次に本発明の実施形態を図面に基づいて説� ��する。
 図1には、本発明が適用される第1の光学部� �製造システム5が示されている。また、図2に は、本発明が適用される第1の光学部品製造� �ステム5を用いて造形物として用いられるレ� ��ズが製造される工程が示されている。

 光学部品製造システム5は、レンズアレイ や、例えばCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconduct or)センサ等の受光素子を備えたカメラ等に用 いられるレンズ等の光学部品を製造するため に用いられ、光学部品製造システム5によっ� �、本発明の実施形態に係るレンズの製造方� �が実施される。図1に示されるように、光学� ��品製造システム5は、造形装置10と、スタン� ��製造装置300と、レンズアレイ製造装置400と� ��分離装置500とを有する。造形装置10は、マ� �タを製造するマスタ製造装置として用いら� �ている。また、造形装置10とスタンパ製造装 置300とで、本発明の実施形態に係るスタンパ 製造システムが構成される。

 図2に示されるように、レンズを製造する 際には、まず、ステップS100でマスタが製造� �れ、次のステップS200でスタンパが製造され� ��次のステップS300でレンズアレイが製造され 、次のステップS400でレンズが製造される。� �して、ステップS400で製造されたレンズは、� ��えばカメラの製造に用いることができる(ス テップS500参照)。ここで、ステップS100のマス タを製造する工程には造形装置10が用いられ� ��ステップS200のスタンパを製造する工程には スタンパ製造装置300が用いられ、ステップS30 0のレンズアレイを製造する工程にはレンズ� �レイ製造装置400が用いられ、ステップS400の� ��ンズを製造する工程には分離装置500が用い� ��れる。

 図3及び図4には、光学部品製造システム5を� ��いてレンズ700が製造される工程が、図2に示 された工程順に説明されている。ここで説明 される工程においては、造形物として用いら れ、レンズとして用いられるレンズアレイ650 、又はレンズアレイ680を製造した後に、レン ズアレイ650、又はレンズアレイ680を切断する 等して分離してレンズ700を製造する。
 図3(d)に示されるように、レンズアレイ650は 、それぞれが造形面として用いられ、レンズ 面として用いられる第1の光学機能面652と、� �2の光学機能面654とを有し、第1の光学機能面 652には、光学部品部として用いられる複数の 凸レンズ部656が整列した状態で形成され、第 2の光学機能面654には、光学部品部として用� �られる複数の凹レンズ部658が整列して成形� �れている。

 また、光学部品製造システム5では、レン ズアレイ650の一方の面と他方の面とに、それ ぞれ第1の光学機能面652、及び第2の光学機能� ��654を有するレンズアレイ650を製造すること� ��替えて、図3(d)に示すように、一方の面だけ に光学機能面682を有するレンズアレイ680を製 造することもできる。光学機能面682には、光 学部品部として用いられる複数の凸レンズ部 684が整列した状態で成形されている。

 レンズ700を製造する際には、図3(a)に示す ように、まず、マスタ600が製造される。マス タ600は、レンズアレイ650が備える第1の光学� �能面652、及び第2の光学機能面654と同形状か� ��なる転写面を少なくとも1つ有するマスタと して用いられていて、第1の光学機能面652と� �形状の第1の転写面602と、第2の光学機能面654 と同形状の第2の転写面604を有している。転� �面602には、凸レンズ部656と同形状、同数の� �部606が、凸レンズ部656と同間隔で成形され� �いる。また、第2の転写面604には、凹レンズ� ��658と同形状、同数の凹部608が、凹レンズ部6 58と同間隔で成形されている。

 以上では、レンズアレイ650を製造する際� ��用いられるマスタ600について説明をしたが� ��レンズアレイ680を製造する場合は、マスタ6 00に替えて、レンズアレイ680と同形状のマス� ��が用いられる。マスタ600の製造方法の詳細� ��後述する。

 光学部品製造システム5では、マスタ600の製 造に続いて、スタンパが製造される。すなわ ち、図3(b)、図3(c)に示すように、マスタ600が� ��える第1転写面602の反対形状(反転形状)から� ��る第1の反対形状面622を有する第1のスタン� �620と、マスタ600が備える第2の転写面604の反� ��形状からなる第2の反対形状面628を有する第 2のスタンパ626とが製造される。
 第1のスタンパ620、及び第2のスタンパ626を� �造するには、図3(b)に示されるように、マス� ��600の第1の転写面602、及び第2の転写面604に� �電鋳によって例えばNi(ニッケル)等の金属イ� ��ンをそれぞれ堆積させ、その後、金属イオ� ��の堆積によって造られた第1のスタンパ620、 及び第2のスタンパ626を、マスタ600から離間� �る。

 以上では、レンズアレイ650を製造する際� ��用いられる第1のスタンパ620、及び第2のス� �ンパ626の製造方法について説明したが、レ� �ズアレイ680を製造する場合は、第1のスタン� ��620、及び第2のスタンパ626に替えて、レンズ アレイ680と同形状であるマスタに対する反対 形状面642を有する1つのスタンパ640が製造さ� �る。尚、第1のスタンパ620、第2のスタンパ626 、及びスタンパ640の製法の詳細は後述する。

 光学部品製造システム5では、第1のスタ� �パ620、及び第2のスタンパ626の製造に続いて� ��第1のスタンパ620の第1の反対形状面622と、� �2のスタンパ626の第2の反対形状面628とを、造 形材料として用いられる光硬化性樹脂に、例 えばナノインプリント(nanoimprint)の技術を用� �て転写してレンズアレイ650が製造される。� �なわち、図4(e)に示されるように、まず、第2 のスタンパ626を第2の反対形状面628が上方を� �くように配置して、第2の反対形状面628に樹� ��供給装置402を用いて光硬化性樹脂を供給し� ��供給された樹脂に第1のスタンパ620の第1の� �対形状面622を上方から押圧するように重ね� �わせることによって、光硬化性樹脂を第1の� ��対形状面622、及び第2の反対形状面628に倣っ て変形させる。次に、変形した状態にある光 硬化性樹脂に光を照射し、光硬化性樹脂を硬 化させることでレンズアレイ650を製造する。

 以上では、第1のスタンパ620、及び第2の� �タンパ626を用いてレンズアレイ650を製造す� �場合について説明したが、同様にして、ス� �ンパ640を用いてレンズアレイ680を製造する� �とができる。また、以上のように、造形材� �として用いられるレンズアレイ650の材料と� �て光硬化性樹脂を用い、光を照射すること� �光硬化性樹脂を硬化させることに替えて、� �ンズアレイ650の材料として熱硬化性樹脂を� �い、熱を照射することで熱硬化性樹脂を硬� �させるようにしても良い。レンズアレイ650� �レンズアレイ680を製造する工程の詳細は後� �する。

 成形されたレンズアレイ650、680は、図4(f) 、図4(g)に示すように、必要に応じて複数枚� �接合され、複数のレンズアレイが接合され� �接合レンズアレイ690とされ(接合工程)、接合 レンズアレイ690が、少なくとも1つのレンズ� �(凸レンズ部656及び凹レンズ部658と、凸レン� ��部684との少なくともいずれか一方)を有する ように分割されて(分割工程)、図4(h)に示され るように、凸レンズ部656、レンズ部を少なく とも1つ有するレンズ700が製造される。レン� �700は、例えば、CMOSセンサ等の受光素子に取� ��付けることでカメラを製造することができ� ��製造されたカメラは、例えば携帯電話機に� ��蔵されるカメラとして用いられる。

 また、レンズアレイ650、レンズアレイ680� ��、接合することなく単層のまま分割するこ� ��で、単層からなるレンズとして用いること� ��できる。また、レンズアレイ650、レンズア� ��イ680、接合レンズアレイ690は、分割するこ� ��なく利用することもできる。

