以下、本発明のオキシムエステル化合物� ��び該化合物を有効成分とする光重合開始剤� ��ついて詳細に説明する。

 上記一般式(I)中、R ¹¹ 、R ¹² 、R ¹³ 、R ²¹ 、R ²² 、R ²³ 、R ³¹ 、R ³² 、R ³³ 及びR ³⁴ で表されるアルキル基としては、例えば、メ チル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブ チル、イソブチル、s-ブチル、t-ブチル、ア� �ル、イソアミル、t-アミル、ヘキシル、ヘプ チル、オクチル、イソオクチル、2-エチルヘ� ��シル、t-オクチル、ノニル、イソノニル、� �シル、イソデシル、ウンデシル、ビニル、� �リル、ブテニル、エチニル、プロピニル、� �トキシエチル、エトキシエチル、プロピロ� �シエチル、メトキシエトキシエチル、エト� �シエトキシエチル、プロピロキシエトキシ� �チル、メトキシプロピル、2-(ベンゾオキサ� �ール-2’-イル)エテニル等が挙げられ、中で� ��炭素原子数1~8のアルキル基が好ましい。

 R ¹¹ 、R ¹² 、R ¹³ 、R ²¹ 、R ²² 、R ²³ 、R ³¹ 、R ³² 、R ³³ 及びR ³⁴ で表されるアリール基としては、例えば、フ ェニル、トリル、キシリル、エチルフェニル 、クロロフェニル、ナフチル、アンスリル、 フェナンスレニル等が挙げられ、中でも炭素 原子数6~12のアリール基が好ましい。
 R ¹¹ 、R ¹² 、R ¹³ 、R ²¹ 、R ²² 、R ²³ 、R ³¹ 、R ³² 、R ³³ 及びR ³⁴ で表されるアリールアルキル基としては、例 えば、ベンジル、クロロベンジル、α-メチル ベンジル、α、α-ジメチルベンジル、フェニ� ��エチル、フェニルエテニル等の炭素原子数7 ~13のアリールアルキル基が好ましく挙げられ る。
 R ¹¹ 、R ¹² 、R ¹³ 、R ²¹ 、R ²² 、R ²³ 、R ³¹ 、R ³² 、R ³³ 及びR ³⁴ で表される複素環基としては、例えば、ピリ ジル、ピリミジル、フリル、チエニル、テト ラヒドロフラニル、ジオキソラニル等の5~7員 複素環が好ましく挙げられる。

 また、R ¹² とR ¹³ が一緒になって形成しうる環、R ²² とR ²³ が一緒になって形成しうる環、R ³ とR ⁴ が一緒になって形成しうる環、R ³ が-X-を介して隣接するベンゼン環の炭素原子 の1つと結合して形成しうる環構造、及びR ³¹ 、R ³² 、R ³³ が隣接するベンゼン環と一緒になって形成し うる環としては、例えば、シクロペンタン環 、シクロヘキサン環、シクロペンテン環、ベ ンゼン環、ピペリジン環、モルホリン環、ラ クトン環、ラクタム環等の5~7員環が好ましく 挙げられる。
 また、R ¹¹ 、R ¹² 、R ¹³ 、R ²¹ 、R ²² 、R ²³ 、R ³¹ 、R ³² 、R ³³ 及びR ³⁴ を置換してもよいハロゲン原子としては、フ ッ素、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。ま た、R ¹¹ 、R ¹² 、R ¹³ 、R ²¹ 、R ²² 、R ²³ 、R ³¹ 、R ³² 、R ³³ 及びR ³⁴ を置換してもよい複素環基としては、例えば 、ピリジル、ピリミジル、フリル、ベンゾオ キサゾール-2-イル、テトラヒドロピラニル、 ピロリジル、イミダゾリジル、ピラゾリジル 、チアゾリジル、イソチアゾリジル、オキサ ゾリジル、イソオキサゾリジル、ピペリジル 、ピペラジル、モルホリニル等の5~7員複素環 基が挙げられる。

 また、R ³ 及びR ⁴ で表されるハロゲン原子としては、フッ素、 塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。

 上記R ¹¹ 、R ¹² 、R ¹³ 、R ²¹ 、R ²² 及びR ²³ で表される置換基のアルキレン部分のメチレ ン基は、不飽和結合、エーテル結合、チオエ ーテル結合、エステル結合、チオエステル結 合、アミド結合又はウレタン結合により1~5回 中断されていてもよく、この時、中断する結 合基は1種でも2種以上でもよく、連続して中� ��しうる基の場合は2つ以上が連続して中断し てもよい。
 また、上記置換基のアルキル部分は分岐側� ��があってもよく、環状アルキルであっても� ��く、上記置換基のアルキル末端は不飽和結� ��であってもよい。

 本発明のオキシムエステル化合物の中でも� ��上記一般式(I)において、Xが硫黄原子である ものが、溶解性が優れているため好ましい。 また、上記一般式(I)において、R ¹ 及びR ² が、分岐側鎖があってもよく、環状アルキル であってもよく、ハロゲン原子、OR ²¹ 及びCOR ²¹ から選択される1種以上で置換されていても� �い炭素原子数1~20のアルキル基;ハロゲン原子 、OR ²¹ 及びCOR ²¹ から選択される1種以上で置換されていても� �い炭素原子数6~30のアリール基;又はハロゲン 原子、OR ²¹ 及びCOR ²¹ から選択される1種以上で置換されていても� �い炭素原子数7~30のアリールアルキル基であ� ��ものも、溶解性が優れているため好ましい� ��

