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Title:
NEUTRALIZATION APPARATUS, ION BALANCE ADJUSTMENT CIRCUIT, AND ION BALANCE ADJUSTMENT ELECTRODE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2008/126725
Kind Code:
A1
Abstract:
A neutralization apparatus comprises a discharge electrode generating positive or negative ions depending on the polarity of a DC high voltage being applied, a high voltage generation circuit for applying a DC high voltage to the discharge electrode, and a grounded guard electrode which shuts out a forward space for delivering the ions with an appropriate profile. The discharge electrode is constituted of 2n (n is a natural number) discharge needles divided into two groups of n discharge needles. The high voltage generation circuit applies high voltages of reverse polarity to two groups of discharge needles, respectively, and reverses the polarity every predetermined period. The neutralization apparatus is compact and lightweight and exhibits excellent attenuation time characteristics and ion balance characteristics.

Inventors:
TSUMORI TOMONORI
Application Number:
PCT/JP2008/056482
Publication Date:
October 23, 2008
Filing Date:
April 01, 2008
Export Citation:
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Assignee:
MIDORI ANZEN CO LTD (JP)
TSUMORI TOMONORI
International Classes:
H05F3/04; H01T19/04
Foreign References:
JP2005108742A2005-04-21
JP2004253193A2004-09-09
JPH08255669A1996-10-01
JP2002231494A2002-08-16
JPH10145958A1998-05-29
JP2001345199A2001-12-14
Attorney, Agent or Firm:
MIYOSHI, Hidekazu et al. (2-8 Toranomon 1-chome,Minato-k, Tokyo 01, JP)
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Claims:
 印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する2n個(nは自然数)の放電針が、n個ずつ2組のグループに分けて構成された放電電極と、
 前記放電電極の前記各放電針に、前記両グループに逆極性の直流高電圧を一定期間毎に極性を反転させて印加する高電圧発生回路と、
 前記イオンが送出される前方空間を適宜の形状で遮る接地されたガード電極と、
を備えた除電装置。
 前記放電電極と前記ガード電極との間に配置されたイオンバランス調整電極と、
 前記イオンバランス調整電極の電位を大地と異なる電位に調整可能なイオンバランス調整回路と、
をさらに備えている請求項1記載の除電装置。
 前記放電電極の前記各放電針が生成した正又は負のイオンを、装置前方へ送出する送風機と、
 前記イオンの送出方向正面からみて前記ガード電極に実質的に隠れる位置に設置された非接地のイオンバランス調整電極と、
をさらに備えている請求項1記載の除電装置。
 前記放電電極の前記各放電針が生成した正又は負のイオンを、装置前方へ送出する送風機をさらに備えている請求項1記載の除電装置。
 前記放電電極が、実質的に平面上に描く矩形の頂点に1個ずつ配置された少なくとも4個の放電針で構成され、
 前記各放電針は、1本の対角線上に向き合って配置された2個の放電針が一方の前記グループを構成し、別の1本の対角線上に向き合って配置された別の2個の放電針が他方の前記グループを構成する、請求項1記載の除電装置。
 前記高電圧発生回路が、1つの電源から得た2系統の交互に入力される高周波高電圧を、一方の高周波高電圧を互いに極性の異なる2つの直流高電圧に変換するとともに、他方の高周波高電圧を前記極性と互いに逆の2つの直流高電圧に変換する極性反転回路を備えている、請求項5記載の除電装置。
 前記極性反転回路に入力される2系統の前記高周波高電圧の交互切換周波数が、10~100Hzの範囲である、請求項6記載の除電装置。
 前記極性反転回路が、各系統の前記高周波高電圧を変換して得られる2つの互いに逆極性の直流高電圧を2組の前記グループにそれぞれ出力することで、前記両グループどうし互いに逆極性の直流高電圧を同時に印加し、また、2系統の前記高周波高電圧への入力を交互に切り換えることで、前記両グループに一定期間毎に直流高電圧の極性を反転させて印加する、請求項7記載の除電装置。
 前記高電圧発生回路が、
 直流電源回路と、
 前記直流電源回路の直流電圧を高周波電圧に変換するとともに、当該高周波電圧を2系統の出力ラインに一定期間毎に交互に切り換えて出力する出力制御回路と、
 前記出力制御回路から出力された高周波電圧を高周波高電圧に昇圧する変圧回路と、
を備えている、請求項1記載の除電装置。
 前記イオンバランス調整電極が、前記高電圧発生回路の接地端子と前記ガード電極の接地との間に挿入されたイオンバランス調整回路の前記接地端子側に接続されている、請求項1記載の除電装置。
 前記イオンバランス調整回路が、前記イオンバランス調整電極によるイオンバランスを目標に向けて調整するための可変抵抗と、前記可変抵抗と並列に接続されたダイオードとを備えている、請求項10記載の除電装置。
 前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に挿入され、前記放電電極の出力異常を検出する高圧異常検出回路をさらに備えている、請求項1記載の除電装置。
 前記高圧異常検出回路が、前記高電圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極の接地との間に接続された異常検出用コンデンサを少なくとも備え、前記異常検出用コンデンサの前記高圧接地端子側の接続点で前記高圧異常を検出する、請求項12記載の除電装置。
 前記高圧異常検出回路が、前記異常検出用コンデンサと並列に接続された抵抗を備えている、請求項13記載の除電装置。
 印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する放電電極と、生成した前記イオンが送出される前方空間に配置された対向電極とを備えた除電装置に用いるイオンバランス調整回路であって、
 前記対向電極の一部の電位を大地と異なる電位に調整可能に構成されている、イオンバランス調整回路。
 印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する放電電極と、生成した前記イオンが送出される前方空間に配置された接地されたガード電極とを備えた除電装置に用いるイオンバランス調整回路であって、
 前記放電電極と前記ガード電極との間に配置されるイオンバランス調整電極の電位を大地と異なる電位に調整可能に構成されている、イオンバランス調整回路。
 前記イオンバランス調整電極の前記直流高電圧の発生回路の高圧接地端子との接続部と、前記ガード電極の接地との間に挿入されており、
 可変抵抗と、前記可変抵抗に並列に接続されたダイオードとを備えている、
請求項16記載のイオンバランス調整回路。
 前記ダイオードのアノードが前記ガード電極の接地側に接続され、前記ダイオードのカソードが前記高圧接地端子側に接続されており、前記可変抵抗の抵抗値を大きくするとイオンバランスはプラス優位となり、抵抗値を小さくするとイオンバランスはマイナス優位となる、請求項17記載のイオンバランス調整回路。
 印加される直流高電圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成する放電電極と、生成した前記イオンが送出される前方空間を適宜の形状で遮る接地されたガード電極とを備えた除電装置に用いるイオンバランス調整電極であって、
 非接地の電極部材を備え、前記電極部材が、前記イオンの送出方向正面からみて前記ガード電極に実質的に隠れる位置に設置されている、イオンバランス調整電極。
 前記放電電極が、任意の平面上に実質的に均等に配置された複数の放電針で構成されており、前記電極部材が、前記複数の放電針から前記ガード電極に至る放電領域内に設置されている、請求項19記載のイオンバランス調整電極。
Description:
除電装置、イオンバランス調整 路、及び、イオンバランス調整電極