 図5には、レンズ700を用いたカメラ720が示さ れている。
 カメラ720は、レンズ700に受光素子722が装着� ��れることによる製造される。受光素子722は� ��例えばCOMSセンサからなり、フォトダイオー ド領域724を有していて、入力された光を電気 的信号に変換することによって映像を記録す るために用いられる素子である。受光素子722 としては、COMSセンサに替えて、例えばCCDセ� �サ等を用いることもできる。
 カメラ720の上方から光が入射されると、光� ��、レンズ700において収束するように屈折し� ��フォトダイオード領域724へと入射され、入� ��された光がフォトダイオード領域724によっ� ��電気的信号に変換される。

 図6には、造形装置10が示されている。造� ��装置10は、先述のように、マスタ600の造形� �用いられ、設置面に設置される基台12を有し 、基台12の上に可動台24が支持されている。� �動台24の上側面には、さらに支持台14が支持� ��れている。

 可動台24は、下側に突出した形状の突出� �25が形成された下側部分26と、下側部分26の� �側に位置する上側部分27とからなり、突出部 25が基台12の上向きの面12aに形成されたy軸方� ��の溝(不図示)に嵌め込まれるように基台12に 取り付けられている。このため、y軸方向の� �にガイドされ、可動台24は、面12a上でy軸方� �に移動可能となっている。突出部25には、送 りネジ28が噛み合っている。送りねじ28は、� �の方向(長手方向)がy軸方向となるように、� �受30、30を用いて基台12に回動自在に支持さ� �ている。送りネジ28の図1における左端部に� �、基台12に固定されたy軸モータ32が連結され ている。したがって、y軸モータ32を回転させ ることで、送りネジ28を介して突出部25に駆� �が伝達され、可動台24がy軸方向に移動する� �可動台をy軸のいずれの方向に移動させるか� ��、y軸モータ32の回転方向を制御することで� ��することができる。

 可動台24の上側部分27には、θ軸モータ34� �設けられている。θ軸モータ34は、可動台24� �上側部分27を、可動台24の下側部分26に対し� �Z軸に垂直な方向の回転軸を中心に回転させ� ��。このように、可動台24は全体としてy軸方� ��に移動可能であるとともに、上側部分27が� �側部分26に対して回転可能となっている。

 支持台14には、例えばガラス等からなる� �エハWが載置され、支持台14は載置されたウ� �ハWを重力方向下側から支持する。また、支� ��台14には、例えばモータ等を備えた駆動源18 が連結されている。このため、支持台14は、� ��動台24の上側部分27に対してウエハWと一体� �して回転することができるようになってい� �、ウエハWにいわゆるスピンコートで樹脂等� ��塗布する際に用いられるスピンコート用の� ��転テーブルとして構成されている。あるい� ��、支持台14をスピンコート用の回転テーブ� �として構成して、スピンコートによってウ� �ハWに樹脂を塗布するように構成することに� ��えて、ウエハWに形成された複数の孔h2(図7� �照)に、例えば注入するようにして樹脂を注� ��する注入装置(不図示)を造形装置10に設け、 この注入装置でウエハWに形成された複数の� �h2に樹脂を注入するようにしても良い。

 支持台14は、例えばガラス等の光透過性� �有する材料を用いる等、後述する光照射装� �60が発する光が通過することができるように なっている。尚、支持台14にウエハWを載置し 、支持台14に載置された状態からウエハWを除 去するには、例えばロボット等からなる載置 ・除去装置(不図示)を用いても良いし、操作� ��が手作業で行っても良い。

 可動台24の上側部分27には、マスタ材料と して用いられる光硬化性樹脂を、ウエハWに� �給する供給装置36が設けられている。供給装 置36には、バルブ38を介して、光硬化性樹脂� �貯蔵する貯蔵部40が接続されていて、供給装 置36は、貯蔵部40に貯蔵された光硬化性樹脂� �、略円形(円板形状)からなるウエハWの略中� �部に上方から落下させるように供給するこ� �ができる。ウエハWに供給された光硬化性樹� ��は、支持台14が予め定められた所定時間回� �することで遠心力によって拡散し、ウエハW� ��面に略均一な厚さで塗布された状態となる� ��

 また、可動台24の上側部分27には、硬化装 置として用いられる光照射装置60が設けられ� ��いる。光照射装置60は、光伝達手段として� �いられる光ファイバー68によって光源70に接� ��されていて、ウエハWに塗布された光硬化性 樹脂に光を照射するために用いられる。この 実施形態では、光照射装置60は、支持台14、� �エハW、及びウエハWに塗布された光硬化性樹 脂に対して、後述する転写体62とは逆側であ� ��下側に設けられている。このため、転写体6 2を光硬化性樹脂に接触させた状態で、転写� �62に遮られることなく光硬化性樹脂に光を照 射することができる。

 基台12には、可動台24が装着されていると ともに支柱42が固定されている。支柱42には� �支柱42に対してx軸方向に移動可能に可動ユ� �ット44が取り付けられている。可動ユニット 44は、図中左側に位置する左側部分48と、左� �部分48に固定された右側部分50とからなる。� ��側部分48は、支柱42に対してx軸方向に移動� �能に支持され、送りネジ52が噛み合っている 。送りねじ52は、軸の方向がx軸方向となるよ うに軸受54により支柱42に回動可能に取り付� �られている。

 送りネジ52の一端部には、支柱42に取り付 けられたx軸モータ56が連結されている。した がって、x軸モータ56を回転させると、送りネ ジ52を介して左側部分48にx軸モータ56の駆動� �伝達され、可動ユニット44の左側部分48と右� ��部分50とが一体としてx軸方向に移動する。� ��動ユニット44をx軸方向におけるいずれの方� ��に移動させるかは、x軸モータ56の回転方向� ��制御することで決することができる。

 可動ユニット44の右側部分50には、転写体 62が、支持部材45を介して装着されている。� �持部材45は、可動ユニット44に対してz軸方向 に移動可能に取り付けられていて、図1中左� �に突出した突出部46と、突出部46に固定され� ��支持部47とからなる。支持部47には、例えば 下向きの面に転写体62が着脱することができ� ��ように装着されていて、転写体62は、形成� �ようとするレンズ部の形状や、被造形物と� �て用いられる樹脂の種類等に応じて、大き� �や形状が互いに異なるものの中から選択さ� �た1つを装着することができるようになって� ��る。

 突出部46には送りネジ58が螺合している。 送りネジ58は、可動ユニット44の右側部分50に 、軸受61、61を用いて軸方向がz軸方向となる� ��うに回動可能に取り付けられている。送り� ��ジ58の上端部は、支持部材用z軸モータ64に� �結されている。よって、支持部材用z軸モー� ��64を回転させると、送りネジ58を介して支持 部材45に駆動が伝達され、支持部材45と、支� �部材45に支持された転写体62とが一体としてz 軸方向に移動する。

 可動ユニット44の右側部分50には、ウエハ W及び転写体62の位置を検知する検知手段とし て用いられる検知装置72が、支持部材45とは� �立して上下動可能に(z軸方向に移動可能に)� �り付けられている。検知装置72は、例えばCCD カメラからなる撮影部74と、撮影部74のウエ� �Wの側に設けられたレンズユニット76と、撮� �部74による良好な撮影のための明るさを確保 する照明手段として用いられるライト78とを� ��する。検知装置72には、検知装置用z軸モー� ��80が取り付けられていて、検知装置用z軸モ� ��タ80は、検知装置72を可動ユニット44に対し� ��z軸方向に移動させるための駆動源として用 いられ、検知装置72を上下動させることによ� ��、撮影部74の焦点を転写体62等に合わせるこ とができる。

