Terahertzsystem und Tera hertzverfahren

Die Erfindung betrifft eine Empfangsantenne und einen Empfänger für Terahertzstrahlung, ein Terahertzsystem und ein Verfahren zum Erzeugen und Detektieren von Terahertzstrahlung unter Verwendung eines entsprechenden Terahertzsystems.

Eine Empfangsantenne für Terahertzstrahlung der Art, die Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist, umfasst einen Antennenleiter und einen mit dem Antennenleiter verschalteten und durch Licht aktivierbaren ersten Photolei ter, der in einem aktivierten Zustand einen durch den Antennenleiter und den ersten Photoleiter fließenden Antennenstrom ermöglicht.

Empfangsantennen dieser Art, welche auch als photoleitende

Terahertzantennen bezeichnet werden, sind zum Beispiel aus der Druckschrift DE 10 2010 049 658 Al bekannt. Um die Amplitude und/oder die Phase der empfangenen Terahertzstrahlung in einem gegebenen Messintervall bestim men zu können, müssen bei Empfangsantennen nach dem Stand der Technik stets sequentielle Antennenstrommessungen vorgenommen werden, bei de nen die Zeitlage der optischen Anregung relativ zu der empfangenen

Terahertzstrahlung variiert wird. Die sequentielle Messung mindestens zweier solcher Messpunkte ist selbst dann nötig, wenn nur eine Amplitude der Terahertzstrahlung gemessen werden soll, da diese ohne die Information der Phasenlage nicht eindeutig bestimmt werden kann. Mit der sequentiellen Messung geht ein entsprechender Zeitaufwand einher, welcher die Anwen dung erschweren kann; ferner erhöht die nötige Verstellbarkeit der Zeitlage der optischen Anregung die Komplexität des Empfängers und der entspre chenden Terahertzverfahren.

Der vorliegenden Erfindung liegt dementsprechend die Aufgabe zugrunde, eine Empfangsantenne und einen Empfänger für Terahertzstrahlung sowie ein Terahertzsystem bereitzustellen, mit welchen das Empfangen von

Terahertzstrahlung sowie das Analysieren der darin enthaltenen Informatio nen schneller und einfacher vorgenommen werden können, und entspre chend ein schnelleres und einfacheres Verfahren zum Erzeugen und Detektie- ren von Terahertzstrahlung unter Verwendung eines solchen

Terahertzsystems vorzuschlagen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Empfangsantenne für Terahertzstrahlung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, einen Empfänger für Terahertzstrahlung mit den Merkmalen des Anspruchs 5, ein Terahertzsystem mit den Merkmalen des Anspruchs 10 und ein Verfahren zum Erzeugen und Detektieren von Terahertzstrahlung unter Verwendung eines entsprechenden Terahertzsystems mit den Merkmalen des Anspruchs 14. Vorteilhafte Ausge staltungen, Weiterentwicklungen und Verwendungen der Erfindung ergeben sich mit den Merkmalen der Unteransprüche.

Eine erfindungsgemäße Empfangsantenne für Terahertzstrahlung weist außer dem eingangs genannten ersten Photoleiter mindestens einen ebenfalls mit dem Antennenleiter verschalteten und durch Licht aktivierbaren zweiten Pho toleiter auf, der mit dem ersten Photoleiter parallel geschaltet ist und in ei- nem aktivierten Zustand einen durch den Antennenleiter und den zweiten Photoleiter fließenden Antennenstrom ermöglicht, wobei zwischen jeden der Photoleiter und den Antennenleiter jeweils mindestens ein Hochpassfilter geschaltet ist.