 これらの中でも、Xが硫黄原子であるもの、 あるいは、R ¹ 及びR ² が、分岐側鎖があってもよく、環状アルキル であってもよく、ハロゲン原子で置換されて いてもよい炭素原子数1~20のアルキル基、ハ� �ゲン原子で置換されていてもよい炭素原子� �6~30のアリール基、又はハロゲン原子で置換� ��れていてもよい炭素原子数7~30のアリールア ルキル基であるものが、合成が容易で感度も 高いので好ましい。特に好ましいものとして は、R ¹ がメチル基又はウンデシル基であるもの、R ² がメチル基又はフェニル基であるものが挙げ られる。

 従って、上記一般式(I)で表される本発明� ��オキシムエステル化合物の好ましい具体例� ��しては、以下の化合物No.1~No.25の化合物が挙 げられる。ただし、本発明は以下の化合物に より何ら制限を受けるものではない。

 上記一般式(I)で表される本発明のオキシム� ��ステル化合物の合成方法は特に限定されな� ��が、例えば、Xが硫黄原子であるものは、下 記〔化24〕の反応式に従って、以下の方法に� ��り製造することができる。まず、p-クロロ� �トロベンゼン1とチオフェノール2とを水酸化 ナトリウムの存在下に反応させてスルフィド 化合物3を得、続いてスルフィド化合物3と酸� ��ロリド4とを塩化アルミニウムの存在下に反 応させてアシル化合物5を得る。次いで、ア� �ル化合物5と塩酸ヒドロキシルアミンとを反� ��させてオキシム化合物6を得る。さらに、オ キシム化合物6と酸無水物7あるいは酸クロリ� ��7’とを反応させて上記一般式(I)におけるX� �硫黄原子である本発明のオキシムエステル� �合物を得る。また、Xが酸素原子、セレン原� ��、炭素原子、N-R ⁵ 及びP-R ¹² であるものも、上記の方法に準じて製造する ことができる。

 本発明のオキシムエステル化合物は、エ� ��レン性不飽和結合を有する重合性化合物の� ��重合開始剤として有用である。

 次に、本発明の感光性組成物について説明� ��る。
 本発明の感光性組成物は、上述の本発明の� ��キシムエステル化合物を有効成分とする光� ��合開始剤及びエチレン性不飽和結合を有す� ��重合性化合物、並びに、必要に応じて、無� ��充填剤及び/又は色材、さらに溶媒等の任意 成分を含有するものである。