 以上のように、支持部材45は、可動ユニ� �ト44に対してz軸方向に移動可能に取り付け� �れていて、可動ユニット44は支柱42に対してx 軸方向に移動可能に取り付けられている。よ って、x軸モータ56と支持部材用z軸モータ64と を制御することで、支持部材45とともに転写� ��62を、x軸方向とz軸方向とに移動させること ができる。また、先述のように、支持台14は� ��y軸モータ32及びθ軸モータ34を駆動すること で、可動台24とともにy軸方向に移動し、回転 する。よって、y軸モータ32、x軸モータ56、支 持部材用z軸モータ64、及びθ軸モータ34を制� �することにより、ウエハWと、光照射装置60� �び転写体62との相対的な位置関係を変更する ことができる。

 そして、ウエハWと転写体62との相対的な� ��置関係を変更することで、ウエハWに塗布さ れた光硬化性樹脂と転写体62とを、互いに当� ��させ離間させることができる。このように� ��この実施形態では、y軸モータ32、x軸モータ 56、支持部材用z軸モータ64、及びθ軸モータ34 が、送りネジ28、52、58等とともに、光硬化樹 脂と転写体62とを互いに当接させ離間させる� ��うに、光硬化性樹脂及び転写体62の少なく� �もいずれ一方を移動させる移動装置として� �いられている。y軸モータ32、x軸モータ56、� �持部材用z軸モータ64、及びθ軸モータ34の制� ��の詳細については後述する。

 以上で説明をした実施形態において、光� ��化性樹脂とは、例えば紫外線硬化樹脂等の� ��可視の光を照射することにより硬化する樹� ��を含むものである。また、以上で説明した� ��施形態においては、マスタ600の材料である� ��スタ材料として光硬化性樹脂が用いられて� ��るが、マスタ材料としては、転写体62が当� �することで、又は転写体62を圧接することで 転写体62の形状に倣って変形可能であり、変� ��した状態を保って硬化させることができる� ��料を適宜用いることができ、例えば、加熱� ��ることで硬化する熱硬化性樹脂を用いるこ� ��ができる。また、この実施形態では、被造� ��物を硬化させる硬化装置として、光硬化性� ��脂を硬化させる光照射装置が用いられてい� ��が、硬化装置は被造形物として用いられる� ��料に応じて適宜選択される。例えば、前述� ��ように被造形物として熱硬化性樹脂が用い� ��れる場合、硬化装置としては、熱硬化性樹� ��を加熱するヒータが選択される。

 図7には、転写体62及びウエハWの詳細が示さ れている。
 図7に示されるように、ウエハWは、基板W1の 上方に、保持板W2が重ねられた構造をしてい� ��。基板W1は、例えば光が透過することがで� �る材料であるガラスからなり、その厚さt1は 、例えば400μである。保持板W2は、例えば液� �からなり、流動性が高い硬化前の光硬化性� �脂を所定の位置に保持するために用いられ� �例えばシリコンからなり、その厚さt2は、例 えば725μであり、上方から下方に貫通する貫� ��孔hが複数形成されている。それぞれの貫通 孔hは、例えば、上方から下方に向かって狭� �なるすり鉢形状をしている。

 このように、基板W1の上方に配置される� �持板W2に、保持板W2を貫通するように複数の� ��通孔h1が形成されているため、貫通孔h1の下 側が基板W1で封止され、基板W1には、下方が� �止され上方に向けて開放された凹部形状か� �なる複数の孔h2が形成された状態となってい る。

 転写体62は、例えば金属からなり、非球� �形状からなるレンズ部として用いられるレ� �ズ部1312(例えば後述する図32参照)と同形状、 又はレンズ部1312と反対形状からなる転写形� �が形成された転写体として用いられていて� �該転写形状としては、例えば凸部90が形成さ れている。また、転写体62は、凸部90の形状� �倣って光硬化性樹脂を変形させるために用� �られていて、変形した状態で光硬化性樹脂� �硬化させることで、転写体62に形成された転 写形状が光硬化樹脂へと転写される。凸部90� ��、金属からなる転写体62を、例えば、マシ� �ングセンタ等の工作機械を用いて例えば削� �出す等、機械的に加工することで形成され� �非球面形状となっている。

 転写体62に形成された転写形状が転写さ� �ることにより造形がなされる被造形物には� �い精度が要求される。このため、例えば、� �部90として転写体62に形成される転写形状に� ��高い精度が要求され、しかも、凸部90は、� �球面形状を有し、加工が困難であるため、� �写体62の加工には長時間且つ高コストを要す ることが多い。そこで、この実施形態では、 加工時間を短縮し、コストを抑制するために 、転写体62に一箇所だけ転写形状が形成され� ��いる。

 ここで、非球面形状とは、一般には、球� ��の一部を切り出した形状からなる曲面形状� ��外の表面形状をいう。又、レンズ部312のよ� ��な光学部品においては、以下に式(1)で示す� ��球面形状式で示される形状をいう。

 z=C・ρ ² /[1+{1-(1+κ1)・C ² ・ρ ² } ^1/2 ] ・・・ 式(1)
 但し、Cを曲率半径Rの逆数、ρを反射鏡面の 光軸からの高さ、zをサグ(sag)量、κ1を円錐係 数とする。

 図7においては、ウエハWの上向きの面、� �面にスピンコートによりに光硬化性樹脂が� �布され、塗布された光硬化性樹脂が保持板W2 の貫通孔hに流れ込むようにして保持板W2に保 持され、保持された光硬化性樹脂に対して、 少なくとも凸部90が光硬化性樹脂に接触する� ��うに、転写体62が接触した状態が示されて� �る。この状態で、光照射装置60を用いて光硬 化樹脂の凸部90に接触した位置、及びその周� ��に光を照射すると、光硬化性樹脂が硬化し� ��凸部に形成された転写形状が光硬化樹脂へ� ��転写される。そして、光硬化性樹脂が硬化� ��た後、転写体62は、図7に二点鎖線で示され� ��ようにウエハWから離間し、図7中に矢印で� �されるように、例えば、硬化した樹脂を保� �する貫通孔hの隣の貫通孔hに保持された未硬 化の樹脂に接するように移動する。

 図8には、ウエハWの向きの面、全面にス� �ンコートにより光硬化性樹脂を塗布するこ� �に替えて、ウエハWに形成された複数の孔h2� �、注入装置(不図示)を用いて光硬化性樹脂を 注入する場合において、保持板W2に保持され� ��光硬化性樹脂に対して、少なくとも凸部90� �光硬化性樹脂に接触するように、転写体62が 接触した状態が示されている。この場合、1� �の孔h2に保持された光硬化性樹脂に凸部90が� ��触し、光が照射されている時点で、その孔h 2に隣接する孔h2には光硬化性樹脂が既に注入 された状態となっており、1つの孔h2内の光硬 化性樹脂が硬化した後、転写体62は、図8に二 点鎖線で示されるようにウエハWから離間し� �図8中に矢印で示されるように、硬化した樹� ��を保持する孔h2の隣の孔h2に保持された未硬 化の樹脂に接するように移動する。そして、 隣の孔h2に保持された樹脂に接した状態にあ� ��転写体62が、隣の孔h2のさらに隣の孔h2へと� ��動する前に、そのさらに隣の孔h2には、注� �装置によって光硬化性樹脂が注入される。

 すなわち、図8に示されるように、注入装 置を用いて光硬化性樹脂を孔h2に注入する場� ��においては、光硬化性樹脂を転写体62に倣� �て変形させるにあたり(変形工程)、予め複数 の孔h2が形成されたウエハWに、光硬化性樹脂 が注入され(注入工程)、孔h2に注入された光� �化性樹脂と、転写体62とを接触させる(接触� �程)。また、光硬化性樹脂を変形させるにあ� ��り、孔h2への光硬化性樹脂の注入(注入工程) と、孔h2に注入された光硬化性樹脂への転写� ��62の接触(接触工程)とが、相互に複数回繰り 返される。