Mit dem Einbringen von mindestens einem zweiten Photoleiter zusammen mit dem ersten Photoleiter wird ein gleichzeitiges Abtasten eines empfange nen Terahertzsignals mit mehreren optischen Signalen mit unterschiedlicher Zeitlage, also ein gleichzeitiges Messen der entsprechenden Antennenströme, ermöglicht, was den Messvorgang gegenüber der Verwendung nur eines Pho toleiters entsprechend beschleunigen und die Verwendung einer Vorrichtung zum Verstellen der Zeitlage unnötig machen kann. Dafür genügt es, wenn zum Anregen oder Aktivieren der jetzt mindestens zwei Photoleiter zwei zeitlich versetzte optische Signale oder Signalanteile verwendet werden.

Es ist besonders auf die Funktion der Hochpassfilter hinzuweisen, die erfin dungsgemäß jeweils zwischen den Photoleitern und den Antennenleiter ge schaltet sind und zusammen mit den mehreren Photoleitern das gleichzeitige Messen mehrerer Antennenströme ermöglichen. Ohne die Hochpassfilter wären die Photoleiter miteinander elektrisch kurzgeschlossen, was eine indi viduelle Messung der Antennenströme unmöglich machen würde.

Typischerweise sind die Photoleiter an einem Fußpunkt des Antennenleiters angeordnet. Als Fußpunkt wird hierbei ein Teil des Antennenleiters bezeich net, an dem beim Empfangen von Terahertzstrahlung eine durch die empfan gene Terahertzstrahlung verursachte Wechselspannung anliegt, welcher also als ein mit einem Eingangswiderstand oder Fußpunktwiderstand der Antenne korrespondierender Punkt betrachtet werden kann.

Ein Antennenstrom fließt dann durch einen der Photoleiter, wenn es einen zeitlichen Überlapp zwischen dem aktivierten Zustand des Photoleiters und der durch die empfangene Terahertzstrahlung verursachten Wechselspan nung gibt. Entsprechend kann ein messbarer Anteil des Antennenstroms ein Wechselstrom mit der auch Zwischenfrequenz genannten Frequenz f _z sein, die einer Differenzfrequenz f _z = | f _T Hz - fi_o | zwischen einer als Terahertzfrequenz f _TH z bezeichneten Frequenz der Terahertzstrahlung und einer auch Lokaloszil- latorfrequenz genannten Frequenz f _L o einer optischen Anregung des jeweili gen Photoleiters entspricht. Entsprechend wird ein Signal, das etwa der Amp litude und/oder der Phase der Terahertzstrahlung aufmoduliert ist, durch die Empfangsantenne demoduliert. In dem Spezialfall, dass f _TH z und f _L o identisch sind, ist der Antennenstrom ein Gleichstrom.

Die Frequenzkanten der Hochpassfilter können so gelegt werden, dass Terahertzfrequenzen transmittiert, geringere Frequenzen aber nicht transmit- tiert werden. Die Frequenzkante kann entsprechend zwischen f _z und f _TH z lie gen. Terahertzfrequenzen f _TH z können dabei Frequenzen etwa in einem Fre quenzbereich von 0,05 THz bis 20 THz, typischerweise in einem Frequenzbe reich von 0,1 THz bis 10 THz sein. Entsprechend kann mindestens einer der Hochpassfilter z. B. eine Transmissionskante zwischen 50 GHz und 100 GHz aufweisen.

Zwischen jedem der Photoleiter und dem mindestens einen Hochpassfilter, der zwischen diesen Photoleiter und den Antennenleiter geschaltet ist, kann jeweils eine Kontaktierung zur Abnahme eines Messsignals vorgesehen sein. Ein solches Messsignal kann einem niederfrequenten Anteil des Antennen stroms entsprechen, also einem solchen Anteil des Antennenstroms, der Fre quenzen unterhalb einer bestimmten Frequenzkante, insbesondere unterhalb der Transmissionskante des Hochpassfilters aufweist.