 上記エチレン性不飽和結合を有する重合性� ��合物としては、特に限定されず、従来、感� ��性組成物に用いられているものを用いるこ� ��ができるが、例えば、エチレン、プロピレ� ��、ブチレン、イソブチレン、塩化ビニル、� ��化ビニリデン、フッ化ビニリデン、テトラ� ��ルオロエチレン等の不飽和脂肪族炭化水素; (メタ)アクリル酸、α―クロルアクリル酸、� �タコン酸、マレイン酸、シトラコン酸、フ� �ル酸、ハイミック酸、クロトン酸、イソク� �トン酸、ビニル酢酸、アリル酢酸、桂皮酸� �ソルビン酸、メサコン酸、トリメリット酸� �ピロメリット酸、2、2’-3、3’-ベンゾフェ� �ンテトラカルボン酸、3、3’-4、4’-ベンゾ� �ェノンテトラカルボン酸、こはく酸モノ〔2- (メタ)アクリロイロキシエチル〕、フタル酸� ��ノ〔2-(メタ)アクリロイロキシエチル〕、ω- カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)ア� ��リレート等の両末端にカルボキシ基と水酸� ��とを有するポリマーのモノ(メタ)アクリレ� �ト、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート・ マレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリ� ��ート・マレート、ジシクロペンタジエン・� ��レートあるいは1個のカルボキシル基と2個� �上の(メタ)アクリロイル基とを有する多官能 (メタ)アクリレート等の不飽和多塩基酸;(メ� �)アクリル酸-2-ヒドロキシエチル、(メタ)ア� �リル酸-2-ヒドロキシプロピル、(メタ)アクリ ル酸グリシジル、下記化合物No.26~No.29、(メタ )アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸ブチル 、(メタ)アクリル酸イソブチル、(メタ)アク� �ル酸-t-ブチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキ シル、(メタ)アクリル酸N-オクチル、(メタ)ア クリル酸イソオクチル、(メタ)アクリル酸イ� ��ノニル、(メタ)アクリル酸ステアリル、(メ� ��)アクリル酸ラウリル、(メタ)アクリル酸メ� ��キシエチル、(メタ)アクリル酸ジメチルア� �ノメチル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノ エチル、(メタ)アクリル酸アミノプロピル、( メタ)アクリル酸ジメチルアミノプロピル、(� ��タ)アクリル酸エトキシエチル、(メタ)アク� ��ル酸ポリ(エトキシ)エチル、(メタ)アクリル 酸ブトキシエトキシエチル、(メタ)アクリル� ��エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸フェノ� �シエチル、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフ リル、(メタ)アクリル酸ビニル、(メタ)アク� �ル酸アリル、(メタ)アクリル酸ベンジル、エ チレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジ� ��チレングリコールジ(メタ)アクリレート、� �リエチレングリコールジ(メタ)アクリレート 、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレ� ��ト、プロピレングリコールジ(メタ)アクリ� �ート、1,4-ブタンジオールジ(メタ)アクリレ� �ト、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレ� �ト、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリ レート、トリメチロールプロパントリ(メタ)� ��クリレート、ジペンタエリスリトールペン� ��(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト� �ルヘキサ(メタ)アクリレート、ペンタエリス リトールペンタ(メタ)アクリレート、ペンタ� ��リスリトールテトラ(メタ)アクリレート、� �ンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート 、トリシクロデカンジメチロールジ(メタ)ア� ��リレート、トリ((メタ)アクリロイルエチル) イソシアヌレート、ポリエステル(メタ)アク� ��レートオリゴマー等の不飽和一塩基酸及び� ��価アルコール又は多価フェノールのエステ� ��;(メタ)アクリル酸亜鉛、(メタ)アクリル酸� �グネシウム等の不飽和多塩基酸の金属塩;マ� ��イン酸無水物、イタコン酸無水物、シトラ� ��ン酸無水物、メチルテトラヒドロ無水フタ� ��酸、テトラヒドロ無水フタル酸、トリアル� ��ルテトラヒドロ無水フタル酸、5-(2,5-ジオキ ソテトラヒドロフリル)-3-メチル-3-シクロヘ� �セン-1,2-ジカルボン酸無水物、トリアルキル テトラヒドロ無水フタル酸-無水マレイン酸� �加物、ドデセニル無水コハク酸、無水メチ� �ハイミック酸等の不飽和多塩基酸の酸無水� �;(メタ)アクリルアミド、メチレンビス-(メタ )アクリルアミド、ジエチレントリアミント� �ス(メタ)アクリルアミド、キシリレンビス(� �タ)アクリルアミド、α-クロロアクリルアミ� ��、N-2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミ� ��等の不飽和一塩基酸及び多価アミンのアミ� ��;アクロレイン等の不飽和アルデヒド;(メタ) アクリロニトリル、α-クロロアクリロニトリ ル、シアン化ビニリデン、シアン化アリル等 の不飽和ニトリル;スチレン、4-メチルスチレ ン、4-エチルスチレン、4-メトキシスチレン� �4-ヒドロキシスチレン、4-クロロスチレン、� ��ビニルベンゼン、ビニルトルエン、ビニル� ��息香酸、ビニルフェノール、ビニルスルホ� ��酸、4-ビニルベンゼンスルホン酸、ビニル� �ンジルメチルエーテル、ビニルベンジルグ� �シジルエーテル等の不飽和芳香族化合物;メ� ��ルビニルケトン等の不飽和ケトン;ビニルア ミン、アリルアミン、N-ビニルピロリドン、� ��ニルピペリジン等の不飽和アミン化合物;ア リルアルコール、クロチルアルコール等のビ ニルアルコール;ビニルメチルエーテル、ビ� �ルエチルエーテル、N-ブチルビニルエーテル 、イソブチルビニルエーテル、アリルグリシ ジルエーテル等のビニルエーテル;マレイミ� �、N-フェニルマレイミド、N-シクロヘキシル� ��レイミド等の不飽和イミド類;インデン、1-� ��チルインデン等のインデン類;1,3-ブタジエ� �、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共� �ジエン類;ポリスチレン、ポリメチル(メタ)� �クリレート、ポリ-n-ブチル(メタ)アクリレー ト、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端 にモノ(メタ)アクリロイル基を有するマクロ� ��ノマー類;ビニルクロリド、ビニリデンクロ リド、ジビニルスクシナート、ジアリルフタ ラート、トリアリルホスファート、トリアリ ルイソシアヌラート、ビニルチオエーテル、 ビニルイミダゾール、ビニルオキサゾリン、 ビニルカルバゾール、ビニルピロリドン、ビ ニルピリジン、水酸基含有ビニルモノマー及 びポリイソシアネート化合物のビニルウレタ ン化合物、水酸基含有ビニルモノマー及びポ リエポキシ化合物のビニルエポキシ化合物等 が挙げられる。これらの中でも、両末端にカ ルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモ ノ(メタ)アクリレート、1個のカルボキシ基と 2個以上の(メタ)アクリロイル基とを有する多 官能(メタ)アクリレート、不飽和一塩基酸及� ��多価アルコール又は多価フェノールのエス� ��ルに、本発明のオキシムエステル化合物を� ��効成分とする光重合開始剤は好適である。
 これらの重合性化合物は、単独で又は2種以 上を混合して使用することができ、また2種� �上を混合して使用する場合には、それらを� �め共重合して共重合体として使用してもよ� �。

 また、上記エチレン性不飽和結合を有する� ��合性化合物として、エチレン性不飽和結合� ��有するアルカリ現像性化合物を用いて、本� ��明の感光性組成物をアルカリ現像性感光性� ��脂組成物とすることもできる。該エチレン� ��不飽和結合を有するアルカリ現像性化合物� ��しては、アクリル酸エステルの共重合体や� ��フェノール及び/又はクレゾールノボラック エポキシ樹脂、多官能エポキシ基を有するポ リフェニルメタン型エポキシ樹脂、下記一般 式(II)で表されるエポキシ化合物等のエポキ� �化合物に不飽和一塩基酸を作用させ、更に� �塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂を� �いることができる。これらの中でも、下記� �般式(II)で表されるエポキシ化合物等のエポ� ��シ化合物に不飽和一塩基酸を作用させ、更� ��多塩基酸無水物を作用させて得られた樹脂� ��好ましい。
 また、上記エチレン性不飽和結合を有する� ��ルカリ現像性化合物は、不飽和基を0.2~1.0当 量含有していることが好ましい。

(式中、X ¹ は直接結合、メチレン基、炭素原子数1~4のア ルキリデン基、炭素原子数3~20の脂環式炭化� �素基、O、S、SO ₂ 、SS、SO、CO、OCO又は下記〔化30〕若しくは〔� ��31〕で表される置換基を表し、該アルキリ� �ン基はハロゲン原子で置換されていてもよ� �、R ⁴¹ 、R ⁴² 、R ⁴³ 及びR ⁴⁴ はそれぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1~5 のアルキル基、炭素原子数1~8のアルコキシ基 、炭素原子数2~5のアルケニル基又はハロゲン 原子を表し、アルキル基、アルコキシ基及び アルケニル基はハロゲン原子で置換されてい てもよく、mは0~10の整数である。)