 図9には、ウエハWの第1の変形例が示され� ��いる。先述の実施形態に係るウエハWは、基 板W1と保持板W2が積層されるようになってい� �が、この第1の変形例に係る基板W1は、保持� �W2だけからなる。第1の変形例に係る基板W1を 用いる場合は、貫通孔h1の少なくとも1つを下 方から塞ぐように、転写体62を保持板W2に対� �て下方から接触させ、下方から塞がれるこ� �で形成された孔h2に上方から光硬化性樹脂を 供給し、孔h2に供給された光硬化性樹脂に上� ��から光を照射することができるように、造� ��装置10の構成を変更することを要する。こ� �第1の変形例に係るウエハWを用いる場合は、 孔h2に注入された光硬化性樹脂が硬化した後� ��、転写体62が隣接する貫通孔h1を下方から塞 ぐように移動し、その後、貫通孔h1が塞がれ� ��ようにして形成された隣接する孔h2に、注� �装置によって光硬化性樹脂が注入される。� �、先述の実施形態に係るウエハWと同一部分� ��ついては、図8に同一番号を付して説明を省 略する。

 以上で説明をしたように、保持板W2を有� �るウエハW、又は保持板W2からなるウエハWを� ��いると、光硬化性樹脂が保持板W2に保持さ� �ることで、保持板W2に保持されていない場合 と異なり、光硬化性樹脂はウエハWの表面全� �に連続して存するのではなく、複数の小体� �からなる空間に小分けして存する状態とな� �。このため、光硬化性樹脂が収縮した時点� �おいて、光硬化性樹脂の収縮が積み重なる� �とで、転写体62の形状が転写された位置と、 所望の位置との間に誤差が生じるとの弊害を 防止することができる。また、保持板W2を用� ��ずに、基板W1の全面に光硬化性樹脂を塗布� �る場合と比較して、用いる光硬化性樹脂の� �を少なくすることができる。

 図10には、ウエハWの第2の変形例が示されて いる。
 先述の実施形態に係るウエハWは、基板W1と� ��持板W2とが積層されるようになっていたの� �対して、この第2の変形例では、ウエハWは、 保持板W2を有せず、基板W1からなる。第2の変� ��例に係るウエハWを用いる場合、ウエハWの� �面全体に、スピンコートで光硬化性樹脂を� �布し、ウエハWに塗布された光硬化性樹脂に� ��して、順次、転写体62による転写がなされ� �。

 この第2の変形例に係るウエハWは、保持� �W2を有しないため、光硬化性樹脂はウエハW� �表面全体に連続して存する状態となり、光� �化性樹脂が収縮した時点において、光硬化� �樹脂の収縮が積み重なることで、転写体62の 形状が転写された位置と、所望の位置との間 に誤差が生じる虞がある。このため、係る誤 差の発生を防止するために、用いる光硬化性 樹脂の収縮にあわせて、転写体62が光硬化性� ��脂に接触する位置のピッチを変更すること� ��望ましい。すなわち、転写体62が転写され� �1つの位置と、この位置に隣接し、転写体が� ��硬化性樹脂に接触する他の位置との距離で� ��るピッチを、用いる光硬化性樹脂の収縮率� ��応じて、光硬化樹脂が硬化した跡における� ��望のピッチよりも広くなるように、設定し� ��変更することが望ましい。尚、先述の実施� ��態に係るウエハWと同一部分については、図 10に同一番号を付して説明を省略する。

 図11は、造形装置10が有する制御装置200を示 すブロック図である。
 図11に示されるように、制御装置200は、検� �装置72で撮影された画像を認識する画像認識 装置202を介して検知装置72からの出力が入力� ��れる主制御部204を有する。主制御部204は、� ��ータ制御回路206を制御することで、y軸モー タ32、x軸モータ56、支持部材用z軸モータ64、� ��びθ軸モータ34を制御する。また、主制御部 204は、光源駆動回路208を制御することで光源 70を制御する。また、主制御部204は、モータ� ��御回路210を制御することで検知装置用z軸モ ータ80を制御する。また、主制御部204は、バ� ��ブ駆動回路212を制御することで、バルブ38� �制御する。また、主制御部204は、駆動源制� �回路214を制御することで、駆動源18を制御す る。また、先述のように、ウエハWに形成さ� �た孔h2に光硬化性樹脂を注入する注入装置(� �図示)を造形装置10に設けた場合、この注入� �置の制御も、制御装置200によってなされる� �

 図12は、制御装置200による造形装置10の制 御を示す第1のフローチャートであり、マス� �600を製造する工程を示している。この第1の� ��ローチャーチは、ウエハWの全面に、例えば スピンコートによって光硬化性樹脂が塗布さ れる場合の工程を示している。

 一連の工程がスタートすると、ステップS 102で、支持台14にウエハWを載置する載置工程 が実行される。次のステップS104では、ウエ� �Wに光硬化性樹脂を塗布する光硬化性樹脂塗� ��工程が実行される。光硬化樹脂塗布工程で� ��、主制御部204は、バルブ駆動回路212を制御� ��て、バルブ38を予め定められた時間、開い� �状態とし、ウエハWの表面に光硬化性樹脂を� ��給させる。光硬化性樹脂の供給が完了した� ��、主制御部204は、駆動源制御回路214を制御� ��て駆動源18を予め定められた時間、駆動さ� �る。駆動源18が駆動することで、支持台14が� ��転し、支持台14に載置されたウエハWに供給� ��れた光硬化性樹脂が、遠心力によってウエ� ��Wの表面に略均一に拡散した状態となる。

 次のステップS106では、転写体62に形成さ� ��た転写形状を光硬化性樹脂に転写する転写� ��程が実行される。ステップS106の転写工程の 詳細については後述する。

 次のステップS108では、全ての転写工程が 終了したか否かの判別がなされる。すなわち 、ステップS106として、例えば、1500回~2400回� �度繰り返される転写工程のうち、最後の転� �工程であるか否かの判別がなされる。ステ� �プS108で、最後の転写工程ではないとの判別� ��なされると、ステップS106に戻る。一方、ス テップS108で最後の転写工程であるとの判別� �なされると、次のステップS110へと進む。

 ステップS110では、塗布された光硬化性樹 脂に転写がなされたウエハWが、支持台14に載 置された状態から、造形装置10外へと搬出さ� ��る。尚、造形装置10が、支持台14にウエハW� �載置し、ウエハWを造形装置10から搬出する� �ボット等の装置を有していない場合は、ウ� �ハWの支持台14への載置と、造形装置10からの ウエハWの除去は操作者による手作業で行わ� �、主制御部204の制御によるステップS102及び� ��テップS110の動作はなされない。

 図13は、制御装置200による転写工程を示す� �1のフローチャートであり、ウエハWの全面に 、スピンコート等によって光硬化性樹脂が塗 布される場合における、熱硬化性樹脂に転写 体62に形成された転写形状を転写する転写工� ��(ステップS106)の制御の詳細を示すフローチ� ��ートである。
 転写工程がスタートすると、ステップS106a� �ウエハWに塗布された光硬化性樹脂を、転写� ��62に形成された転写形状に倣って変形させ� �変形工程が実行される。すなわち、ステッ� �S106aでは、主制御部204は、モータ制御回路206 を制御して、y軸モータ32、x軸モータ56、支持 部材用z軸モータ64、及びθ軸モータ34を駆動� �せ、ウエハWに塗布された光硬化性樹脂の所� ��の位置と転写体62とが接触し、光硬化性材� �を変形させるように、転写体62及び支持台14� ��少なくとも一方を移動させる。

 ステップS106aにおける変形工程では、検� �装置72で検知され、画像認識装置202で画像処 理されたデータに基づいて、転写体62が光硬� ��樹脂の適正な位置に接触するように支持台1 4及び転写体62に位置補正データを作成し、こ の補正データに基づいて、主制御部204による 制御で転写体62及び支持台14の少なくとも一� �を移動させるようにしても良い。