 この発明は、帯電物体に正負のイオンを 射して電気的に中性にする除電装置、並び 、除電装置に用いられるイオンバランス調 回路及びイオンバランス調整電極に関する のである。

 従来から、半導体製造ラインや携帯電話 どのセル生産工程などでは、部品帯電が原 の静電気障害や静電吸着を防ぐため、作業 やコンベア等の近傍に除電装置が配置され いる。

 こうした製造現場で使用される除電装置 は、正又は負の電荷が全体的或いは部分的 過剰となり、電荷が不均一な状態にある除 対象物(部品)に対し、正又は負のイオンを 出(照射)して電気的に中和するものがある。

 このような除電装置は、除電方式に応じ 幾つかのタイプに分類される。以下、各方 の特徴について簡単に説明する。

(1)AC式
 1つの放電針に正弦波高電圧(周波数50/60Hz)を 印加し、正負のイオンを交互に発生させる。 1つの放電針から正負のイオンを発生させる め、イオンバランスの経時的な偏りや空間 な偏りが少ないことが特徴である。

 ここで、イオンバランスとは、イオン照 後の除電対象物(被除電物)の残留電位が0ボ トからどの程度離れているかを示すもので 残留電位が定常的に0ボルトであることが理 想である。

 そして、イオンバランスの経時的な偏り は、除電装置を連続運転した場合に、正負 れぞれの放電針の汚れ付着や腐食・磨耗の 合いに差が生じることで残留電位に偏りが じることをいう。

 また、イオンバランスの空間的な偏りと 、除電対象物にイオンを照射したときに、 電対象物の位置に応じて残留電位に差が生 ることをいう。このイオンバランスの空間 な偏りは、後述するように、除電装置から 定距離に規則的に配置した除電対象物にイ ンを照射して、どの位置の除電対象物に残 電位があるかを測定することで判定される

 さらに、後述するイオンバランスの振幅 は、正負のイオンが照射された除電対象物 表面電位が正または負側に周期的に変動す ことをいう。

(2)DC式
 正放電針と負放電針に、それぞれ正負の高 圧を印加することで、各放電針から定常的 正負のイオンを発生させる。放出された正 のイオンが除電対象物に達するまでに再結 しにくく、AC式に比べてイオンを遠くまで ばすことができることが特徴である。

(3)AC高周波式
 1つの放電針に周波数20kHz~70kHzの高周波電圧 印加する。一般的なAC式に比べて、トラン を軽く、小さくできるという特徴がある。

(4)パルスDC式
 正放電針と負放電針に、それぞれ正負の高 圧を交互に印加することで、各放電針から 負のイオンを交互に発生させる。一般的なD C式よりも、イオンバランスの経時的な偏り 改善されていることが特徴である(例えば、 許文献1参照)。

(5)パルスAC式
 1つの放電針に矩形波の高電圧を印加するよ うにしたものである。一般的なAC式よりもイ ン発生量を増加させることができるととも 、発振周波数を可変とすることができる点 特徴である(例えば、特許文献2参照)。

 また、上記のような従来の除電装置にお てイオンバランスを調整する方法としては 放電針に印加する高電圧を可変させる方法 、イオンバランス調整用の電極への印加電 を可変させる方法がある。

 また、上記のような従来の除電装置に用い イオンバランス調整電極としては、放電針 の距離を可変させることで、イオンバラン を調整するものがある(例えば、特許文献3 照)。

日本国特開2002-43092号公報

日本国特開2000-58290号公報

日本国特開平5-114496号公報

 しかしながら、上述した従来の各除電方 には、それぞれ以下のような課題がある。

(1)AC式
 高電圧を発生させるトランスが重く、大き なる。この種の除電装置は、卓上、或いは り下げて使用されることが多く、小型軽量 除電装置とすることが望ましい。しかし、A C式では装置を小型軽量にすることが難しい

 また、正負のイオンを交互に発生させる め、除電対象物を正負交互に帯電させるこ になり、時間的に見ると、イオンバランス 振幅が生じる。このため、イオン照射後の 留電位を0ボルト付近に保つことが難しい。

 さらに、DC式に比べて正負イオンの発生 が少ないため、減衰時間特性の点でDC式に劣 る。ここで、減衰時間特性とは、イオン照射 後に除電対象物の電位が許容レベルとなるま での時間をいう。したがって、帯電した除電 対象物の電位を許容レベルに短時間で下げる ことができれば、減衰時間特性が優れている 。

 同様に、DC式に比べて正負イオンの発生 が少ないため、除電範囲の点でもDC式に劣る 。ここで、除電範囲とは、イオン照射により 除電対象物の電位を許容レベルまで下げるこ とができる空間的な範囲をいう。

(2)DC式
 連続運転した場合に、正負それぞれの放電 の汚れ付着や腐食、磨耗の度合いに差が生 るため、イオンバランスの経時的な偏りが じる。

 また、放電針の位置に応じて正イオン又 負イオンの影響を受けやすい場所が生じる このため、このような場所に配置された除 対象物を正又は負に帯電させてしまうので イオンバランスの空間的な偏りが生じる。

(3)AC高周波式
 正負のイオンの発生間隔が短いため、放出 れた正負のイオンが除電対象物に達するま に再結合しやすく、イオンを遠くまで飛ば ことが難しい。また、イオンの到達量が少 くなるため、減衰時間特性も悪くなる。

(4)パルスDC式
 DC式の場合と同様に、連続運転した場合に 、正負それぞれの放電針の汚れ付着や腐食 磨耗の度合いに差が生じるため、イオンバ ンスの経時的な偏りが生じる。

 また、汚れが付着しやすい正放電針の影 を受けやすい場所や、汚れが付着しにくい 放電針の影響を受けやすい場所ではイオン ランスの空間的な偏りが生じる。このため 除電対象物を正又は負に帯電させてしまう

 さらに、正負のイオンを交互に発生させ ため、AC式と同様に除電対象物を正負交互 帯電させることになり、時間的に見ると、 オンバランスに振幅が生じる。

(5)パルスAC式
 正負のイオンを交互に発生させるため、除 対象物を正負交互に帯電させることになる また、AC式よりもイオン発生量が多いため 時間的に見ると、イオンバランスに振幅が じる。

 また、上述した従来のイオンバランス調 方法には、つぎのような課題がある。すな ち、放電針に印加する高電圧を可変させる 法の場合は、出力高電圧を可変させること 難しい除電方式には適用できない。

 また、調整用電極の印加電圧を可変させ 方法の場合は、調整用電極のために新たな 源が別に必要となり、コストが高くなり、 形寸法も大きくなってしまう。

 また、上述した特許文献3に記載されたイ オンバランス調整電極は、機械的に駆動させ る部分があるため、信頼性に欠け、形状も複 雑になる等の課題がある。

 以上説明したように、従来の除電装置で 、大きさや重量、減衰時間特性、イオンバ ンス特性のいずれかの課題がある。これら 課題をすべて解決した除電装置は実現され いないのが現状である。