(式中、Y ¹ は水素原子、又は炭素原子数1~10のアルキル� �若しくはアルコキシ基により置換されてい� �もよいフェニル基若しくは炭素原子数3~10の� ��クロアルキル基を示し、Z ¹ は炭素原子数1~10のアルキル基、炭素原子数1~ 10のアルコキシ基、炭素原子数2~10のアルケニ ル基又はハロゲン原子を示し、アルキル基、 アルコキシ基及びアルケニル基はハロゲン原 子で置換されていてもよく、dは0~5の数であ� �。)

 上記エポキシ化合物に作用させる上記不飽� ��一塩基酸としては、アクリル酸、メタクリ� ��酸、クロトン酸、桂皮酸、ソルビン酸、ヒ� ��ロキシエチルメタクリレート・マレート、� ��ドロキシエチルアクリレート・マレート、� ��ドロキシプロピルメタクリレート・マレー� ��、ヒドロキシプロピルアクリレート・マレ� ��ト、ジシクロペンタジエン・マレート等が� ��げられる。
 また、上記不飽和一塩基酸を作用させた後� ��作用させる上記多塩基酸無水物としては、� ��フェニルテトラカルボン酸二無水物、テト� ��ヒドロ無水フタル酸、無水コハク酸、ビフ� ��ル酸無水物、無水マレイン酸、トリメリッ� ��酸無水物、ピロメリット酸無水物、2,2’-3,3 ’-ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物� �エチレングリコールビスアンヒドロトリメ� �テート、グリセロールトリスアンヒドロト� �メリテート、ヘキサヒドロ無水フタル酸、� �チルテトラヒドロ無水フタル酸、ナジック� �無水物、メチルナジック酸無水物、トリア� �キルテトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒ� �ロ無水フタル酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒド� ��フリル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカ� ��ボン酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ� ��水フタル酸-無水マレイン酸付加物、ドデセ ニル無水コハク酸、無水メチルハイミック酸 等が挙げられる。

 上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸� ��び上記多塩基酸無水物の反応モル比は、以� ��の通りとすることが好ましい。すなわち、� ��記エポキシ化合物のエポキシ基1個に対し、 上記不飽和一塩基酸のカルボキシル基が0.1~1. 0個で付加させた構造を有するエポキシ付加� �において、該エポキシ付加物の水酸基1個に� ��し、上記多塩基酸無水物の酸無水物構造が0 .1~1.0個となる比率となるようにするのが好ま しい。
 上記エポキシ化合物、上記不飽和一塩基酸� ��び上記多塩基酸無水物の反応は、常法に従� ��て行なうことができる。

 酸価調整して本発明の(着色)アルカリ現� �性感光性樹脂組成物の現像性を改良するた� �、上記エチレン性不飽和結合を有するアル� �リ現像性化合物と共に、さらに単官能又は� �官能エポキシ化合物を併用することができ� �。上記エチレン性不飽和結合を有するアル� �リ現像性化合物は、固形分の酸価が5~120mgKOH/ gの範囲であることが好ましく、単官能又は� �官能エポキシ化合物の使用量は、上記酸価� �満たすように選択するのが好ましい。

 上記単官能エポキシ化合物としては、グ� ��シジルメタクリレート、メチルグリシジル� ��ーテル、エチルグリシジルエーテル、プロ� ��ルグリシジルエーテル、イソプロピルグリ� ��ジルエーテル、ブチルグリシジルエーテル� ��イソブチルグリシジルエーテル、t-ブチル� �リシジルエーテル、ペンチルグリシジルエ� �テル、ヘキシルグリシジルエーテル、ヘプ� �ルグリシジルエーテル、オクチルグリシジ� �エーテル、ノニルグリシジルエーテル、デ� �ルグリシジルエーテル、ウンデシルグリシ� �ルエーテル、ドデシルグリシジルエーテル� �トリデシルグリシジルエーテル、テトラデ� �ルグリシジルエーテル、ペンタデシルグリ� �ジルエーテル、ヘキサデシルグリシジルエ� �テル、2-エチルヘキシルグリシジルエーテル 、アリルグリシジルエーテル、プロパルギル グリシジルエーテル、p-メトキシエチルグリ� ��ジルエーテル、フェニルグリシジルエーテ� ��、p-メトキシグリシジルエーテル、p-ブチル フェノールグリシジルエーテル、クレジルグ リシジルエーテル、2-メチルクレジルグリシ� ��ルエーテル、4-ノニルフェニルグリシジル� �ーテル、ベンジルグリシジルエーテル、p-ク ミルフェニルグリシジルエーテル、トリチル グリシジルエーテル、2,3-エポキシプロピル� �タクリレート、エポキシ化大豆油、エポキ� �化アマニ油、グリシジルブチレート、ビニ� �シクロヘキサンモノオキシド、1,2-エポキシ- 4-ビニルシクロヘキサン、スチレンオキシド� ��ピネンオキシド、メチルスチレンオキシド� ��シクロヘキセンオキシド、プロピレンオキ� ��ド、下記化合物No.30、No.31等が挙げられる。