Zur Realisierung des Photoleiters kommt jedes Material oder jede Material kombination in Frage, deren elektrische Leitfähigkeit sich beim Absorbieren von elektromagnetischer Strahlung, beispielsweise sichtbarem, ultraviolettem oder infrarotem Licht, also eines optischen Signals, verändert, typischerweise vergrößert. Dabei spricht man auch von optischer Anregung oder Aktivierung des Photoleiters. Mindestens einer der Photoleiter kann eine aktive Schicht aufweisen, die auf einem Substrat angeordnet ist. Beispielsweise kann ein solcher Photoleiter unter Verwendung von Ill-V-Verbindungshalbleiters reali siert werden. Dabei kann die aktive Schicht beispielsweise im Materialsystem In-Ga-Al-As-P realisiert sein, das Substrat kann beispielsweise aus InP oder GaAs bestehen.

Der Antennenleiter kann eine auf einem Substrat angeordnete strukturierte Metallschicht sein. Dies ermöglicht insbesondere, die Empfangsantenne als optoelektronischen Chip zu realisieren, auf dem die optischen und elektroni schen Elemente der Empfangsantenne integriert sind, was eine robuste und kompakte Bauform darstellt. Als Form des Antennenleiters kommen dabei etwa eine Bowtie-Form, also eine zweigeteilte Leiterform, umfassend zwei spiegelsymmetrisch angeordnete dreiecks- oder trapezförmige Leitersegmen te, die sich zur Symmetrieachse hin verjüngen, oder auch eine Anordnung aus rechteckigen Streifen in Frage. Der Antennenleiter kann jedoch auch in drei dimensionalen Geometrien realisiert werden, beispielsweise als Hornantenne.

Die Hochpassfilter können ebenfalls auf verschiedene Weise realisiert sein. Mindestens einer der Hochpassfilter kann eine Kapazität sein oder umfassen, die mit einem der Photoleiter in Reihe geschaltet ist. Die Kapazität kann dabei beispielsweise durch eine dielektrische Schicht zwischen einer mit einem der Photoleiter verbundenen Leiterfläche und einer mit dem Antennenleiter ver bundenen Leiterfläche realisiert sein. Diese Ausführungsform kann in vorteil hafter Weise auf einem optoelektronischen Chip integriert werden, sofern dieser als Bauform der Antenne verwendet wird.

Das ist jedoch nicht die einzige Möglichkeit. So kann auch - stattdessen oder zusätzlich - mindestens einer der Hochpassfilter eine Induktivität aufweisen, die zwischen einen der Photoleiter und ein Bezugspotential geschaltet ist. Die Induktivität kann dabei beispielsweise eine mäanderförmig angeordnete Lei terbahn sein. Auch diese Ausführungsform kann in vorteilhafter Weise auf einem optoelektronischen Chip integriert werden.

Die mehreren Photoleiter können an gleichwertigen Orten angeordnet sein, also so nahe beieinander liegen, dass an den Orten aller Photoleiter zumin dest annähernd dasselbe elektrische Feld vorliegt. Dies ist gegeben, wenn der Abstand der Photoleiter kleiner als die kleinste zu detektierende

Terahertzwellenlänge ist. Eine typische kleinste zu detektierende

Terahertzwellenlänge kann beispielsweise 300 pm oder 50 pm betragen, was einer Bandbreite von 1 THz oder 5 THz entspricht. Der erste Photoleiter und der zweite Photoleiter können einen Abstand von weniger als 300 pm haben, vorzugsweise einen Abstand von weniger als 200 pm, weniger als 100 pm oder weniger als 50 pm. Der vorgeschlagene Empfänger für Terahertzstrahlung, in dem eine Emp fangsantenne beschriebener Art ihre Vorteile entfaltet, umfasst eine Emp fangsantenne für Terahertzstrahlung gemäß der Erfindung und mindestens eine Lichtquelle, eingerichtet zum Erzeugen mindestens eines Lichtsignals zum Aktivieren des ersten Photoleiters und des mindestens einen zweiten Photo leiters der Empfangsantenne, wobei die mindestens eine Lichtquelle mit dem ersten Photoleiter und/oder dem mindestens einen zweiten Photoleiter der Empfangsantenne optisch gekoppelt ist zum Beaufschlagen des ersten Photo leiters und des zweiten Photoleiters mit Licht aus dem mindestens einen Lichtsignal.