 本発明の目的は、上記課題を解決するた のものであり、小型、軽量で、減衰時間特 やイオンバランス特性に優れた除電装置を 供することにある。

 また、本発明の別の目的は、放電針に印 する高電圧を可変させず、調整用電極のた の新たな電源も不要で、イオンバランスを 気的に調整することのできるイオンバラン 調整回路を提供することにある。

 また、本発明のさらに別の目的は、信頼 が高く、形状が簡単であることに加えて、 電装置のイオン発生を阻害せずにイオンバ ンスを調整することができ、安全性も確保 ることができるイオンバランス調整電極を 供することにある。

 本発明の除電装置は、印加される直流高 圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成 る2n個(nは自然数)の放電針がn個ずつ2組のグ ループに分けて構成された放電電極と、放電 電極の各放電針の両グループに逆極性の直流 高電圧を一定期間毎に極性を反転させて印加 する高電圧発生回路と、イオンが送出される 前方空間を適宜の形状で遮る接地されたガー ド電極とを備えている。

 本発明のイオンバランス調整回路は、印 される直流高電圧の極性に応じて正又は負 イオンを生成する放電電極と生成したイオ が送出される前方空間に配置された対向電 [又は、接地されたガード電極]とを備えた 電装置に用いられ、対向電極の一部[又は、( ガード電極を備える場合、)放電電極とガー 電極との間に配置されたイオンバランス調 電極]の電位を大地と異なる電位に調整可能 構成されている。

 本発明のイオンバランス調整電極は、印 される直流高電圧の極性に応じて正又は負 イオンを生成する放電電極と生成したイオ が送出される前方空間を適宜の形状で遮る 地されたガード電極とを備えた除電装置に いられ、非接地の電極部材が、イオンの送 方向正面からみてガード電極に実質的に隠 る位置に設置されている。

 なお、本発明における「非接地」の語は 抵抗等の負荷を挟んで接地し、接地電位と 異なる電位にした構成も含む。

本発明による除電装置の一実施形態を す全体構成図である。 放電電極の構成を示す説明図である。 放電電極に対するガード電極の理想状 を示す概略側面図である。 放電電極に対するガード電極の設置状 を示す概略側面図である。 イオンバランス調整電極を挿入した状 を示す概略側面図である。 ガード電極の一例を示す(a)平面図、(b) 面図、(c)側面図である。 イオンバランス調整電極の一例を示す( a)平面図、(b)正面図、(c)側面図である。 図6のガード電極に図7のイオンバラン 調整電極を組み合わせた状態の(a)平面図、(b )正面図、(c)背面図である。 高電圧発生回路の構成を示すブロック である。 極性反転回路の構成を、イオンバラン ス調整回路及び高圧異常検出回路とともに示 す回路図である。 イオンバランス調整回路の他の実施形 態を、極性反転回路とともに示す回路図であ る。 イオンバランス調整回路のさらに他の 実施形態を、極性反転回路とともに示す回路 図である。 高圧異常検出回路による検出出力を示 すグラフである。

 この発明の実施の形態を、図面を参照し 説明する。

 図1に示されるように、この除電装置1は 高電圧発生回路10、放電電極20、送風機30、 トリーマコロナパルス検知電極40、ストリー マコロナパルス信号検知装置50、ガード電極6 0、及び、イオンバランス調整電極5を備えて る。また、部材80は除電対象物である。

 高電圧発生回路10は、放電電極20に対して 、一定期間毎に交互に極性の異なる直流高電 圧を同時に印加する回路である。高電圧発生 回路10の構成については後述する。

 放電電極20は、第1の放電電極21と、第2の 電電極22とで構成される。また、放電電極20 は、印加される直流高電圧の極性に応じて正 又は負のイオンを生成する2n個(nは自然数)の 電針を備えている。放電電極20は、2n個の放 電針が、所定の空間に、n個ずつ第1,第2のグ ープに分けて配置されて構成されている。

 すなわち、放電電極20は、図2に示される うに、実質的に平面上に描く矩形(例えば正 方形)の頂点に1個ずつ配置された少なくとも4 個の放電針21a,21b,22a,22bで構成される。1本の 角線上に向き合って配置された2個の放電針2 1a,21bが、一方のグループである第1の放電電 21を構成する。別の1本の対角線上に向き合 て配置された2個の放電針22a,22bが、他方のグ ループである第2の放電電極22を構成する。

 各放電針21a~22bは、正極性の直流高電圧が 印加されたときには正イオンを出力し、負極 性の直流高電圧が印加されたときには負イオ ンを出力する。高電圧発生回路10から供給さ た直流高電圧が放電針21a~22bに印加されると 、放電針21a~22bとガード電極60との間でコロナ 放電が発生して、正イオン及び負イオンが出 力される。この放電電極21,22には、高電圧発 回路10から一定期間毎に交互に極性の異な 直流高電圧が供給される。

 各放電針21a~22bは、図2に示されるように 先端が中心方向に向くように4箇所に配置さ ている。このうち、先端が対向する放電針 士が同極性のイオンを出力する電極対(グル ープ)となる。すなわち、放電針21a,21bが第1グ ループとなり、放電針22a,22bが第2グループと る。そして、一方のグループが正イオンを 力する間、他方のグループが負イオンを出 する。また、一方のグループが負イオンを 力する間、他方のグループが正イオンを出 する。

 例えば、図2(a)に示される期間Aでは、第1 ループの放電針21a,21bが正イオンを出力し、 第2グループの放電針22a,22bが負イオンを出力 る。また、図2(b)に示される次の期間Bでは 第1グループの放電針21a,21bが負イオンを出力 し、第2グループの放電針22a,22bが正イオンを 力する。以下同様にして、各グループは一 期間毎に上記期間Aの出力と期間Bの出力と 交互に繰り返す。

 図2(a),(b)に示されるように、対向する放 針に常に同極性の電圧を印加することで、 オンバランス特性を向上させることができ 。しかし、対向する放電針に常に異極性の 圧を印加するようにしてもよい。また、放 針の数は、4個に限らず、2n個(nは自然数)で ればよい。

 また、放電電極20の各放電針21a,21b,22a,22b 、図1に示されるように、送風機30の送風方 (図で左から右方向)に対してほぼ直角に配置 されている。第1グループの放電針21a(21b)と第 2グループの放電針22b(22a)との異極性放電針の 極間距離Kは、空間的なイオンバランスの性 及び使用時の装置本体と除電対象物80との距 離Lに基づいて決定される。一例として、L=150 mm~600mmの範囲では、K=40mm~120mm程度が好適な範 となる。

 送風機30は、放電電極20の風上側に配置さ れ、図示されないファンをモータで回転させ て送風する。放電電極20から出力された正イ ン及び負イオンは、送風を受けて除電対象 80に向けて搬送される。

 ストリーマコロナパルス検知電極40は、 風機30と放電電極20との間に配置されている ストリーマコロナパルス検知電極40は、放 電極20のコロナ放電による放電電流を検知し て、検知した放電電流に応じたパルス信号( 知信号)を出力する。