 上記多官能エポキシ化合物としては、ビス� ��ェノール型エポキシ化合物及びグリシジル� ��ーテル類からなる群から選択される一種以� ��を用いると、特性の一層良好な(着色)アル� �リ現像性感光性樹脂組成物を得ることがで� �るので好ましい。該ビスフェノール型エポ� �シ化合物としては、上記一般式(II)で表され� ��エポキシ化合物を用いることができる他、� ��えば、水添ビスフェノール型エポキシ化合� ��等のビスフェノール型エポキシ化合物も用� ��ることができる。また、該グリシジルエー� ��ル類としては、エチレングリコールジグリ� ��ジルエーテル、プロピレングリコールジグ� ��シジルエーテル、1,4-ブタンジオールジグリ シジルエーテル、1,6-ヘキサンジオールジグ� �シジルエーテル、1,8-オクタンジオールジグ� ��シジルエーテル、1,10-デカンジオールジグ� �シジルエーテル、2,2-ジメチル-1,3-プロパン� �オールジグリシジルエーテル、ジエチレン� �リコールジグリシジルエーテル、トリエチ� �ングリコールジグリシジルエーテル、テト� �エチレングリコールジグリシジルエーテル� �ヘキサエチレングリコールジグリシジルエ� �テル、1,4-シクロヘキサンジメタノールジグ� ��シジルエーテル、1,1,1-トリ(グリシジルオキ シメチル)プロパン、1,1,1-トリ(グリシジルオ� ��シメチル)エタン、1,1,1-トリ(グリシジルオ� �シメチル)メタン、1,1,1,1-テトラ(グリシジル� ��キシメチル)メタン等が挙げられる。
 その他、フェノールノボラック型エポキシ� ��合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化� ��物、クレゾールノボラック型エポキシ化合� ��、ビスフェノールAノボラック型エポキシ化 合物、ジシクロペンタジエンノボラック型エ ポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合 物;3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキシルメチ� ��-3,4-エポキシ-6-メチルシクロヘキサンカル� �キシレート、3,4-エポキシシクロヘキシルメ� ��ル-3,4-エポキシシクロヘキサンカルボキシ� �ート、1-エポキシエチル-3,4-エポキシシクロ� ��キサン等の脂環式エポキシ化合物;フタル酸 ジグリシジルエステル、テトラヒドロフタル 酸ジグリシジルエステル、ダイマー酸グリシ ジルエステル等のグリシジルエステル類;テ� �ラグリシジルジアミノジフェニルメタン、� �リグリシジルP-アミノフェノール、N,N-ジグ� �シジルアニリン等のグリシジルアミン類;1,3- ジグリシジル-5,5-ジメチルヒダントイン、ト� ��グリシジルイソシアヌレート等の複素環式� ��ポキシ化合物;ジシクロペンタジエンジオキ シド等のジオキシド化合物;ナフタレン型エ� �キシ化合物、トリフェニルメタン型エポキ� �化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ� �合物等を用いることもできる。

 本発明の感光性組成物において、光重合� ��始剤の添加量は特に限定されるものではな� ��が、本発明のオキシムエステル化合物の添� ��量は、エチレン性不飽和結合を有する上記� ��合性化合物100質量部に対して、好ましくは1 ~70質量部、より好ましくは1~50質量部、最も� �ましくは5~30質量部である。

 特に本発明の感光性組成物を(着色)アル� �リ現像性感光性樹脂組成物とする場合、上� �エチレン性不飽和結合を有するアルカリ現� �性化合物の含有量は、本発明の(着色)アルカ リ現像型感光性樹脂組成物において1~20質量%� ��特に3~12質量%が好ましい。

 本発明の感光性組成物には、さらに溶媒を� ��えることができる。該溶媒としては、通常� ��必要に応じて前記の各成分(本発明のオキシ ムエステル化合物及びエチレン性不飽和結合 を有する重合性化合物等)を溶解又は分散し� �る溶媒、例えば、メチルエチルケトン、メ� �ルアミルケトン、ジエチルケトン、アセト� �、メチルイソプロピルケトン、メチルイソ� �チルケトン、シクロヘキサノン等のケトン� �;エチルエーテル、ジオキサン、テトラヒド� ��フラン、1,2-ジメトキシエタン、1,2-ジエト� �シエタン、ジプロピレングリコールジメチ� �エーテル等のエーテル系溶媒;酢酸メチル、� ��酸エチル、酢酸-n-プロピル、酢酸イソプロ� ��ル、酢酸n-ブチル等のエステル系溶媒;エチ� ��ングリコールモノメチルエーテル、エチレ� ��グリコールモノエチルエーテル、プロピレ� ��グリコールモノメチルエーテルアセテート� ��のセロソルブ系溶媒;メタノール、エタノー ル、イソ-又はn-プロパノール、イソ-又はn-ブ タノール、アミルアルコール等のアルコール 系溶媒;エチレングリコールモノメチルアセ� �ート、エチレングリコールモノエチルアセ� �ート、プロピレングリコールメチルアセテ� �ト等のエーテルエステル系溶媒;ベンゼン、� ��ルエン、キシレン等のBTX系溶媒;ヘキサン、 ヘプタン、オクタン、シクロヘキサン等の脂 肪族炭化水素系溶媒;テレピン油、D-リモネン 、ピネン等のテルペン系炭化水素油;ミネラ� �スピリット、スワゾール#310(コスモ松山石油 (株))、ソルベッソ#100(エクソン化学(株))等の� ��ラフィン系溶媒;四塩化炭素、クロロホルム 、トリクロロエチレン、塩化メチレン、1,2-� �クロロエタン等のハロゲン化脂肪族炭化水� �系溶媒;クロロベンゼン等のハロゲン化芳香� ��炭化水素系溶媒;カルビトール系溶媒、アニ リン、トリエチルアミン、ピリジン、酢酸、 アセトニトリル、二硫化炭素、N,N-ジメチル� �ルムアミド、N-メチルピロリドン、ジメチル スルホキシド、水等が挙げられ、これらの溶 媒は1種で又は2種以上の混合溶媒として使用� ��ることができる。
 これらの中でもケトン類、セロソルブ系溶� ��等、特にプロピレングリコール-1-モノメチ� ��エーテル-2-アセテート、シクロヘキサノン� ��が、感光性組成物においてレジストと光重� ��開始剤の相溶性がよいので好ましい。