Das mindestens eine Lichtsignal kann zeitlich, im Frequenzraum oder in der Phase moduliert sein. Beispielsweise kann es durch mindestens ein Schwe bungssignal oder durch vorzugsweise mehrere Lichtpulse gegeben sein.

Der Empfänger kann weiterhin mindestens einen Strahlteiler umfassen, einge richtet, um das von der Lichtquelle erzeugte Lichtsignal in einen ersten Anteil und einen zweiten Anteil aufzuteilen, wobei die Lichtquelle mit dem ersten Photoleiter und dem mindestens einen zweiten Photoleiter der Empfangsan tenne optisch gekoppelt ist zum Beaufschlagen des ersten Photoleiters mit dem ersten Anteil des Lichtsignals und zum Beaufschlagen des zweiten Photo leiters mit dem zweiten Anteil des Lichtsignals, so dass der zweite Anteil des Lichtsignals den zweiten Photoleiter mit einer definierten Phasenverschiebung und/oder Laufzeitdifferenz gegenüber dem den ersten Photoleiter erreichen den ersten Anteil des Lichtsignals erreicht.

Die Photoleiter können also durch verschiedene Anteile desselben Lichtsig nals, die durch mindestens einen Strahlteiler gebildet werde, aktiviert werden. Dieses Lichtsignal kann seinerseits als Schwebungssignal durch Überlagern mehrerer Lichtsignale mittels mindestens eines Kopplers gebildet werden, wobei es unerheblich ist, ob der oder die Koppler vor oder hinter dem oder den Strahlteilern angeordnet sind. Auch im letztgenannten Fall, wenn das Schwebungssignal erst nach der Aufteilung zweier Lichtsignale in jeweils zwei Anteile durch Überlagern jeweils eines der Anteile beider Lichtsignale mit je weils einem von zwei Kopplern gebildet wird, seien die die zwei Koppler ver lassenden Lichtsignale also als zwei Anteile desselben Lichtsignals, nämlich desselben Schwebungssignals, bezeichnet.

In manchen Ausführungsformen des Empfängers kann die mindestens eine Lichtquelle mittels eines planaren integrierten Wellenleiter-Chips mit dem Photoleiter verbunden sein. Das Material der Wellenleiter eines solchen Chips kann beispielsweise ein Polymer, ein Nitrid, ein Phosphid oder ein Glas sein.

Ist dies der Fall, können auch die Lichtquelle, die Empfangsantenne und der integrierte Wellenleiter auf einem gemeinsamen Substrat angeordnet sein, wodurch eine robuste und kompakte Bauform erzielt wird. Die Ausführung als integrierter Wellenleiter hat den Vorteil, dass dadurch geringere Dimensionen der Lichtkopplung an die Photoleiter erzielt werden können als mit optischen Faser, was insbesondere bei Abständen der Photoleiter von weniger als 50 pm wichtig ist.

Die erwähnte Phasenverschiebung und/oder Laufzeitdifferenz der die Photo leiter erreichenden Anteile des Lichtsignals oder eine entsprechende Ver schiebung zwischen mehreren Lichtsignalen, die zum Aktivieren der verschie denen Photoleiter verwendet werden können, stellt sicher, dass auch die gleichzeitig abgetasteten Anteile der empfangenen Terahertzstrahlung bezüg lich ihrer Phasenlage bzw. Zeitlage verschieden sind. Damit ist es möglich, die Amplitude und/oder Phase der empfangenen Terahertzstrahlung - auch gleichzeitig - ohne sequentielle Messungen zu bestimmen.