 ストリーマコロナパルス信号検知装置50 、ストリーマコロナパルス検知電極40から出 力されたパルス信号に基づいて、コロナ放電 の放電状態が正常であるか否かを判断する。 すなわち、ストリーマコロナパルス放電が発 生している場合には、コロナ放電による放電 電流が短時間で大きく変化する(極めて急峻 変化する)ので、検知した放電電流に応じた ルス信号が所定のレベルを超えている場合 は、コロナ放電の異常と判定できる。

 一般に、コロナ放電の異常は放電針への れ付着により発生頻度が増加することが知 れている。このため、コロナ放電の異常を 知する装置を備えることで放電針の清掃時 を正確に知ることができるので、メンテナ スを確実に行うことができる。

 ガード電極60は、高電圧が印加されてい 放電針に作業者の指などが触れないように る。ガード電極60は、放電電極20と除電対象 80との間に配置される。ガード電極60は、接 地電位(大地)に接続されており、各放電針21a, 21b,22a,22bの対向電極としても機能する。ガー 電極60は、誘導による除電対象物80の電圧変 動を少なくするために金属等の導体で形成さ れることが望ましい。

 また、ガード電極60の構造は、リング状 金属電極を同心円に配置したものなどが用 られる。しかし、ガード電極60の構造は、こ の例に限られない。作業者の指などが入らな いだけの間隔で、且つ、イオンの通過が容易 な間隔が確保されていればよい。

 さらに、ガード電極60は、放電針との間 距離M(M<極間距離K)となるように配置する とが望ましい。放電電極20でコロナ放電が始 まると、各放電針21a,21b,22a,22b間の電位差より もガード電極-放電針間の電位差の方が大き ので、発生した正負イオンはガード電極60に 向かって飛ぶ。このとき、ガード電極60があ と正負イオンが捕らえられるため、減衰時 特性は若干低下する。しかし、ガード電極6 0を設けることで、イオンバランスの振幅を 幅に軽減できる。

 イオンバランス調整電極5は、放電電極20 ガード電極60との間に配置される。ここで これら三者の関係を説明する。イオンバラ ス調整電極5は、除電対象物80の除電のため 放出されるイオンのイオンバランス(例えば プラス優位やマイナス優位)を調整する。イ オンバランス調整電極5の機能については、 オンバランス調整回路6と共に追って詳しく 明する。まず、イオンバランス調整電極5の 形状や設置状態について説明する。

 イオンバランス調整電極5の形状は、ガー ド電極60の構造や形状に応じて決定される。 オンバランス調整電極5は、イオン送出方向 正面(図1中右方)からみてガード電極60に実質 に隠れるような形状のものとされ、かつ、 質的に隠れる位置に設置される。

 上述したように、放電電極20は、印加さ る直流高電圧の極性に応じて正又は負のイ ンを生成する。また、接地されたガード電 60は、生成したイオンが送出される前方空間 を適宜の形状で遮る。放電電極20から前方空 に送出されるイオンの発生量が多くなって 電作用がより一層働くので、図3に示される ように、放電電極20の前方空間(図では右方空 間)にはガード電極60が無い方が理想である。

 しかし、放電電極20の前方空間が完全に 放されていると、利用者(作業者)の指が放電 電極20に触れるなどの事故が発生するおそれ ある。このため、実際には、図4に示される ように、放電電極20の前方空間を適宜の形状 遮るガード電極60を配置する必要がある。

 この場合、放電電極20により生成され、 の前方空間へ送出される(図で右方向へ飛ん 行く)イオンの一部がガード電極60に捕集さ てしまうため、ガード電極60を越えて送出 れる(図でガード電極60より右方まで飛んで く)イオンの発生量が、図3に比べて減る。

 そこで、イオンバランス調整電極5には、 図5に示されるように、ガード電極60の線材よ り太くない(より細い又は同程度の太さの)線 が用いられる。また、放電電極20とガード 極60との間にイオンバランス調整電極5を配 する場合、イオンバランス調整電極5は、イ ンの送出方向正面からみて(図でガード電極 60の右側から左方をみて)ガード電極60に実質 に隠れる位置に設置される。

 このようにイオンバランス調整電極5を設 置することで、放電電極20からその前方空間 送出される(図で右方向へ飛んで行く)イオ の捕集量は、ガード電極60だけの場合とほと んど変わらない。言い換えれば、イオンバラ ンス調整電極5を設置しても捕集イオン量は とんど増えない。そのため、ガード電極60を 越えて送出される(図でガード電極より右方 で飛んで行く)イオン量を低減させることな 、安全性も確保することができる。

 上述したように、イオンバランス調整電 5は、放電電極20からガード電極60に至る放 領域内に設置される。図5に示されるように 放電電極20、イオンバランス調整電極5、ガ ド電極60が順に並んで配置される。

 例えば、ガード電極60が、図6に示される うな形状のものである場合、イオンバラン 調整電極5は、図7に示されるような形状に 成できる。すなわち、イオンバランス調整 極5は、電極部材(線材)5a,5bを二回直角に屈曲 した簡単な形状を有している。このようなイ オンバランス調整電極5は、図8(b)、(c)に示さ るように、イオンの送出方向正面からみて ガード電極60に実質的に隠れる位置に設置 れる。

 このようなイオンバランス調整電極5は、 機械的に駆動させる部分がないため、信頼性 が高い。また、形状はコ字状に限定しないが 、いずれにしろきわめて簡単な形状でよい。 さらに、除電装置1のイオン発生を阻害せず かつ、安全性も確保することができる。

 しかし、イオンバランス調整電極5の設置 位置は、上記のように、イオンの送出方向正 面からみて、ガード電極60に実質的に隠れる 置が好ましいが、これに限定されない。す わち、放電電極20からガード電極60に至る放 電領域内に設置されればよい。

 次に、高電圧発生回路10の構成について 明する。図9は、高電圧発生回路の構成を示 ブロック図である。

 高電圧発生回路10は、放電電極20の各放電 針(第1グループの放電針21a,21bおよび第2グル プの放電針22a,22b)に、両グループどうし互い に逆極性の直流高電圧を同時に、かつ、一定 期間毎に極性を反転させて印加する。

 図9に示されるように、高電圧発生回路10 、DC電源回路11、出力制御回路12、変圧回路1 3および極性反転回路14を備えている。

 DC電源回路11は、図示されない交流電源(AC 100V)に接続されており、交流電圧を直流電圧( DC12V)に変換して出力する。

 出力制御回路12は、DC電源回路11から出力 れた直流電圧を可聴周波数を上回る高周波 圧(20kHz~)に変換する。そして、出力制御回 12は、変換した高周波電圧を2系統の出力ラ ンに一定期間毎に交互に切り換えて出力す 。

 この2系統の出力の交互切換周波数は、10~ 100Hzの範囲である。例えば、出力の交互切換 波数を50Hzとすると一周期は0.02sとなるため その半周期である0.01sが上記の一定期間と る。

 このように、出力制御回路12を用いた高 波電圧の2系統出力ラインへの交互出力時の 互切換周波数を10~100Hzの範囲とすることで 各グループの放電針(第1グループの放電針21a ,21bおよび第2グループの放電針22a,22b)から出 される正負イオンの極性も、この交互切換 波数で規定される一定期間毎に反転する。