 本発明の感光性組成物には、さらに無機� ��合物を含有させることができる。該無機化� ��物としては、例えば、酸化ニッケル、酸化� ��、酸化イリジウム、酸化チタン、酸化亜鉛� ��酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化� ��リウム、シリカ、アルミナ等の金属酸化物; 層状粘土鉱物、ミロリブルー、炭酸カルシウ ム、炭酸マグネシウム、コバルト系、マンガ ン系、ガラス粉末、マイカ、タルク、カオリ ン、フェロシアン化物、各種金属硫酸塩、硫 化物、セレン化物、アルミニウムシリケート 、カルシウムシリケート、水酸化アルミニウ ム、白金、金、銀、銅等が挙げられ、これら の中でも、酸化チタン、シリカ、層状粘土鉱 物、銀等が好ましい。本発明の感光性組成物 において、無機化合物の含有量は、エチレン 性不飽和結合を有する上記重合性化合物100質 量部に対して、好ましくは0.1~50質量部、より 好ましくは0.5~20質量部である。これらの無機 化合物は1種又は2種以上を使用することがで� ��る。

 これらの無機化合物は、例えば、充填剤� ��反射防止剤、導電剤、安定剤、難燃剤、機� ��的強度向上剤、特殊波長吸収剤、撥インク� ��等として用いられる。

 また、本発明の感光性組成物(特にアルカ リ現像性感光性樹脂組成物)は、さらに色材� �含有させて着色感光性組成物としてもよい� �該色材としては、顔料、染料、天然色素等� �挙げられる。これらの色材は、単独で又は2� ��以上を混合して用いることができる。

 上記顔料としては、例えば、ニトロソ化� ��物、ニトロ化合物、アゾ化合物、ジアゾ化� ��物、キサンテン化合物、キノリン化合物、� ��ントラキノン化合物、クマリン化合物、フ� ��ロシアニン化合物、イソインドリノン化合� ��、イソインドリン化合物、キナクリドン化� ��物、アンタンスロン化合物、ペリノン化合� ��、ペリレン化合物、ジケトピロロピロール� ��合物、チオインジゴ化合物、ジオキサジン� ��合物、トリフェニルメタン化合物、キノフ� ��ロン化合物、ナフタレンテトラカルボン酸; アゾ染料、シアニン染料の金属錯体化合物;� �ーキ顔料;ファーネス法、チャンネル法、サ� ��マル法によって得られるカーボンブラック� ��あるいはアセチレンブラック、ケッチェン� ��ラック又はランプブラック等のカーボンブ� ��ック;前記カーボンブラックを酸性又はアル カリ性表面処理したもの;黒鉛、黒鉛化カー� �ンブラック、活性炭、炭素繊維、カーボン� �ノチューブ、カーボンマイクロコイル、カ� �ボンナノホーン、カーボンエアロゲル、フ� �ーレン;アニリンブラック、ピグメントブラ� ��ク7、チタンブラック;疎水性樹脂、酸化ク� �ム緑、ミロリブルー、コバルト緑、コバル� �青、マンガン系、フェロシアン化物、リン� �塩群青、紺青、ウルトラマリン、セルリア� �ブルー、ピリジアン、エメラルドグリーン� �硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら(赤色酸� ��鉄(III))、カドミウム赤、合成鉄黒、アンバ� ��等の有機又は無機顔料を用いることができ� ��。これらの顔料は単独で、あるいは複数を� ��合して用いることができる。

 上記顔料としては、市販の顔料を用いる� ��ともでき、例えば、ピグメントレッド1、2� �3、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48、49、8 8、90、97、112、119、122、123、144、149、166、168� ��169、170、171、177、179、180、184、185、192、200� ��202、209、215、216、217、220、223、224、226、227� ��228、240、254;ピグメントオレンジ13、31、34、 36、38、43、46、48、49、51、52、55、59、60、61、 62、64、65、71;ピグメントイエロ-1、3、12、13� �14、16、17、20、24、55、60、73、81、83、86、93� �95、97、98、100、109、110、113、114、117、120、12 5、126、127、129、137、138、139、147、148、150、15 1、152、153、154、166、168、175、180、185;ピグメ� ��トグリ-ン7、10、36;ピグメントブル-15、15:1� �15:2、15:3、15:4、15:5、15:6、22、24、56、60、61� �62、64;ピグメントバイオレット1、19、23、27� �29、30、32、37、40、50等が挙げられる。

 上記染料としては、アゾ染料、アントラ� ��ノン染料、インジゴイド染料、トリアリー� ��メタン染料、キサンテン染料、アリザリン� ��料、アクリジン染料スチルベン染料、チア� ��ール染料、ナフトール染料、キノリン染料� ��ニトロ染料、インダミン染料、オキサジン� ��料、フタロシアニン染料、シアニン染料等� ��染料等が挙げられ、これらは複数を混合し� ��用いてもよい。

 本発明の感光性組成物において、上記色� ��の添加量は、エチレン性不飽和結合を有す� ��上記重合性化合物100質量部に対して、好ま� ��くは50~350質量部、より好ましくは100~250質量 部である。

 また、エチレン性不飽和結合を有する上記� ��合性化合物とともに、他の有機重合体を用� ��ることによって、硬化物の特性を改善する� ��ともできる。該有機重合体としては、例え� ��、ポリスチレン、ポリメチルメタクリレー� ��、メチルメタクリレート-エチルアクリレー ト共重合体、ポリ(メタ)アクリル酸、スチレ� ��-(メタ)アクリル酸共重合体、(メタ)アクリ� �酸-メチルメタクリレート共重合体、エチレ� ��-塩化ビニル共重合体、エチレン-ビニル共� �合体、ポリ塩化ビニル樹脂、ABS樹脂、ナイ� �ン6、ナイロン66、ナイロン12、ウレタン樹脂 、ポリカーボネートポリビニルブチラール、 セルロースエステル、ポリアクリルアミド、 飽和ポリエステル、フェノール樹脂、フェノ キシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリアミ ック酸樹脂、エポキシ樹脂等が挙げられ、こ れらの中でも、ポリスチレン、(メタ)アクリ� ��酸-メチルメタクリレート共重合体、エポキ シ樹脂が好ましい。
 他の有機重合体を使用する場合、その使用� ��は、エチレン性不飽和結合を有する上記重� ��性化合物100質量部に対して、好ましくは10~5 00質量部である。