Dies ermöglicht es unter anderem, den beschriebenen Empfänger für das im Bereich der Kommunikationstechnik verbreitete In-Phase-Quadratur- Verfahren (IQ-Verfahren) zu verwenden, wodurch beispielsweise die Methode der Quadratur-Amplituden-Modulation (QAM) auch für

Terahertzkommunikation erschlossen wird. Dies ist mit aus dem Stand der Technik bekannten Empfängern nicht möglich, da erst die hier vorgeschlagene Empfangsantenne die Möglichkeit bietet, zwei Komponenten des Signals gleichzeitig abzutasten. Bei der QAM-Kommunikation wird dem Signal sender seitig eine Information aufgeprägt, wobei sowohl die Amplitude als auch die Phase des Trägersignals moduliert werden. Dadurch lassen sich zur digitalen Kommunikation Symbole in einem zweidimensionalen Raster definieren. Die beiden Komponenten werden hierbei als In-Phase- Komponente und Quadra tur-Komponente (I- und Q-Komponente) bezeichnet. Die I- und Q - Komponenten werden empfängerseitig aus zwei gleichzeitigen Messungen des Signals mit definierter Phasenverschiebung, typischerweise von 90° (p/2), bestimmt.

Die Phasenverschiebung und/oder Laufzeitdifferenz kann beispielsweise durch unterschiedlich lange optische Pfadlängen bei der optischen Kopplung der jeweiligen Lichtsignale oder Anteile des Lichtsignals an die Photoleiter realisiert werden. Dies kann durch unterschiedliche optische Faserlängen oder, im Fall der Ausführung als integriertem Wellenleiter-Chip, durch unter schiedliche Längen oder unterschiedliche Brechungsindizes der entsprechen den Wellenleiter verwirklicht werden.

Als Lichtquelle kann vorteilhaft eine Laserlichtquelle verwendet werden, wo bei die Laserlichtquelle einen oder mehrere Laser, beispielsweise Diodenlaser enthalten kann.

Die mindestens eine Lichtquelle kann mindestens zwei gegeneinander ver stimmte oder verstimmbare Dauerstrichlaser zum Erzeugen mindestens eines optischen Schwebungssignals und/oder einen Pulslaser zum Erzeugen von Lichtpulsen aufweisen.

Dabei ist die Erzeugung eines Schwebungssignals, welches dann in zwei Antei le mit bekannter Phasenverschiebung aufgeteilt wird, besonders vorteilhaft für die oben skizzierte Verwendung des Empfängers als IQ-Empfänger, bei spielsweise in der Kommunikation. Auch in der Sensorik kann eine solche Verwendung des Empfängers zum Messen der Eigenschaften einer Probe vor teilhaft sein. Hierbei ist es manchmal von Interesse, die optische Dicke eines Objekts anhand von Phasenverschiebungen zu messen, die mehrere Phasen perioden umfassen können. Um diese eindeutig bestimmen zu können, wird im Stand der Technik die Terahertzfrequenz in einem bestimmten Bereich verstimmt. Der hier vorgeschlagene Empfänger kann auch diese Methode beschleunigen, indem mindestens zwei Schwebungssignale verschiedener Frequenz gleichzeitig erfasst werden.

Auch bei Verwendung eines Pulslasers ergeben sich vorteilhafte Anwendun gen des Empfängers in der Sensorik. Bei solchen Anwendungen geht es bei- spielsweise um Laufzeitmessungen, etwa bei der Bestimmung der Dicke eines Objekts, bei der die Zeitlage von Reflexionen an Vorder- und Rückseite des Objekts bestimmt wird. Im Stand der Technik wird hierzu die Zeitlage des Ab tastpulses über einen Bereich verstellt, der mindestens der einfachen oder doppelten optischen Dicke des Objekts entspricht, etwa mittels mechanischer Verzögerungsstrecken. Mit dem hier beschriebenen Empfänger können bei spielsweise zwei Abtastpulse bereits in der erwarteten Zeitlage zueinander eingestellt werden, wodurch nur noch die Laufzeitdifferenz in einem wesent lich kleineren Bereich verstellt werden muss. Dies spart wiederum Zeit bei der Messung.