ステップS106aの変形工程では、先述のよう� ��光硬化性樹脂が、転写体62の凸部90に倣って 変形する。ここで、転写体62の凸部90は、非� �面形状からかり、マスタ600の非球面形状か� �なる凹部608の反対形状を有するように加工� �れている。尚、以上の説明では、マスタ600� �凹部608を形成するために凸部90を有する転写 体62を用いているが、マスタ600に凸部を形成� ��るためには、凹部を有する転写体が用いら� ��る等、形成しようとする形状に応じて、そ� ��形状と反対形状に加工された転写部を有す� ��転写体62が、選択して用いられる。

 また、転写体62を選択するにあっては、� �いる光硬化性樹脂の種類が考慮され、用い� �光硬化性樹脂の収縮率に応じて、たとえ同� �最終形状を形成する場合であっても異なる� �きさ、異なる形状の凸部90等が形成された転 写体が選択される。すなわち、光硬化性樹脂 の成形途中における収縮にあわせて、転写体 62の変更がなされる。

 次のステップS106bでは、転写体62と接触す ることにより、転写体62に倣って変形した光� ��化性樹脂を硬化させる硬化工程が実行され� ��。すなわち、主制御部204は、光源駆動回路2 08を制御して、光源70に、光硬化樹脂の少な� �とも転写体62と接触して変形した部分に予め 定められた時間光を照射させる。ステップS10 6bによる転写工程を経ることにより、光硬化� ��樹脂は、レンズ部の形状に変形した状態で� ��化し、光硬化性樹脂に1つのレンズ部が造ら れる。

 次のステップS106cでは、硬化した光硬化� �脂と転写体62とを離間させる離婚工程が実行 させる。すなわち、主制御部204は、モータ制 御回路206を制御し、例えば、熱硬化樹脂と接 触した状態にある転写体62を上方に移動させ� ��ように支持部材用z軸モータ64を駆動させる� ��

 以上で説明をしたステップS106a、ステッ� �S106b、ステップS106cにより一連の転写工程が� ��了し、転写工程が終了することで、光硬化� ��樹脂に1つの凹部608が形成される。そして、 図12に示されるように、形成するレンズ部の� ��に応じて全ての転写が終了するまで転写工� ��が繰り返されることにより、光硬化性樹脂� ��繰り返した転写工程の回数と同数の凹部608� ��形成されマスタ600の第2の転写面604が形成さ れる。ここで、転写工程が繰り返されるにあ っては、変形工程S106aにおいて、転写体62が� �硬化性樹脂に接触する位置が、先に転写体62 が光硬化性樹脂に接触した位置と異なる位置 となるように、制御装置200によって制御がな される。

 次に、以上で説明をした工程と同じ工程� ��経ることにより、一方の面に第2の転写面604 が形成されたマスタ600の他方の面に、凸部606 を形成することによって第1の転写面602が形� �される。この際、転写体62は、第1の転写面60 2に凸部606を形成するための形状を有するも� �に交換される。尚、一方の面に第1の転写面6 02が形成され、他方の面に第2の転写面604が形 成されたマスタ600を製造することに替えて、 一方の面に第1の転写面602が形成されたマス� �と、このマスタと別体である一方の面に第2� ��転写面が形成されたマスタとを製造しても� ��い。

 図14は、制御装置200による造形装置10の制 御を示す第2のフローチャートであり、マス� �600を造形する造形方法の工程を示している� �先述の第1のフローチャートには、ウエハWの 全面に、例えばスピンコートによって光硬化 性樹脂が塗布される場合の工程が示されてい た。これに対して、この第2のフローチャー� �には、ウエハWに形成された複数の孔h2(図7参 照)に、注入装置(不図示)を用いて光硬化性樹 脂を注入する場合の工程が示されている。

 先述の第1のフローチャートに示す工程にお いては、ステップS102で、支持台14にウエハW� �載置する載置工程が実行され、ステップS104� ��ウエハWの全面に光硬化性樹脂が塗布され、 ステップS106では、転写体62に形成された転写 形状を光硬化性樹脂に転写され、ステップS10 8で全ての転写工程が終了したか否かの判別� �なされた後、ステップS110で、ウエハWが造形 装置10外へと搬出された。
 これに対して、この第2のフローチャートに 示す工程においては、ステップS104における� �エハWの全面への光硬化性樹脂の塗布はなさ� ��ず、後述するように、ステップS106の転写工 程において、ウエハWに形成された孔h2への樹 脂の注入がなされる。

 図15は、制御装置200による転写工程を示� �第2のフローチャートであり、ウエハWに形成 された複数の孔h2に、注入装置を用いて光硬� ��性樹脂を注入する場合における、熱硬化性� ��脂に転写体62に形成された転写形状を転写� �る転写工程(ステップS106)の制御の詳細を示� �フローチャートである。

 転写工程がスタートすると、ステップS106 aで、ウエハWに形成された複数の孔h2の中の1� ��に光硬化性樹脂を注入する注入工程(ステッ プS106a1)と、ステップS106a1で孔h2の1つに注入� �れた光硬化性樹脂に、転写体62を接触させる 接触工程(S106b2)とを有し、光硬化性樹脂を転� ��体62に形成された転写形状に倣って変形さ� �る変形工程が実行される。すなわち、ステ� �プS106aでは、主制御部204は、注入装置を制御 してウエハWに形成された複数の孔h2の1つに� �硬化性樹脂をした後、モータ制御回路206を� �御して、1つの孔h2に注入された孔h2と転写体 62とが接触するように、転写体62及び支持台14 の少なくとも一方を移動させる。

 次のステップS106bでは、転写体62に倣って 変形した光硬化性樹脂を硬化させる硬化工程 が実行される。すなわち、主制御部204は、ス テップS106a1で孔h2に注入された樹脂に対して� ��なくとも光が照射されるように、光源70を� �射させる。ステップS106bによる硬化工程を経 ることにより、孔h2に注入された光硬化性樹� ��は、レンズ部の形状に変形した状態で硬化� ��る。

 次のステップS106でcは、硬化した孔h2に注 入された光硬化樹脂と、転写体62とを離間さ� ��る離婚工程が実行される。

 以上で説明をしたステップS106a1、ステッ� ��S106a2、ステップS306b、ステップS106cにより一 連の転写工程が終了し、転写工程が終了する ことで、ウエハWに形成された複数の孔h2の1� �に光硬化性樹脂が注入されるとともに、こ� �光硬化性樹脂を転写体62に形成された転写形 状に倣って変形した状態で硬化させることで 、1つの凸部606が形成される。そして、図14に 示されるように、形成するレンズ部の数に応 じて全ての転写が終了するまで転写工程が繰 り返すことにより、光硬化性樹脂に繰り返し た転写工程の回数と同数の凸部606が形成され る。

 図16には、スタンパ製造装置300が示されて� �る。
 スタンパ製造装置300は、容器302を有し、容� ��302内にNiメッキ液からなる電解液304がたく� �えられている。また、容器302の例えば底部� �は、電解液304を加熱し、電解液304の温度を� �温に保つための加熱装置306が取り付けられ� �いる。電解液304中には、Niペレット308が配置 されている。また、スタンパ製造装置300は、 Niペレット308を陽極として、スパッタ等によ� ��て表面に導電膜が形成されたマスタ600を陰� ��極とする電源310を有している。

 以上のように構成されたスタンパ製造装� ��300では、電源310による通電がなされると、� ��極側のNiペレット308からNiが溶け出し、陰極 側の表面にメッキがなされたマスタ600の表面 にNiが析出し、第1のスタンパ620と、第2のス� �ンパ626とが形成される。第1のスタンパ620、� ��び第2のスタンパ626は、その後、マスタ600か ら採り外され、先述のようにレンズアレイ680 の製造に用いられる。

 図17には、レンズアレイ製造装置400が示さ� �ている。
 図17に示されるように、レンズアレイ製造� �置400は、基台404を有し、基台404の上に支持� �406が取り付けられ、支持台406には、例えば� �ータ等の駆動源408に連結され、スピンコー� �用の回転テーブルとして用いられる回転台41 0が取り付けられている。回転台410には、例� �ば、第1のスタンパ620が載置される。