 本発明の感光性組成物には、さらに、不� ��和結合を有するモノマー、連鎖移動剤、界� ��活性剤等を併用することができる。

 上記不飽和結合を有するモノマーとして� ��、アクリル酸-2-ヒドロキシエチル、アクリ� ��酸-2-ヒドロキシプロピル、アクリル酸イソ� ��チル、アクリル酸N-オクチル、アクリル酸� �ソオクチル、アクリル酸イソノニル、アク� �ル酸ステアリル、アクリル酸メトキシエチ� �、アクリル酸ジメチルアミノエチル、アク� �ル酸亜鉛、1,6-ヘキサンジオールジアクリレ� ��ト、トリメチロールプロパントリアクリレ� ��ト、メタクリル酸-2-ヒドロキシエチル、メ� ��クリル酸-2-ヒドロキシプロピル、メタクリ� ��酸ブチル、メタクリル酸ターシャリーブチ� ��、メタクリル酸シクロヘキシル、トリメチ� ��ールプロパントリメタクリレート、ジペン� ��エリスリトールペンタアクリレート、ジペ� ��タエリスリトールヘキサアクリレート、ペ� ��タエリスリトールテトラアクリレート、ペ� ��タエリスリトールトリアクリレート、ビス� ��ェノールAジグリシジルエーテル(メタ)アク� ��レート、ビスフェノールFジグリシジルエー テル(メタ)アクリレート、ビスフェノールZジ グリシジルエーテル(メタ)アクリレート、ト� ��プロピレングリコールジ(メタ)アクリレー� �等が挙げられる。

 上記連鎖移動剤としては、チオグリコー� ��酸、チオリンゴ酸、チオサリチル酸、2-メ� �カプトプロピオン酸、3-メルカプトプロピオ ン酸、3-メルカプト酪酸、N-(2-メルカプトプ� �ピオニル)グリシン、2-メルカプトニコチン� �、3-〔N-(2-メルカプトエチル)カルバモイル〕 プロピオン酸、3-〔N-(2-メルカプトエチル)ア� ��ノ〕プロピオン酸、N-(3-メルカプトプロピ� �ニル)アラニン、2-メルカプトエタンスルホ� �酸、3-メルカプトプロパンスルホン酸、4-メ� ��カプトブタンスルホン酸、ドデシル(4-メチ� ��チオ)フェニルエーテル、2-メルカプトエタ� ��ール、3-メルカプト-1,2-プロパンジオール、 1-メルカプト-2-プロパノール、3-メルカプト-2 -ブタノール、メルカプトフェノール、2-メル カプトエチルアミン、2-メルカプトイミダゾ� ��ル、2-メルカプト-3-ピリジノール、2-メルカ プトベンゾチアゾール、メルカプト酢酸、ト リメチロールプロパントリス(3-メルカプトプ ロピオネート)、ペンタエリスリトールテト� �キス(3-メルカプトプロピオネート)等のメル� ��プト化合物、該メルカプト化合物を酸化し� ��得られるジスルフィド化合物、ヨード酢酸� ��ヨードプロピオン酸、2-ヨードエタノール� �2-ヨードエタンスルホン酸、3-ヨードプロパ� ��スルホン酸等のヨード化アルキル化合物が� ��げられる。

 上記界面活性剤としては、パーフルオロ� ��ルキルリン酸エステル、パーフルオロアル� ��ルカルボン酸塩等のフッ素界面活性剤、高� ��脂肪酸アルカリ塩、アルキルスルホン酸塩� ��アルキル硫酸塩等のアニオン系界面活性剤� ��高級アミンハロゲン酸塩、第四級アンモニ� ��ム塩等のカチオン系界面活性剤、ポリエチ� ��ングリコールアルキルエーテル、ポリエチ� ��ングリコール脂肪酸エステル、ソルビタン� ��肪酸エステル、脂肪酸モノグリセリド等の� ��イオン界面活性剤、両性界面活性剤、シリ� ��ーン系界面活性剤等の界面活性剤を用いる� ��とができ、これらは組み合わせて用いても� ��い。

 また、本発明の感光性組成物には、光重� ��開始剤として、本発明のオキシムエステル� ��合物の他に、必要に応じて他の光重合開始� ��あるいは増感剤を併用することも可能であ� ��、その他の光重合開始剤を併用することに� ��って著しい相乗効果を奏する場合もある。