Der Empfänger kann weiterhin eine verstellbare optische Verzögerungseinheit aufweisen, dazu eingerichtet, die Phasenverschiebung und/oder Laufzeitdiffe renz des zweiten Anteils des Lichtsignals am zweiten Photoleiter gegenüber dem ersten Anteil des Lichtsignals am ersten Photoleiter verstellbar zu ma chen.

Eine solche verstellbare Verzögerungseinheit kann beispielsweise als mecha nische Verzögerungstrecke oder als elektrooptisches Element realisiert wer den. Wie oben beschrieben ist eine verstellbare Verzögerungseinheit bei spielsweise bei der Verwendung des Empfängers in der Sensorik vorteilhaft.

Der Empfänger kann eine Auswerteeinheit aufweisen, eingerichtet zum Aus werten eines ersten Messsignals, entsprechend dem durch den ersten Photo leiter fließenden Antennenstrom oder genauer einem niederfrequentem An teil dieses Antennenstroms, und eines zweiten Messsignals, entsprechend dem durch den zweiten Photoleiter fließenden Antennenstrom oder genauer einem niederfrequentem Anteil dieses Antennenstroms, zum Bestimmen ei ner Amplitude und/oder einer Phasenlage einer empfangenen

Terahertzstrahlung unter Verwendung der definierten Phasenverschiebung und/oder Laufzeitdifferenz.

Durch das Auswerten wird die in der Terahertzstrahlung enthaltene Informa tion, die der Strahlung etwa durch den Sender oder eine Probe aufgeprägt sein kann, zur weiteren Verwendung bereitgestellt. Die Messsignale können dabei durch Messen der Ströme durch die Photoleiter beispielsweise mittels Transimpedanzverstärkern (TIA) erzeugt werden. Sol che TIAs sind als rauscharme Verstärker für kleine Ströme besonders geeignet; andere Strommessgeräte können ebenfalls verwendet werden.

Das vorgeschlagene Terahertzsystem, das einen Sender, eingerichtet zum Er zeugen von Terahertzstrahlung, und einen Empfänger für Terahertzstrahlung zuvor beschriebener Art, eingerichtet zum Empfangen der mittels des Senders erzeugten Terahertzstrahlung, umfasst, bildet eine vorteilhafte Anwendung des beschriebenen Empfängers bzw. der beschriebenen Empfangsantenne.

Durch das Zusammenspiel von Sender und Empfänger des Terahertzsystems können die oben skizzierten vorteilhaften Anwendungen realisiert werden. Dafür kann das System in verschiedener Weise anwendungsbezogen spezifi ziert sein.

Der Sender kann einen Antennenleiter und ein lichtempfindliches Element aufweisen, das so mit dem Antennenleiter optisch gekoppelt ist, dass es in einem aktivierten Zustand und bei Anliegen einer Vorspannung einen durch den Antennenleiter und das lichtempfindliche Element fließenden Antennen strom verursacht.

Damit können die bereits bekannten Vorteile einer photoleitenden Terahertz- Sendeantenne mit denen des hier beschriebenen photoleitenden Mehrkanal- Empfängers kombiniert werden.

Die mindestens eine Lichtquelle des Empfängers kann dann ferner optisch mit dem lichtempfindlichen Element des Senders gekoppelt sein, so dass das lichtempfindliche Elements des Senders durch einen weiteren Anteil des von der Lichtquelle erzeugten Lichtsignals aktivierbar ist.

Damit können Senden und Empfangen kohärent eingerichtet sein. Ein solches Terahertzsystem eignet sich besonders dazu, Messungen an einer Probe vor zunehmen, wobei die Probe zwischen dem Sender und dem Empfänger ange ordnet wird und einer übertragenen Terahertzstrahlung Informationen auf prägt, welche nach entsprechender Auswertung Rückschlüsse auf Eigenschaf- ten der Probe zulassen.

