホール蓋体
G グレーチング
S 鉄骨構造
以下、本発明の好ましい実施の形態につ て説明する。図2は、本実施の形態にかかる ダミーグレーチング100の斜視図を示している 。なお、本実施の形態にかかるダミーグレー チング100は、図1に示したクリーンルーム10に おける上層の作業空間20の底部50の一部を開 する場合に、図3に示すように当該底部50の 口部に臨時的に設置するものである。
ダミーグレーチング100は、図2に示すよう に正四角形状の上面部101を含む上部110と、こ の上部110の下端に一体で形成される下部120と から構成されている。上部110の上面部101は、 作業空間20の底部50の開口前に設けられてい グレーチングの上面部とほぼ同一の面積か 同一の形状である。上面部101は、図4に示す うに底部50のグレーチングGを係止するため 格子状に設けられた鉄骨構造S、S間の長さ りも長い幅を有している。ダミーグレーチ グ100の上部110の厚みは、上面部101が隣接す グレーチングGの上面部と同じ高さになる厚 となっている。
下部120の断面は、図4に示すように正四角 形状で上部110の断面よりも小さい断面積を有 し、この断面積の差により上部110と下部120と の境界部位には段差121が形成されている。こ の段差121を底部50の開口部に露出した鉄骨構 S、Sに掛止することにより、ダミーグレー ング100を底部50に取り付けることができる。 なお、ダミーグレーチング100の上部110と下部 120は、例えばポリカーボネート、あるいはそ れと同種の合成樹脂からなる。
ダミーグレーチング100の上面部101には、 2に示すように複数個の通気孔105が設けられ ている。通気孔105は、底部50の開口前に設け れていたグレーチングに形成されていた通 孔と同じ径であって、かつ同じパターンを することが好ましく、例えば中空の円筒形 である。この通気孔105によって、ダミーグ ーチング100の上下方向に空気が流れる。な 、通気孔105は、空気の流れに特に問題を生 させない範囲で、任意の個数、形状、径、 び分布を有することができる。
ダミーグレーチング100の側面部103には、 2に示すように上部110と下部120を貫通するホ ール130が形成されている。ホール130は、ダミ ーグレーチング100の側面部103の中心又はほぼ 中心に位置し、その横断面形状は半円形状で ある。ホール130には、後述するホール130を開 閉するためのホール蓋体が収められるように 、ホール130の内周に沿って突出した段差131が ホール130の内周に形成されている。段差131は 、ダミーグレーチング100の上部110と下部120と の境界部位に形成される。なお、ホール130は 、一の側面部103に複数形成されていてもよく 、また複数の側面部103に形成されていてもよ い。
ダミーグレーチング100は、図5に示すよう にホール130を開閉するためのホール蓋体132を さらに有している。ホール蓋体132は板状であ り、その上面部はホール130と実質的に同じ面 積であって、かつ同じ形状である。ホール蓋 体132の上面部には、当該ホール蓋体132を貫通 する通気孔133が形成されていてもよい。ホー ル蓋体132は、ホール130の開放を要しない場合 に、段差131に係止されてホール130を閉塞する 。なお、ホール蓋体132は、ダミーグレーチン グ100と同じ材料、例えばポリカーボネートや それと同種の合成樹脂からなることが好まし い。
ダミーグレーチング100の上面部101には、 2に示すようにホール蓋体132を一時的に収納 することができる収納部107が形成されている 。この収納部107は、ホール蓋体132と同じ面積 であって、かつ同じ形状である。ホール蓋体 132は、収納部107に収められる際に、当該収め られたホール蓋体132とダミーグレーチング100 の上面部101とが同一の高さになるようにする 厚みを有している。すなわち、収納部107は、 ホール蓋体132と同じ形状を有する浅いくぼみ 部として形成される。収納部107は、ホール130 が設けられた側面部103に接して上面部101の一 方側に設けられる(図2では左側)。
また、ダミーグレーチング100の上面部101 は、取っ手部(図示せず)が設けられている が好ましい。
本実施の形態にかかるダミーグレーチン 100は以上のように構成されており、例えば 業のために上層作業空間域20の底部50のグレ ーチングGの一部を開放する際に、その底部50 の開口部にダミーグレーチング100が臨時的に 設置される。そして、この作業が例えば上層 作業空間域20に電線やガス配管を接続して作 をする必要がある場合、図3に示すようにホ ール蓋体132を収納部107に収納し、当該電線や ガス配管Pをホール130から延出させる。また 作業がこのような電線やガス配管Pを設ける とを必要としない場合、図5に示すようにホ ール蓋体132でホール132を閉塞して作業を行う 。
以上の実施の形態によれば、クリーンル ム10の上層作業空間20の底部50を構成するグ ーチングGを開放する際、底部50に形成され 開口部をダミーグレーチング100で閉塞する とにより、安全事故や作業道具の落下など 未然に抑え、かつ開口に伴う空気流の乱れ 防止することができる。
ダミーグレーチング100の側面部103にホー 130が形成されているので、電線やガス配管P をダミーグレーチング100のホール130を介して 上層作業空間域20に接続することができる。 れによって、グレーチングGを開放すること なく必要な作業を連続して行うことができる 。
ダミーグレーチング100はホール130を開閉 るホール蓋体132を有しているので、ホール1 30の開放が不要である場合は、ホール蓋体132 ホール130を閉鎖することにより、ホール130 ら作業道具などが下層ユーティリティー部3 0側に落ちるなどの事故を防止することがで る。さらに、ホール130の開放による空気流 乱れも防止することができる。
ダミーグレーチング100の上面部110には、 納部107が形成されているので、ダミーグレ チング100が取り付けられ、ホール130を開放 る場合には、不要になったホール蓋体132を 納部107に収納することができる。
ダミーグレーチング100には、複数の通気 105が形成されているので、ダミーグレーチ グ100を介して上層作業空間域20と下層ユー ィリティー部30間の上下方向の空気流の循環 をより円滑に行おこなうことができる。
ダミーグレーチング100の上面部110は、隣 するグレーチングGの上面部と同一高さでる ので、作業者の通行がダミーグレーチングの 取付けにより邪魔されることがない。
ダミーグレーチング100の上部110と下部120 の境界部位には段差121が形成されているの 、底部50の開口部に露出した鉄骨構造S上に ミーグレーチング100を容易に取り付けるこ ができる。
ダミーグレーチング100は、ポリカーボネ トやそれと同種の合成樹脂からなるので、 分な強度を有し、作業者がダミーグレーチ グ100上を往来し続けても破損しない。また ポリカーボネートやそれと同種の合成樹脂 軽量であるので、ダミーグレーチング100に る底部50の開口部の開閉を容易に行うこと できる。
ダミーグレーチング100の上面部101に取っ が設けられているので、ダミーグレーチン 100の取り外しがより容易になる。
以上、添付図面を参照しながら本発明の 適な実施の形態について説明したが、本発 はかかる例に限定されない。当業者であれ 、特許請求の範囲に記載された思想の範疇 において、各種の変更例または修正例に相 し得ることは明らかであり、それらについ も当然に本発明の技術的範囲に属するもの 了解される。例えば本実施の形態のクリー ルームは、半導体製造用クリーンルームで ったが、医薬、精密機械、バイオ産業、新 材産業などの多くの分野で用いられるクリ ンルームにも用いることができる。
本発明は、クリーンルームにおける上層 業空間域の底部を構成するグレーチングの 部を開放した際に、当該グレーチングの開 による安全事故、例えば作業者の墜落や作 道具の落下事故を防止するのに特に有用で る。