 本発明のオキシムエステル化合物と併用� ��きる光重合開始剤としては、従来既知の化� ��物を用いることが可能であり、例えば、ベ� ��ゾフェノン、フェニルビフェニルケトン、1 -ヒドロキシ-1-ベンゾイルシクロヘキサン、� �ンゾイン、ベンジルジメチルケタール、1-ベ ンジル-1-ジメチルアミノ-1-(4’-モルホリノベ ンゾイル)プロパン、2-モルホリル-2-(4’-メチ ルメルカプト)ベンゾイルプロパン、チオキ� �ントン、1-クロル-4-プロポキシチオキサント ン、イソプロピルチオキサントン、ジエチル チオキサントン、エチルアントラキノン、4-� ��ンゾイル-4’-メチルジフェニルスルフィド� ��ベンゾインブチルエーテル、2-ヒドロキシ-2 -ベンゾイルプロパン、2-ヒドロキシ-2-(4’-イ ソプロピル)ベンゾイルプロパン、4-ブチルベ ンゾイルトリクロロメタン、4-フェノキシベ� ��ゾイルジクロロメタン、ベンゾイル蟻酸メ� ��ル、1,7-ビス(9’-アクリジニル)ヘプタン、9- n-ブチル-3,6-ビス(2’-モルホリノイソブチロ� �ル)カルバゾール、2-メチル-4,6-ビス(トリク� �ロメチル)-s-トリアジン、2-フェニル-4,6-ビス (トリクロロメチル)-s-トリアジン、2-ナフチ� �-4,6-ビス(トリクロロメチル)-s-トリアジン、2 ,2-ビス(2-クロロフェニル)-4,5,4’,5’-テトラ� �ェニル-1-2’-ビイミダゾール、4、4-アゾビス イソブチロニトリル、トリフェニルホスフィ ン、カンファーキノン、N-1414、N-1717、N-1919、 PZ-408((株)ADEKA社製)、IRGACURE369、IRGACURE907、IRGAC UREOXE01、IRGACUREOXE02(チバ・スペシャルティ・� �ミカルズ(株)社製)、過酸化ベンゾイル、下� �一般式(III)~(V)で表される化合物等が挙げら� �、これらの光重合開始剤は、1種で又は2種以 上を組み合わせて用いることができる。これ らの他の光重合開始剤を使用する場合、その 使用量は、好ましくは本発明のオキシムエス テル化合物の使用量の等量以下とする。

(式中、R ¹ 及びR ² は、上記一般式(I)と同じであり、R ⁶ は、R ¹ と同じであり、Y ² は、ハロゲン原子又はアルキル基を表し、n� �0~5である。)

(式中、R ¹ 及びR ² は、上記一般式(I)と同じであり、R ⁶ 、Y ² 及びnは上記一般式(III)と同じであり、R’ ¹ 、R’ ² 及びR’ ⁶ は、R ¹ と同じであり、Y’ ² はY ² と同じであり、R ⁷ はジオール残基又はジチオール残基を表し、 Z ² は酸素原子又は硫黄原子を表す。)

(式中、R ¹ 及びR ² は、上記一般式(I)と同じであり、R ⁶ 、Y ² 及びnは、上記一般式(III)と同じであり、Z ³ は酸素原子、硫黄原子又はセレン原子を表し 、Aは複素環基を表し、pは0~5の整数であり、q は0又は1である。)

 また、本発明の感光性組成物には、必要� ��応じて、p-アニソール、ハイドロキノン、� �ロカテコール、第三ブチルカテコール、フ� �ノチアジン等の熱重合抑制剤;可塑剤;接着促 進剤;充填剤;消泡剤;レベリング剤;表面調整� �;酸化防止剤;紫外線吸収剤;分散助剤;凝集防� ��剤;触媒;効果促進剤;増感剤;架橋剤;増粘剤� �の慣用の添加物を加えることができる。

 本発明の感光性組成物において、エチレ� ��性不飽和結合を有する前記重合性化合物及� ��本発明のオキシムエステル化合物以外の任� ��成分(但し、前記の他の光重合開始剤、無機 充填剤、色材及び溶媒は除く)の使用量は、� �の使用目的に応じて適宜選択され特に制限� �れないが、好ましくは、エチレン性不飽和� �合を有する前記重合性化合物100質量部に対� �て合計で50質量部以下とする。

 本発明の感光性組成物は、スピンコータ� ��、ロールコーター、バーコーター、ダイコ� ��ター、カーテンコーター、各種の印刷、浸� ��等の公知の手段で、ソーダガラス、石英ガ� ��ス、半導体基板、金属、紙、プラスチック� ��の支持基体上に適用することができる。ま� ��、一旦フィルム等の支持基体上に施した後� ��他の支持基体上に転写することもでき、そ� ��適用方法に制限はない。

 本発明の感光性組成物は、光硬化性塗料� ��るいはワニス、光硬化性接着剤、プリント� ��板、あるいはカラーテレビ、PCモニタ、携� �情報端末、デジタルカメラ等のカラー表示� �液晶表示素子におけるカラーフィルター、� �ラズマ表示パネル用の電極材料、粉末コー� �ィング、印刷インク、印刷版、接着剤、歯� �用組成物、ゲルコート、電子工学用のフォ� �レジスト、電気メッキレジスト、エッチン� �レジスト、液状及び乾燥膜の双方、はんだ� �ジスト、種々の表示用途用のカラーフィル� �ーを製造するためのあるいはプラズマ表示� �ネル、電気発光表示装置及びLCDの製造工程� �おいて構造を形成するためのレジスト、電� �及び電子部品を封入するための組成物、磁� �記録材料、微小機械部品、導波路、光スイ� �チ、めっき用マスク、エッチングマスク、� �ラー試験系、ガラス繊維ケーブルコーティ� �グ、スクリーン印刷用ステンシル、ステレ� �リトグラフィによって三次元物体を製造す� �ための材料、ホログラフィ記録用材料、画� �記録材料、微細電子回路、脱色材料、画像� �録材料のための脱色材料、マイクロカプセ� �を使用する画像記録材料用の脱色材料、印� �配線板用フォトレジスト材料、UV及び可視レ ーザー直接画像系用のフォトレジスト材料、 プリント回路基板の逐次積層における誘電体 層形成に使用するフォトレジスト材料あるい は保護膜等の各種の用途に使用することがで き、その用途に特に制限はない。

 また、本発明のオキシムエステル化合物� ��含有する感光性組成物を硬化させる際に用� ��られる活性光の光源としては、波長300~450nm� ��光を発光するものを用いることができ、例� ��ば、超高圧水銀、水銀蒸気アーク、カーボ� ��アーク、キセノンアーク等を用いることが� ��きる。