Unabhängig davon, wie der Sender aktiviert wird, kann der Sender einen Mo dulator aufweisen, der dazu eingerichtet ist, die durch den Sender erzeugte Terahertzstrahlung durch Phasenmodulation oder Amplitudenmodulation mit einer Information zu beaufschlagen. Dabei kann die Modulation vorteilhaft im optischen Bereich realisiert werden.

Die somit realisierte Ausführungsform eignet sich, besonders in Verbindung mit einem als IQ-Empfänger eingerichteten Empfänger, insbesondere zur Kommunikation. Dabei muss, sofern als Sender wie oben beschrieben eben falls eine photoleitende Antenne verwendet wird, das Anregungslicht für das lichtempfindliche Element des Senders nicht notwendigerweise von der sel ben Lichtquelle stammen wie das Anregungslicht für die Photoleiter der Emp fangsantenne des Empfängers, da für die digitale Kommunikation mit QAM jeweils nur die Änderung des Signals zwischen diskreten Zuständen innerhalb bestimmter Zeitintervalle erfasst werden muss. Dazu genügt es, auf Sender und Empfängerseite Anregungssignale mit im Wesentlichen gleicher Frequenz zu verwenden, so dass ausreichende Kohärenz der Lichtsignale in den relevan ten Zeitintervallen gegeben ist.

Der Modulator kann dabei durch eine photoleitende Senderantenne in Ver bindung mit einer verstellbaren optischen Verzögerungseinheit realisiert sein.

Ein Verfahren zum Erzeugen und Detektieren von Terahertzstrahlung unter Verwendung eines Terahertzsystems gemäß der Erfindung umfasst die Schrit te:

Erzeugen eines Terahertzsignals mittels des Senders des Terahertzsystems; Empfangen des mittels des Senders erzeugten Terahertzsignals mittels des Empfängers des Terahertzsystems, wobei das Empfangen die Schritte umfasst:

Aktivieren des ersten Photoleiters der Empfangsantenne des Empfän gers durch den ersten Anteil des von der mindestens einen Lichtquelle des Empfängers erzeugten Lichtsignals,

Aktivieren des mindestens einen zweiten Photoleiters der Empfangs antenne des Empfängers durch den zweiten Anteil des von der min destens einen Lichtquelle des Empfängers erzeugten Lichtsignals, gleichzeitiges Messen des ersten Messsignals, entsprechend dem durch den ersten Photoleiter fließenden Antennenstrom oder genauer einem niederfrequenten Anteil dieses Antennenstroms, und des zwei ten Messsignals, entsprechend dem durch den zweiten Photoleiter fließenden Antennenstrom oder genauer einem niederfrequenten An teil dieses Antennenstroms, während des Aktivierens des ersten Pho toleiters und des zweiten Photoleiters;

und Bestimmen der Amplitude und/oder der Phase des empfangenen

Terahertzsignals aus dem ersten Messsignal und dem zweiten Messsignal un ter Verwendung der definierten Phasenverschiebung und/oder Laufzeitdiffe renz zwischen dem ersten und dem zweiten Anteil des Lichtsignals.

Im letzten Schritt kann dabei zum Bestimmen der Amplitude und/oder der Phase die Auswerteeinheit des Empfängers verwendet werden. Mit dem vor geschlagenen Verfahren wird es möglich, die oben beschriebenen Vorteile der Empfangsantenne, des Empfängers und des Terahertzsystems für Kommuni kation oder Sensorik verfahrenmäßig nutzbar zu machen.

In manchen Beispielen des Verfahrens können der erste Anteil des von der mindestens einen Lichtquelle des Empfängers erzeugten Lichtsignals und der zweite Anteil des von der Lichtquelle des Empfängers erzeugten Lichtsignals optische Schwebungen oder Lichtpulse sein.

Bei der Verwendung von optischen Schwebungen eignet sich das Verfahren, wie oben ausgeführt, besonders für die Kommunikation mittels QAM oder für die Sensorik. Bei der Verwendung von Lichtpulsen eignet sich das Verfahren besonders für Laufzeitmessungen.