 これにより、正負イオンの発生間隔を長 とることができ、AC高周波式除電装置に比 て、放出された正負イオンが除電対象物に するまでに再結合しにくくなり、イオンを くまで飛ばすことができる。

 変圧回路13は、可聴周波数を上回る(20kHz~) 発振周波数に対応した高周波巻線トランス又 は圧電トランスで構成される。変圧回路13は 出力制御回路12から出力された高周波電圧 昇圧し、高周波高電圧として出力する。

 変圧回路13は、トランスL1(第1の変圧回路) ,L2(第2の変圧回路)で構成される。このトラン スL1,L2からは、高周波高電圧が一定期間毎に 互に出力される。変圧回路13の出力側は極 反転回路14と2系統の出力ラインで接続され トランスL1,L2から出力された高周波高電圧は 、各出力ラインから極性反転回路14に交互に 力される。

 変圧回路13が可聴周波数を上回る(20kHz~)発 振周波数に対応した高周波巻線トランス又は 圧電トランスで構成されているので、AC式除 装置に比べて装置を小型軽量に構成できる

 極性反転回路14は、変圧回路13から一定期 間毎に交互に入力された高周波高電圧を、同 一期間に互いに極性の異なる矩形波の2つの 流高電圧に変換する。そして、極性反転回 14は、変換した2つの直流高電圧の極性を一 期間毎に反転させて、放電電極20の両グルー プ(第1,第2の放電電極21,22)に出力する。

 すなわち、正極性の直流高電圧が第1の放 電電極21(第1グループの放電針21a,21b)に出力さ れるときは、負極性の直流高電圧が第2の放 電極22(第2グループの放電針22a,22b)に同時に 力される。また、負極性の直流高電圧が第1 放電電極21(第1グループの放電針21a,21b)に出 されるときは、正極性の直流高電圧が第2の 放電電極22(第2グループの放電針22a,22b)に同時 に出力される。

 第1の放電電極21(第1グループの放電針21a,2 1b)および第2の放電電極22(第2グループの放電 22a,22b)に対して、互いに極性の異なる矩形 の2つの直流高電圧を印加することで、AC式 電装置に比べて正負イオンの発生量を多く ることができる。このため、帯電した除電 象物の電位を許容レベルに短時間で下げる とができ、減衰時間特性を向上させること できる。また、正負イオンの発生量が少な AC式除電装置に比べて除電範囲を広げること が可能となる。

 また、図10には、イオンバランス調整回 の一実施形態が示されている。イオンバラ ス調整回路6は、対向電極(ガード電極60、及 、イオンバランス調整電極5)の一部(イオン ランス調整電極5)の電位を、大地と異なる 位に調整する。

 イオンバランス調整回路6は、可変抵抗VR よび抵抗Rと、ダイオードDとが並列接続さ た回路である。イオンバランス調整回路6は イオンバランス調整電極5を用いたイオンバ ランス調整を目標に向けて制御する。

 また、イオンバランス調整回路6は、イオ ンバランス調整電極5の電位を、大地と異な 電位に調整する。すなわち、イオンバラン 調整回路6は、高電圧発生回路10の高圧接地 子HGと、ガード電極60の接地との間に挿入さ ている。そして、イオンバランス調整回路6 の高圧接地端子側に、イオンバランス調整電 極5が接続されている。なお、高圧接地端子HG とガード電極60の接地との間には、後述する 圧異常検出回路7も挿入されており、イオン バランス調整回路6は、高圧異常検出回路7の 電位側に位置する。

 イオンバランス調整回路6は、可変抵抗VR よび抵抗Rと、ダイオードDとが並列接続さ た回路である。ダイオードDは、アノードが ード電極60の接地側(高圧異常検出回路7側) カソードが高電圧発生回路10の高圧接地端子 側にそれぞれ接続されている。

 この場合、可変抵抗VRを調整してVR+Rの抵 値を大きくすると、イオンバランス調整電 5の電位が上がる。すなわち、ガード電極60 接地電位に対して、イオンバランス調整電 5のプラス電位がさらに上昇する。これによ り、負イオンを吸引し消失させる傾向が強く なる。

 反対に、可変抵抗VRを調整してVR+Rの抵抗 を小さくすると、イオンバランス調整電極5 の電位が下がる。すなわち、ガード電極60の 地電位に対して、イオンバランス調整電極5 のプラス電位が下降する。これにより、負イ オンを吸引し消失させる傾向が弱くなる。

 そこで、可変抵抗VRを最小にした状態で オンバランスがマイナスとなるように、回 定数等を設計しておくことで、VR+Rの抵抗値 小さくされるとイオンバランスはマイナス 位となり、VR+Rの抵抗値が大きくされるとイ オンバランスはプラス優位となる。

 これにより、イオンバランス調整回路6は 、イオンバランス調整電極5を用いたイオン ランスの調整を目標に向けて制御できる。 なわち、可変抵抗VRを調整することで、イオ ンバランスをプラスにもマイナスにも任意に 調整できる。もちろん、イオンバランスをゼ ロにする調整することも可能である。

 図11には、イオンバランス調整回路の他 実施形態が示されている。本実施形態のイ ンバランス調整回路6Aでは、ダイオードDの ノードが高電圧発生回路10の高圧接地端子側 に接続され、カソードがガード電極60の接地 (高圧異常検出回路7側)に接続されている。 の点以外は、図10に示されたイオンバラン 調整回路6と同様である。

 イオンバランス調整回路6Aの場合、図10に 示されたイオンバランス調整回路6の場合と 対に、可変抵抗VRを調整してVR+Rの抵抗値が きくされると、イオンバランスはマイナス 位となり、VR+Rの抵抗値が小さくされると、 オンバランスはプラス優位となる。

 これにより、イオンバランス調整回路6A また、イオンバランス調整電極5を用いたイ ンバランスの調整を目標に向けて制御でき 。すなわち、可変抵抗VRを調整することで イオンバランスをプラスにもマイナスにも 意に調整できる。もちろん、イオンバラン をゼロに調整することも可能である。

 図12には、イオンバランス調整回路のさ に他の実施形態が示されている。本実施形 のイオンバランス調整回路6Bは、可変抵抗VR ダイオードDとが並列接続された回路である 。抵抗Rが設けられていない点以外は、図10に 示されたイオンバランス調整回路6と同様で る。

 図10に示されたイオンバランス調整回路6 は、可変抵抗VRを保護する抵抗Rが可変抵抗V Rに直列に接続されていた。このため、耐圧 能が比較的小さい、低コストで小型の可変 抗VRを用いることができる。

 これに対し、図12に示されたイオンバラ ス調整回路6Bでは、可変抵抗VRを保護する抵 Rが設けられていない。このため、耐圧性能 が充分大きい可変抵抗VRを用いる必要がある しかし、保護抵抗Rによるバイアスを考慮せ ずにイオンバランスを調整できるという利点 がある。