 また、レンズアレイ製造装置400は、回転� ��410の載置された第1のスタンパ620に、光硬化 性樹脂を供給するために用いられる樹脂供給 装置402と、例えば第2のスタンパ626を把持し� �把持した第2のスタンパ626を回転台410に載置� ��れた第1のスタンパ620に重ねるように移動さ せることができる例えばロボットアーム等か らなる移動装置414と、光硬化性樹脂を硬化さ せるための光を発する光照射装置416とを有し ている。図14においては、1つのみが示されて いるものの、光照射装置416は、例えば90度間� ��で4個等、回転台410の周囲に複数個を設ける ことが望ましい。

 以上のように構成されたレンズアレイ製� ��装置400では、回転台410に載置された第1のス タンパ620の上向きの面(第1の反対形状面622)に 樹脂供給装置402から光硬化性樹脂が供給され 、駆動源408からの駆動伝達を受けて回転台410 が回転することで、第1のスタンパ620表面に� �硬化性樹脂が拡散した状態となり、拡散し� �状態となった光硬化性樹脂の上に重ねるよ� �に、移動装置414によって第2のスタンパ626が� ��送される。そして、第1のスタンパ620の第1� �反対形状面622と、第2のスタンパ626の第2の反 対形状面628とに倣って変形した状態の光硬化 性樹脂に、光照射装置416から光の照射がなさ れ、光硬化性樹脂が変形した状態で硬化する ことで、レンズアレイ680が製造される。

 図18には、光照射装置416からの光の照射を� �けて光硬化性樹脂が硬化し、レンズアレイ65 0が製造される工程が説明されている。
 例えば、4個の光照射装置416(図18では2個を� �示)から、第1のスタンパ620と第2のスタンパ62 6との間に存する光硬化性樹脂に向けて光が� �射されると、図18に示すように、ともにNiか� ��なる第1のスタンパ620の第1の反対形状面622� �第2のスタンパ626の第2の反対形状面628との間 で反射するようにして光線が光硬化性樹脂の 間で拡散し、光硬化性樹脂が硬化する。

 図19には、光照射装置416からの光の照射を� �けて光構成樹脂が硬化し、レンズアレイ680� �製造される工程が説明されている。
 レンズアレイ680を製造する場合は、図19に� �すように、回転台410として表面が鏡面加工� �れたものを用い、回転台410をレンズアレイ65 0に対向する対向部材として用いる。そして� �回転台410の表面に、例えばガラス基板等の� �を透過する材質からなる基板644を載置し、� �板644の上に光硬化樹脂を拡散させ、拡散し� �状態の光硬化性樹脂の上に重ねるようにス� �ンパ640を載置する。そして、この状態で、� �えば4個の光照射装置416(図19では2個を図示)� �ら、スタンパ640と基板644との間に存する光� �化性樹脂に向けて光が照射されると、図19に 示すように、Niからなるスタンパ640の下向き� ��面(反対形状面642)と、鏡面加工された回転� �410の表面との間で反射するようにして光線� �光硬化性樹脂の間で拡散し、光硬化性樹脂� �硬化する。

 図20には、レンズアレイ製造装置400の変形� �が示されている。
 先述のレンズアレイ製造装置400は、レンズ� ��レイ650等のレンズアレイの材料として光硬� ��性樹脂を用い、この光硬化性樹脂を硬化さ� ��る工程を実現させることができるようにな� ��ていた。これに対して、この変形例に係る� ��ンズアレイ製造装置400は、レンズアレイの� ��料として熱硬化性樹脂を用い、熱硬化性樹� ��を硬化させる工程を実現することができる� ��うになっている。

 図20に示すように、この変形例に係るレ� �ズアレイ製造装置400は、先述のレンズアレ� �製造装置400が有していた光照射装置416を有� �ていない。一方、この変形例に係るレンズ� �レイ製造装置400は、熱硬化性樹脂を加熱す� �ことによって硬化させる加熱手段として用� �られる加熱装置430を有している。加熱装置43 0は、回転台410の上向きの面に装着されてい� �、例えば第1のスタンパ620等の上向きの面に� ��置されるスタンパより大径の円板形状から� ��り、内部に発熱体432が装着されている。発� ��体432は、図示を省略する電源からの電力の� ��給を受けて発熱する。

 以上のように構成された、この変形例に� ��るレンズアレイ製造装置400では、加熱装置4 30の上向きの面に、第1のスタンパ620が載置さ れ、スタンパ620の第1の反対形状面622に樹脂� �給装置402によって熱硬化性樹脂が供給され� �。そして、樹脂供給装置402によって供給さ� �た熱硬化性樹脂の上に、第2のスタンパ626第2 の反対形状面628が熱硬化性樹脂に接触するよ うに押し付けられる。以上の工程を経ること と、熱硬化性樹脂は、第1のスタンパ620の第1� ��反対形状面622、及び第2のスタンパ626の第2� �反対形状面628の形状に倣って変形する。

 そして、熱硬化性樹脂が、第1のスタンパ 620の第1の反対形状面622、及び第2のスタンパ6 26の第2の反対形状面628の形状に倣って変形し た状態で、発熱体432に電力の供給がなされる 。発熱体432に電力の供給がなされると、発熱 体432が発熱し、熱がNiからなる第1のスタンパ 620を伝導して光硬化性樹脂に伝えられ、光硬 化性樹脂が硬化する。

 以上のように、先述のレンズアレイ製造� ��置400は、レンズアレイの材料として専ら光� ��化性樹脂を用いるように構成され、変形例� ��係るレンズアレイ製造装置400は、レンズア� ��イの材料として専ら熱硬化性樹脂を用いる� ��うに構成されているが、レンズアレイ製造� ��置400を、レンズアレイの材料として、光硬� ��性樹脂と熱硬化性樹脂との双方を選択して� ��いることができるようにしても良い。すな� ��ち、レンズアレイ製造装置400に、光照射装� ��416と加熱装置430との双方を設け、光硬化性� ��脂を用いる場合は、光硬化性樹脂を光照射� ��置416を用いて硬化させ、熱硬化性樹脂を用� ��る場合は、熱硬化性樹脂を加熱装置430を用� ��て硬化させるようにしても良い。

 図21には、分離装置500が示されている。
 分離装置500は、例えばレンズアレイ650、680� ��載置される載置台502と、載置台502に載置さ� ��たレンズアレイ650等にレーザ光線を照射し� ��、レンズアレイ650等を切断し、分離するレ� ��ザ照射装置504とを有している。レーザ照射� ��置504は、例えばロボットアームからなる移� ��装置506に移動可能に支持されるとともに、� ��ーザ光源508が取り付けられている。

 分離装置500では、レーザを照射すること� ��レンズアレイ650、680を切断し、分離するこ� ��でレンズ700を製造する。

 図22には、本発明が適用される第2の光学� ��品製造システム5が示されている。また、図 23には、この第2の光学部品製造システム5を� �いて、造形物として用いられるレンズが製� �される工程が説明されている。この第2の光� ��部品製造システム5は、先述の本発明が適用 される第1の光学部品製造システム5と同様に� ��例えばレンズ等の光学部品を製造するため� ��用いられていて、この第2の光学部品製造シ ステム5で、本発明の実施形態に係る造形物� �製造方法が実施される。

 先述の第1の光学部品製造システム5は、� �形装置10と、スタンパ製造装置300と、レンズ アレイ製造装置400と、分離装置500とを有して いた。これに対して、この第2の光学部品製� �システム5は、図22に示されるように、スタ� �パ製造装置300を有せずに、造形装置10と、レ ンズアレイ製造装置400と、分離装置500とを有 する。また、先述の第1の光学部品製造シス� �ム5では、造形装置10は、マスタを製造する� �スタ製造装置として用いられていた。これ� �対して、この第2の光学部品製造システム5で は、造形装置10は、スタンパを製造するスタ� ��パ製造装置として用いられている。