 さらに、図示は省略してあるが、図11に されたイオンバランス調整回路6Aも、可変抵 抗VRを保護する抵抗Rを設けないで構成するこ とが可能である。

 次に、極性反転回路14の構成と動作につ て、図10を参照して説明する。図10は、極性 転回路の構成を変圧回路とともに示す回路 である。

 図10に示されるように、極性反転回路14は 、ダイオードD1~D8、コンデンサC1~C8、抵抗R1~R4 からなる整流回路で構成されている。この整 流回路には、トランスL1,L2から、入力IA・入 IBで示されるような高周波高電圧が所定時間 毎に交互に供給される。整流回路では、入力 された高周波高電圧を整流して直流高電圧に 変換し、出力OA・出力OBとして出力端から出 する。

 トランスL1から入力IAが供給されると(こ 期間、入力IBはゼロ)、この入力IAは整流回路 で整流され、出力OAとして正極性の電圧が出 され、出力OBとして負極性の電圧が出力さ る。また次の期間において、トランスL2から 入力IBが供給されると(この期間、入力IAはゼ )、この入力IBは整流回路で整流され、出力O Aとして負極性の電圧が出力され、出力OBとし て正極性の電圧が出力される。

 このように、トランスL1,L2から一定期間 に交互に入力IA,IBの高周波高電圧が供給され ると、極性反転回路14は、入力された高周波 電圧を整流・平滑化し、各周期毎に極性が 転する出力OA,OBとして出力する。そして、 力OAは第1の放電電極21の放電針21a,21bに供給 れ、出力OBは第2の放電電極22の放電針22a,22b に供給される。この結果、各放電電極21,22か ら出力されるイオンの極性は一定期間毎に反 転する。

 すなわち、図2(a)に示されるように、期間 Aでは、第1の放電電極21の放電針21a,21bからは イオンが出力され、同時に、第2の放電電極 22の放電針22a,22bからは負イオンが出力される 。また、図2(b)に示されるように、次の期間B は、第1の放電電極21の放電針21a,21bからは負 イオンが出力され、同時に、第2の放電電極22 の放電針22a,22bからは正イオンが出力される そして、各放電電極21,22から出力されるイオ ンの極性は一定期間毎に反転される。この結 果、各放電電極21,22の放電針からは一定期間 に異なる極性のイオンが出力されることに る。

 極性反転回路14の構成と動作について、 らに詳細に説明する。

 図10に示されるように、極性反転回路14は 、トランスL1(第1の変圧回路)の2次巻線の非接 地側端子と第1の放電電極21との間に、第1の ンデンサC1と順方向接続の第1のダイオードD1 との直列回路からなる第1のプラス放電用回 が接続されている。

 また、トランスL1(第1の変圧回路)の2次巻 の非接地側端子と第2の放電電極22との間に 第2のコンデンサC2と逆方向接続の第2のダイ オードD2との直列回路からなる第1のマイナス 放電用回路が接続されている。

 また、トランスL2(第2の変圧回路)の2次巻 の非接地側端子と第2の放電電極22との間に 第3のコンデンサC3と順方向接続の第3のダイ オードD3との直列回路からなる第2のプラス放 電用回路が接続されている。

 また、トランスL2(第2の変圧回路)の2次巻 の非接地側端子と第1の放電電極21との間に 第4のコンデンサC4と逆方向接続の第4のダイ オードD4との直列回路からなる第2のマイナス 放電用回路が接続されている。

 極性反転回路14はまた、第4のダイオードD 4のカソードとトランスL2(第2の変圧回路)の2 巻線の接地側端子との間に、順方向接続の 5のダイオードD5と第5のコンデンサC5との直 回路からなる第1のプラス充電回路が接続さ ている。第5のコンデンサC5には、第1の抵抗 R1が並列接続されている。

 また、第3のダイオードD3のアノードとト ンスL2(第2の変圧回路)の2次巻線の接地側端 との間に、逆方向接続の第6のダイオードD6 第6のコンデンサC6との直列回路からなる第1 のマイナス充電回路が接続されている。第6 コンデンサC6には、第2の抵抗R2が並列接続さ れている。

 そして、トランスL1(第1の変圧回路)の通 中に、第1のプラス充電回路は、第1のプラス 放電用回路の出力電圧にプラスバイアスを付 与し、第1のマイナス充電回路は、第1のマイ ス放電用回路の出力電圧にマイナスバイア を付与する。

 トランスL1(第1の変圧回路)の通電中に、 1のプラス充電回路がこのプラスバイアスを 与することで、第1の放電電極21の放電針21a, 21bには、第1のプラス放電用回路の出力OA、す なわち正極性の電圧が出力される。

 また、トランスL1(第1の変圧回路)の通電 に、第1のマイナス充電回路がこのマイナス イアスを付与することで、第2の放電電極22 放電針22a,22bには、第1のマイナス放電用回 の出力OB、すなわち負極性の電圧が出力され る。

 極性反転回路14はまた、第2のダイオードD 2のカソードとトランスL1(第1の変圧回路)の2 巻線の接地側端子との間に、順方向接続の 7のダイオードD7と第7のコンデンサC7との直 回路からなる第2のプラス充電回路が接続さ ている。第7のコンデンサC7には、第3の抵抗 R3が並列接続されている。

 また、第1のダイオードD1のアノードとト ンスL1(第1の変圧回路)の2次巻線の接地側端 との間に、逆方向接続の第8のダイオードD8 第8のコンデンサC8との直列回路からなる第2 のマイナス充電回路が接続されている。第8 コンデンサC8には、第4の抵抗R4が並列接続さ れている。

 そして、トランスL2(第2の変圧回路)の通 中に、第2のプラス充電回路は、第2のプラス 放電用回路の出力電圧にプラスバイアスを付 与し、第2のマイナス充電回路は、第2のマイ ス放電用回路の出力電圧にマイナスバイア を付与する。

 トランスL2(第2の変圧回路)の通電中に、 2のプラス充電回路がこのプラスバイアスを 与することで、第2の放電電極22の放電針22a, 22bには、第2のプラス放電用回路の出力OB、す なわち正極性の電圧が出力される。

 また、トランスL2(第2の変圧回路)の通電 に、第2のマイナス充電回路がこのマイナス イアスを付与することで、第1の放電電極21 放電針21a,21bには、第2のマイナス放電用回 の出力OA、すなわち負極性の電圧が出力され る。

 また、この除電装置1は、図10に示される うに、高電圧発生回路10の高圧接地端子と 向電極(ガード電極)60の接地との間に挿入さ た高圧異常検出回路7を備えている。なお、 高圧接地端子とガード電極60の接地との間に 、上述したイオンバランス調整回路6(6A,6B) 挿入されており、高圧異常検出回路7は、イ ンバランス調整回路6(6A,6B)の低電位側に位 する。

 高圧異常検出回路7は、放電電極21,22の出 異常を検出することで、例えば、負荷短絡 、放電電極21,22と対向電極60との間の絶縁異 常などに起因する回路の高圧出力異常を検出 する。

 高圧異常検出回路7は、高電圧発生回路10 高圧接地端子側(イオンバランス調整回路6 )と対向電極(ガード電極)60の接地側との間に 接続された異常検出用コンデンサC0を備えて り、異常検出用コンデンサC0の高圧接地端 側の接続点で高圧異常を検出する。異常検 用コンデンサC0には抵抗R0が並列接続されて る。

 高圧異常検出回路7は、トランスL1(第1の 圧回路)の通電中に、第1の放電電極21の出力 常(第1の放電電極21と対向電極60との間の絶 異常など)が発生したとき、第1のコンデン C1と、互いに並列な第4,第5のコンデンサC4,C5 の直列回路の電圧を、第1のコンデンサC1と 三者が互いに並列な第4,第5のコンデンサC4,C 5および異常検出用コンデンサC0との直列回路 に分圧することで、出力異常を検出する(図13 (b)プラス出力期間参照)。

 また、高圧異常検出回路7は、トランスL2( 第2の変圧回路)の通電中に、第1の放電電極21 出力異常(第1の放電電極21と対向電極60との の絶縁異常など)が発生したとき、第4のコ デンサC4と、互いに並列な第1,第8のコンデン サC1,C8との直列回路の電圧を、第4のコンデン サC4と、三者が互いに並列な第1,第8のコンデ サC1,C8および異常検出用コンデンサC0との直 列回路に分圧することで、出力異常を検出す る(図13(b)マイナス出力期間参照)。

 また、高圧異常検出回路7は、トランスL1( 第1の変圧回路)の通電中に、第2の放電電極22 出力異常(第2の放電電極22と対向電極60との の絶縁異常など)が発生したとき、第2のコ デンサC2と、互いに並列な第3,第6のコンデン サC3,C6との直列回路の電圧を、第2のコンデン サC2と、三者が互いに並列な第3,第6のコンデ サC3,C6および異常検出用コンデンサC0との直 列回路に分圧することで、出力異常を検出す る(図13(b)マイナス出力期間参照)。

 また、高圧異常検出回路7は、トランスL2( 第2の変圧回路)の通電中に、第2の放電電極22 出力異常(第2の放電電極22と対向電極60との の絶縁異常など)が発生したとき、第3のコ デンサC3と、互いに並列な第2,第7のコンデン サC2,C7との直列回路の電圧を、第3のコンデン サC3と、三者が互いに並列な第2,第7のコンデ サC2,C7および異常検出用コンデンサC0との直 列回路に分圧することで、出力異常を検出す る(図13(b)プラス出力期間参照)。

 そのため、異常検出用コンデンサC0の容 は、他のコンデンサC1~C8の容量に比べて大き く設定されることが好ましい(例えば100倍以 )。

 図13は、高圧異常検出回路7による(a)出力 常時および(b)出力異常時の検出出力を示す ラフである。高圧異常検出回路7の高電位側 の電圧が検出出力として電圧計9で検出され この検出出力に基づいて異常が検出される 図13(a)に示されるように、放電電極21,22の出 が正常なときは、高圧異常検出回路7の検出 出力は、約プラスマイナス1V(ボルト)の範囲 収まっている。

 これに対し、放電電極21,22の出力異常(放 電極21,22と対向電極60との間の絶縁異常など )が発生したときは、図13(b)に示されるように 、高圧異常検出回路7の検出出力は、約プラ 10V(ボルト)~約マイナス15V(ボルト)の範囲で大 きく振れる。

 すなわち、検出出力は、放電電極21,22の 力異常発生時には、プラス電極側で約プラ 10V(ボルト)まで上昇する一方、マイナス電極 側で約マイナス15V(ボルト)まで下降する。そ ため、例えば、プラス3V(ボルト)や、マイナ ス5V(ボルト)など、適宜のレベルに閾値を設 することで、回路の高圧異常を確実に検出 ることができる。

 以上説明したように、この除電装置1は、 可聴周波数を上回る(20kHz~)発振周波数に対応 た高周波巻線トランス又は圧電トランスに り変圧回路を構成したため、AC式除電装置 比べて装置を小型軽量にすることができる

 また、放電電極20の第1及び第2グループに 対して互いに極性の異なる矩形波の2つの直 高電圧を印加するため、AC式除電装置に比べ て正負イオンの発生量を多くすることができ 、減衰時間特性を向上させることができる。 同様の理由から、AC式除電装置に比べて除電 囲を広げることができる。

 また、除電装置1は、2つのグループに分 れた放電針から同一期間に正負のイオンを 時に発生させるとともに、各グループから 力されるイオンの極性を一定期間毎に反転 せるようにしたため、放出される正負イオ の極性が一定期間毎に反転するとともに、 オンを放出する位置も一定期間毎に切り替 ることになる。

 これにより、同一期間において正負イオ が同時に発生することになるため、帯電プ ート表面における正負のイオン量がほぼ同 となる。したがって、電位の中和が促進さ て、帯電プレート表面の残留電位を小さく ることができる。この結果、イオンバラン の振幅をゼロに近づけることができるとと に、振幅の偏りも少なくすることができる

 また、除電装置1は、放出される正負イオ ンの極性が一定期間毎に反転するとともに、 イオンを放出する位置も一定期間毎に切り替 わるため、除電対象物の位置によって正又は 負いずれか一方のイオンの影響を受けること がなく、すべての帯電プレートに正負のイオ ンをほぼ均等に照射することができる。した がって、イオンバランスの空間的な偏りを小 さくすることができる。

 また、除電装置1は、各グループの放電針 から放出される正負イオンの極性を一定期間 毎に反転させるため、連続運転した場合でも 、それぞれの放電針の汚れ付着及び腐食、磨 耗の度合いはほぼ均等となる。このため、放 電針ごとの残留電位の偏りが生じることがな く、イオンバランスの経時的な偏りを少なく することができる。

 また、除電装置1は、高周波電圧を2系統 出力ラインに交互に出力する際の交互切換 波数を10~100Hzの範囲としているため、正負イ オンの発生間隔を長くすることができる。こ のため、AC高周波式除電装置に比べて、放出 れた正負イオンが除電対象物に達するまで 再結合しにくくなり、イオンを遠くまで飛 すことができる。

 また、除電装置1は、送風機30と放電電極2 0との間に、コロナ放電によるパルス信号を 知するストリーマパルス検知手段として、 トリーマコロナパルス検知電極40とストリー マコロナパルス信号検知装置50とを設けてい ため、放電針の清掃時期を正確に知ること できるようになり、メンテナンスを確実に うことができる。

 また、除電装置1は、放電電極20と除電対 物80との間にガード電極60を設けているため 、イオンバランスの振幅を大幅に軽減するこ とができる。

 上述した極性反転回路に関して、以下に 単にまとめる。

 前記極性反転回路は、
 前記第1の変圧回路の2次巻線の非接地側端 から前記第1の放電電極に向けて接続された 第1のコンデンサおよび順方向接続の第1の イオードからなる第1のプラス放電用回路と
 前記第1の変圧回路の2次巻線の非接地側端 から前記第2の放電電極に向けて接続された 第2のコンデンサおよび逆方向接続の第2の イオードからなる第1のマイナス放電用回路 、
 前記第2の変圧回路の2次巻線の非接地側端 から前記第2の放電電極に向けて接続された 第3のコンデンサおよび順方向接続の第3の イオードからなる第2のプラス放電用回路と
 前記第2の変圧回路の2次巻線の非接地側端 から前記第1の放電電極に向けて接続された 第4のコンデンサおよび逆方向接続の第4の イオードからなる第2のマイナス放電用回路 、
を少なくとも備えている。