 また、先述の第1の光学部品製造システム5� �は、レンズを製造する際には、まず、ステ� �プS100でマスタが製造され、次のステップS200 でスタンパが製造され、次のステップS300で� �ンズアレイが製造され、次のステップS400で� ��ンズが製造され、ステップS400で製造された レンズで、例えばカメラが製造された。
 これ対して、この第2の光学部品製造システ ム5では、図23に示されるように、まず、ステ ップS200でスタンパが製造され、次のステッ� �S300でレンズアレイが製造され、次のステッ� ��S400でレンズが製造され、ステップS400で製� �されたレンズで、例えばカメラが製造され� �。すなわち、先述の第1の光学部品製造シス� ��ム5とは異なり、この第2の光学部品製造シ� �テム5では、マスタの製造がなされない。

 また、この第2の光学部品製造システム5� �おいては、ステップS200のスタンパを製造す� ��工程に造形装置10が用いられ、ステップS300� ��レンズアレイを製造する工程にレンズアレ� ��製造装置400が用いられ、ステップS400のレン ズを製造する工程に分離装置500が用いられる 。

 図24には、第2の光学部品製造システム5を用 いてレンズ700が製造される工程が、図23に示� ��れた工程順に説明されている。
 レンズ700を製造するには、まず、図24(c)に� �されるようにスタンパ640が製造される。次� �、図24(d)に示されるようにレンズアレイ680が 製造される。次に、図24(g)に示されるように� ��必要に応じて複数のレンズアレイ650や、レ� ��ズアレイ650と他のレンズアレイとが接合さ� ��てなる接合レンズアレイ690が製造される。� ��して、図24(h)に示されるように、接合レン� �アレイ690が分割されてレンズ700とされる。

 図24(c)には、第2の光学部品製造システム5で 製造されたスタンパ640の一部分が拡大されて 示されている。
 先述の第1の光学部品製造システム5では、� �造されるスタンパの材質はNiであり、製造さ れるスタンパは光を透過しないものであった 。これに対して、この第2の光学部品製造シ� �テム5で製造されるスタンパ640は、光を透過� ��る材料を用いて製造され、光を透過するこ� ��ができるものとなっている。光を透過する� ��料としては、樹脂が用いられる。また、ス� ��ンパ640は、造形物として用いられるレンズ� ��レイ680の光学機能面682の反対形状からなる� ��対形状面642を有する。反対形状面642には、� ��ンズアレイ680が有する凸レンズ部684と反対� ��状であって形状、凸レンズ部684と同数の凹� ��643が、凸レンズ部684と同間隔で成形されて� ��る。

 また、スタンパ640は、先述のように造形装� ��10で製造される。
 すなわち、第1の光学部品製造システム5に� �いて、造形装置10でマスタ600が製造された際 の工程と同様の工程を経て、複数の凹部643を 有するスタンパ640が形成される。但し、スタ ンパ640を形成する際には、光透過性を有する 樹脂が用いられる。

 図24(d)には、第2の光学部品製造システム5で 製造されたレンズアレイ680の一部分が拡大し て示されている。
 レンズアレイ680は、先述の第1の光学部品製 造システム5で製造されるレンズアレイ680と� �じものであり、造形面として用いられる光� �機能面682を有している。光学機能面682には� �光学部品部として用いられる複数の凸レン� �部684が整列した状態で成形されている。先� �のように、レンズアレイ680は、レンズアレ� �製造装置400で製造される。レンズアレイ製� �装置400によるレンズアレイ680の製造の詳細� �後述する。

 図24(g)には、第2の光学部品製造システム5 で製造された接合レンズアレイ690が示されて いる。図24(g)には、第2の光学部品製造システ ム5で製造されたレンズアレイ680、2枚を接合� ��る例が示されているが、接合レンズアレイ6 90は、レンズアレイ680と、例えば先述の第1の 光学部品製造システム5で製造されたレンズ� �レイ650(図3参照)等とを接合したものであっ� �も良い。

 図24(h)には、第2の光学部品製造システム5 で製造されたレンズ700が示されている。レン ズ700は、先述の第1の光学部品製造システム5� ��同様に、分離装置500を用いて、接合レンズ� ��レイ690を切断し、分離することにより製造� ��れる。第2の光学部品製造システム5が有す� �分離装置500は、先述の第1の光学部品製造シ� ��テム5が有する分離装置500(図21参照)と同じ� �のである。

 図25には、第2の光学部品製造システム5が有 するレンズアレイ製造装置400が示されている 。
 先述の第1の光学部品製造システム5におい� �は、レンズアレイ製造装置400の光照射装置41 6は、例えば90度間隔で4個等、回転台410の周� �に複数個が、レンズアレイ680等の製造に用� �られる光硬化性樹脂の横方向から、該樹脂� �対して光を照射するように配置されていた� �これに対して、この第2の光学部品製造シス� ��ム5が有するレンズアレイ製造装置400におい ては、光照射装置416は、レンズアレイ680等の 製造に用いられる光硬化性樹脂の上側(基台40 4の逆側)から、該樹脂の全体に光を照射する� ��とができるように、例えば1つが配置されて いる。

 以上のように構成された第2の光学部品製 造システム5の有するレンズアレイ製造装置40 0では、回転台410に、例えばNiからなる第2の� �タンパ626が、反対形状面628が上向きになる� �うに載置され、第2のスタンパ626に樹脂供給� ��置402から光硬化性樹脂が供給され、駆動源4 08からの駆動伝達を受けて回転台410が回転す� ��ことで、第2のスタンパ626表面に光硬化性樹 脂が拡散した状態となり、拡散した状態とな った光硬化性樹脂の上に重ねるように、移動 装置414によって、光透過性材料からなり、光 透過性を有するスタンパ640が搬送される。そ して、第2のスタンパ626の反対形状面628と、� �タンパ640の反対形状面642とに倣って変形し� �状態の光硬化性樹脂に、光照射装置416から� �の照射がなされ、光硬化性樹脂が変形した� �態で硬化することで、レンズアレイ680が製� �される。

 ここで、支持台406に載置されるスタンパ� ��、上述のように第2のスタンパ626等の、材質 がNiであり、光透過性を有しないものに替え� ��、光透過性樹脂からなり、光透過性を有す� ��スタンパ640等を用いても良い。一方、光硬� ��性樹脂の上から重ねるスタンパは、光透過� ��を有するものであることを要し、材質がNi� �らなる第2のスタンパ626等の光透過性を有し� ��いスタンパに替えることはできない。

 図26には、光照射装置416からの光の照射を� �けて光硬化性樹脂が硬化し、レンズアレイ68 0が製造される工程が説明されている。
 光照射装置416から光が照射されると、図26� �示すように、光透過性を有するスタンパ640� �通過した光が光硬化性樹脂の全域に到達し� �光硬化性樹脂は未硬化の部分を残すことな� �硬化する。

 図27には、第2の光学部品製造システム5が有 するレンズアレイ製造装置400の第1の変形例� �示されている。
 先述の第2の光学部品製造システム5が有す� �レンズアレイ製造装置400では、光照射装置41 6は、光硬化性樹脂の上側(基台404の逆側)に、 例えば1つが配置されていた。これに対して� �この第1の変形例に係るレンズアレイ製造装� ��400では、光照射装置416は、例えば90度間隔� �4個、又は45度間隔で8個等、回転台410の周囲� ��複数個が、レンズアレイ680等の製造に用い� ��れる光硬化性樹脂の横方向から、該樹脂に� ��して光を照射するように配置されている。� ��た、この第1の変形例に係るレンズアレイ製 造装置400では、回転台410として、光を反射す ることができるように、上向きの面が鏡面加 工されたものが用いられる。