 さらに、前記極性反転回路は、
 前記第4のダイオードのカソードから前記第 2の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて 続された、順方向接続の第5のダイオードお よび第5のコンデンサからなる第1のプラス充 回路と、
 前記第3のダイオードのアノードから前記第 2の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて 続された、逆方向接続の第6のダイオードお よび第6のコンデンサからなる第1のマイナス 電回路と、
をさらに備え、
 前記第1の変圧回路の通電中に、前記第1の ラス充電回路は、前記第1のプラス放電用回 の出力電圧にプラスバイアスを付与し、前 第1のマイナス充電回路は、前記第1のマイ ス放電用回路の出力電圧にマイナスバイア を付与する。

 またさらに、前記極性反転回路は、前記 5,第6のコンデンサとそれぞれ並列に接続さ た第1,第2の抵抗を備えている。

 前記極性反転回路は、
 前記第2のダイオードのカソードから前記第 1の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて 続された、順方向接続の第7のダイオードお よび第7のコンデンサからなる第2のプラス充 回路と、
 前記第1のダイオードのアノードから前記第 1の変圧回路の2次巻線の接地側端子に向けて 続された、逆方向接続の第8のダイオードお よび第8のコンデンサからなる第2のマイナス 電回路と、
をさらに備え、
 前記第2の変圧回路の通電中に、前記第2の ラス充電回路は、前記第2のプラス放電用回 の出力電圧にプラスバイアスを付与し、前 第2のマイナス充電回路は、前記第2のマイ ス放電用回路の出力電圧にマイナスバイア を付与する。

 さらに、前記極性反転回路は、前記第7, 8のコンデンサとそれぞれ並列に接続された 3,第4の抵抗を備えている。

 上述した高圧異常検出回路に関して、以 に簡単にまとめる。

 前記高圧異常検出回路は、前記第1の変圧 回路の通電中に、前記第1の放電電極の出力 常が発生したとき、前記第1のコンデンサと 互いに並列な前記第4,第5のコンデンサとの 列回路の電圧を、前記第1のコンデンサと、 三者が互いに並列な前記第4,第5のコンデンサ および前記異常検出用コンデンサとの直列回 路に分圧することで、前記出力異常を検出す る。

 前記高圧異常検出回路は、前記第1の変圧 回路の通電中に、前記第2の放電電極の出力 常が発生したとき、前記第2のコンデンサと 互いに並列な前記第3,第6のコンデンサとの 列回路の電圧を、前記第2のコンデンサと、 三者が互いに並列な前記第3,第6のコンデンサ および前記異常検出用コンデンサとの直列回 路に分圧することで、前記出力異常を検出す る。

 前記高圧異常検出回路は、前記第2の変圧 回路の通電中に、前記第2の放電電極の出力 常が発生したとき、前記第3のコンデンサと 互いに並列な前記第2,第7のコンデンサとの 列回路の電圧を、前記第3のコンデンサと、 三者が互いに並列な前記第2,第7のコンデンサ および前記異常検出用コンデンサとの直列回 路に分圧することで、前記出力異常を検出す る。

 前記高圧異常検出回路は、前記第2の変圧 回路の通電中に、前記第1の放電電極の出力 常が発生したとき、前記第4のコンデンサと 互いに並列な前記第1,第8のコンデンサとの 列回路の電圧を、前記第4のコンデンサと、 三者が互いに並列な前記第1,第8のコンデンサ および前記異常検出用コンデンサとの直列回 路に分圧することで、前記出力異常を検出す る。

 なお、上述した実施形態(図10~図12)では、 イオンバランス調整回路(電極)と高圧異常検 回路とが併設された。しかし、何れか一方 みが設けられても良い。

 本発明の除電装置は、印加される直流高 圧の極性に応じて正又は負のイオンを生成 る2n個(nは自然数)の放電針がn個ずつ2組のグ ループに分けて構成された放電電極と、放電 電極の各放電針の両グループに逆極性の直流 高電圧を一定期間毎に極性を反転させて印加 する高電圧発生回路と、イオンが送出される 前方空間を適宜の形状で遮る接地されたガー ド電極とを備えて構成されているので、小型 、軽量で、減衰時間特性やイオンバランス特 性に優れている。

 ここで、除電装置が、前記放電電極と前 ガード電極との間に配置されたイオンバラ ス調整電極と、前記イオンバランス調整電 の電位を大地と異なる電位に調整可能なイ ンバランス調整回路と、をさらに備えて構 されると、イオンバランス調整回路が放電 に印加する高電圧を可変させずに、かつ、 整用電極のための新たな電源も不要でイオ バランスを電気的に調整することができる

 あるいは、ここで、除電装置が、前記放 電極の前記各放電針が生成した正又は負の オンを、装置前方へ送出する送風機と、前 イオンの送出方向正面からみて前記ガード 極に実質的に隠れる位置に設置された非接 のイオンバランス調整電極と、をさらに備 て構成されると、イオンバランス調整電極 機械的に駆動させる部分がないため信頼性 高くなり、イオンバランス調整電極の形状 簡素化でき、かつ、イオン発生を阻害せず イオンバランスを調整できる。

 あるいは、ここで、除電装置が、前記高 圧発生回路の高圧接地端子と前記対向電極 接地との間に挿入され、前記放電電極の出 異常を検出する高圧異常検出回路をさらに えて構成されると、負荷短絡や絶縁異常な の回路の高圧出力異常を検出することがで る。

 本発明のイオンバランス調整回路は、印 される直流高電圧の極性に応じて正又は負 イオンを生成する放電電極と生成したイオ が送出される前方空間に配置された対向電 [又は、接地されたガード電極]とを備えた 電装置に用いられ、対向電極の一部[又は、( ガード電極を備える場合、)放電電極とガー 電極との間に配置されたイオンバランス調 電極]の電位を大地と異なる電位に調整可能 構成されているので、イオンバランス調整 路が放電針に印加する高電圧を可変させず 、かつ、調整用電極のための新たな電源も 要でイオンバランスを電気的に調整するこ ができる。

 本発明のイオンバランス調整電極は、印 される直流高電圧の極性に応じて正又は負 イオンを生成する放電電極と生成したイオ が送出される前方空間を適宜の形状で遮る 地されたガード電極とを備えた除電装置に いられ、非接地の電極部材が、イオンの送 方向正面からみてガード電極に実質的に隠 る位置に設置されているので、イオンバラ ス調整電極を機械的に駆動させる部分がな ため信頼性が高くなり、イオンバランス調 電極の形状を簡素化でき、かつ、除電装置 イオン発生を阻害せずにイオンバランスを 整でき、安全性も確保できる。

 本発明の除電装置は、半導体製造ライン その他部品の生産工程などで、部品帯電に る静電気障害や静電吸着を防ぐために利用 きる。また、本発明のイオンバランス調整 路やイオンバランス調整電極は、除電装置 適用することができる。