 この第1の変形例に係るレンズアレイ製造 装置400を用いてレンズアレイ680等を製造する には、回転台410の表面に、例えばガラス基板 等の光を透過する材質からなる基板644が載置 され、基板644の上に光を透過する材料を用い て製造され、光を透過することができるスタ ンパとして、スタンパ640が載置される。そし て、スタンパ640の上向きの面に光硬化性樹脂 が供給され、供給され光硬化性樹脂に対して 、光を透過せず、且つ望ましくは光を反射す ることができるスタンパとして、例えばNiか� ��なる第2のスタンパ626が、上方から押し付け られる。

 図28には、レンズアレイ製造装置400の第1の� ��形例において、光照射装置416からの光の照� ��を受けて光硬化性樹脂が硬化し、レンズア� ��イ680が製造される工程が説明されている。
 この第1の変形例では、図28に示すように、� ��えば8個の光照射装置416(図28では2個を図示)� ��ら、第2のスタンパ626と基板644との間に光が 照射されると、第2のスタンパ626と鏡面加工� �れた回転台410との間で反射するようにして� �光線が光硬化性樹脂の間で拡散し、光硬化� �樹脂が硬化する。この際、回転台410で反射� �た光は、スタンパ640を通過して光硬化性樹� �に到達する。

 図29には、第2の光学部品製造システム5が有 するレンズアレイ製造装置400の第2の変形例� �示されている。
 先述の第2の光学部品製造システム5が有す� �レンズアレイ製造装置400では、光照射装置41 6によって光硬化性樹脂の上方から光の照射� �なされ、先述の第1の変形例に係るレンズア� ��イ製造装置400においては、光硬化性樹脂の� ��方から光の照射がなされた。これに対して� ��この第2の変形例に係るレンズアレイ製造装 置400では、光硬化性樹脂の下方から光の照射 がなされる。すなわち、この第2の変形例で� �いられる光照射装置416は、回転台410の上向� �の面に装着されていて、例えばスタンパ640� �の回転台410に載置されるスタンパよりも大� �の円板形状からなり、少なくとも硬化させ� �うとする光硬化性樹脂が分布する領域より� �大きい発光領域を内部に有する発光体418が� �着されている。発光体418は、図示を省略す� �電源からの電力の供給を受けて発光する。

 この第2の変形例に係るレンズアレイ製造 装置400を用いてレンズアレイ680等を製造する 場合は、先述の第1の変形例と同様に、回転� �410の表面に、例えばガラス基板等の光を透� �する材質からなる基板644が載置され、基板64 4の上に光を透過する材料を用いて製造され� �光を透過することができるスタンパとして� �スタンパ640が載置される。そして、スタン� �640の上向きの面に供給された光硬化性樹脂� �対して、光を透過せず、且つ望ましくは光� �反射することができるスタンパとして、例� �ばNiからなる第2のスタンパ626が、上方から� �し付けられる。

 図30には、レンズアレイ製造装置400の第2の� ��形例において、光照射装置416からの光の照� ��を受けて光硬化性樹脂が硬化し、レンズア� ��イ680が製造される工程が説明されている。
 この第2の変形例では、図30に示すように、� ��光体418が発光すると、発光体418から発せら� ��た光が、基板644を通過し、さらにスタンパ6 40を通過して光硬化性樹脂に到達し、また、� ��硬化性樹脂を通過した光が第2のスタンパ626 で反射され、再び光硬化性樹脂内に到達する ため、光硬化性樹脂が硬化する。

 以上で説明をした第1の光学部品製造シス テム5では、造形装置10でマスタ600等のマスタ の製造がなされ、第2の光学部品製造システ� �5では、造形装置10でスタンパ640の製造がな� �れた。造形装置10は、マスタ、又はスタンパ の製造に限らず、広く造形物の製造に用いる ことができ、例えば光学部品であるレンズア レイの造形に用いることができる。

 造形装置10を用いてレンズアレイを製造� �るには、第1の光学部品製造システム5におい て、マスタ材料に転写体62の転写形状を転写� ��る転写工程を、転写体62がマスタ材料に接� �する位置が、先に転写体62がマスタ材料に接 触した位置と異なる位置となるように複数回 繰り返したのと同様に、又、第2の光学部品� �造システム5において、スタンパ材料に転写� ��62の転写形状を転写する転写工程を、転写� �62がスタンパ材料に接触する位置が、先に転 写体62がマスタ材料に接触した位置と異なる� ��置となるように複数回繰り返したのと同様� ��、光硬化性樹脂、又は熱硬化性樹脂からな� ��レンズアレイの材料に転写体62の転写形状� �転写する転写工程を、転写体62がレンズアレ イの材料に接触する位置が、先に転写体62が� ��ンズアレイの材料に接触した位置と異なる� ��置となるように複数回繰り返す。

 すなわち、造形装置10によるレンズアレ� �の製造は、被造形物として用いられるレン� �アレイの材料と、転写形状が形成された転� �体62とを互いに接触させ、レンズアレイの材 料を転写体の形状に倣って片影させる工程と 、レンズアレイの材料の少なくとも変形した 部分を硬化させる工程と、レンズアレイの材 料と転写体62とを互いに離間させる工程と、� ��写体62をレンズアレイの材料に他の位置に� �動させる移動工程とを有する転写工程が複� �回、繰り返されることによってなされる。

 図31には、レンズアレイを製造中の造形装� �10の転写体62の周囲が拡大して示されている� ��
 図31に示すように、レンズアレイを製造す� �際には、基板W1の互いに隣り合う貫通孔hの� �の位置に、例えば基板W1の内部に位置するよ うにスクライブ層(刻み部)Sが形成することが 望ましい。基板W1のスクライブ層Sが形成され た位置は、他の部分よりも強度が弱いため、 基板W1を分割する場合に、基板W1はスクライ� �層Sにそって分割される。

 図32には、以上で説明をした工程を経て、� �形装置10によって製造されたレンズアレイ130 4を用いて、少なくとも1つのレンズ部を有す� ��、光学部品であるレンズを製造する工程が� ��明されている。
 まず、形成されたレンズアレイは、図32(a)� �図32(b)に示されるように、必要に応じて複数 枚が、張り合わせる等の方法で接合される(� �合工程)。図32(a)には、接合させる前の3個の� ��ンズアレイ1304が、図32(b)には、3枚のレンズ アレイ1304が接合された接合レンズアレイ1310� ��示されている。

 次に、接合工程で接合された接合レンズ� ��レイ1310を、少なくとも1つのレンズ部を有� �るように、例えば切断する等の方法で分割� �る(分割工程)。接合レンズアレイ1310が分割� �れることにより、レンズが製造される。こ� �で、先述のように、ウエハWにスクライブ層S (図31参照)を形成しておけば、接合レンズア� �イ1310の分割が容易となる。

 図32(c)には、レンズアレイ1304が積層され� ��ように接合された接合レンズアレイ1310を、 1つのレンズ部1312を含むように切断すること� ��製造されたレンズ1314が示されている。レン ズ1314を、例えば、CMOSセンサ等の受光素子に� ��り付けることでカメラを製造することがで� ��、製造されたカメラは、例えば携帯電話機� ��内蔵されるカメラとして用いられる。

 尚、以上で説明をしたレンズの製造工程� ��は、レンズアレイ1304を複数接合することに より接合レンズアレイを形成し、接合レンズ アレイ1310を分割することよって複数のレン� �部を有するレンズ1314を製造する工程につい� ��説明したが、複数のレンズアレイ1304を接合 することなく単層のまま分割することで、単 層からなるレンズ1314を形成することができ� �。また、レンズアレイ1304、接合レンズアレ� ��1310を分割することなく、レンズアレイ1304� �接合レンズアレイ1310として利用することも� ��きる。

 また、造形装置10は、マスタの製造、ス� �ンパの製造、及びレンズアレイ等の光学部� �に限らず、例えば、電鋳で用いられる電鋳� �型、入槽モデルの製造に用いることができ� �。