Weiterhin kann das vorgeschlagene Verfahren, sofern der Sender einen Mo dulator aufweist, die Schritte umfassen: Beaufschlagen des mittels des Sen ders des Terahertzsystems erzeugten Terahertzsignals mit einer Information durch Modulation der Phase und/oder der Amplitude des Terahertzsignals mittels des Modulators und Erfassen der Information, mit welcher das Terahertzsignal beaufschlagt ist

In dieser Form eignet sich das Verfahren besonders gut für die Kommunikati- on.

In einem solchen Verfahren kann weiterhin beim Beaufschlagen des mittels des Senders des Terahertzsystems erzeugten Terahertzsignals mit einer In

5 formation sowohl die Phase als auch die Amplitude des Terahertzsignals unter

Verwendung von Quadraturamplitudenmodulation moduliert werden und beim Erfassen der Information, mit welcher das Terahertzsignal beaufschlagt ist, das erste Messsignal und das zweite Messsignal als In-Phase-Komponente und Quadratur-Komponente verwendet werden.

10

Das Verfahren eignet sich somit besonders gut für die digitale Kommunikati on. In diesem Zusammenhang ermöglicht das Verfahren eine hohe Bandbreite und entsprechend eine hohe Datenübertragungsrate unter Ausnutzung eines Frequenzbereichs des elektromagnetischen Spektrums, der für solche An

15 wendungen noch wenig erschlossen ist.

Ein erfindungsgemäßes Verfahren kann ebenfalls weiterhin die Schritte um fassen: Anordnen einer Probe in einem Strahlengang zwischen dem Sender und dem Empfänger des Terahertzsystems, wobei ein Anteil des von dem

20 Sender erzeugten Terahertzsignals durch Wechselwirken mit der Probe mit einer geänderten Phase und/oder Amplitude und/oder einer zweiten Lauf zeitdifferenz beaufschlagt wird, Erfassen der durch Wechselwirken mit der Probe geänderten Phase und/oder Amplitude und/oder einer von der Probe verursachten zweiten Laufzeitdifferenz des von dem Empfänger empfangenen

25 Terahertzsignals und Bestimmen einer Eigenschaft oder mehrerer Eigenschaf ten der Probe aus der so erfassten geänderten Phase und/oder Amplitude und/oder Frequenz und/oder zweiten Laufzeitdifferenz.

In dieser Form eröffnet das Verfahren die Möglichkeit, Eigenschaften der Pro

BO be, welche Terahertzmessungen zugänglich sind, besonders schnell und ein fach zu bestimmen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand Fig. 1A bis Fig. 6 erläutert. Dabei zeigen, jeweils schematisch,

35

Fig. lA eine Empfangsantenne für Terahertzstrahlung, Fig. 1B eine Aufsicht und eine Seitenansicht einer Empfangsantenne der in Fig. 1A gezeigten Art, wobei diese als optoelektronischer Chip realisiert ist,

Fig. 2 eine Detailansicht eines Empfängers für Terahertzstrahlung mit einer Empfangsantenne der in Fig. 1B gezeigten Art,

Fig. 3 eine Skizze eines Funktionsprinzips eines IQ-Empfängers für

Terahertzstrahlung mit einer Empfangsantenne gemäß Fig. 1A oder 1B,

Fig. 4 ein homodynes Terahertzsystem mit Dauerstrichlasern, das einen IQ- Empfänger der in Fig. 3 skizzierten Art aufweist,

Fig. 5 ein homodynes Terahertzsystem mit einem Pulslaser, das ein weiteres Beispiel eines Empfängers für Terahertzstrahlung mit einer Empfangsantenne der in Fig. 1A oder 1B gezeigten Art aufweist,

Fig. 6 ein heterodynes Terahertzsystem mit einem Empfänger wie in Fig. 4, aber mit einer anderen Ausführungsform eines Senders.

Die in Fig. 1A skizzierte Empfangsantenne 1 für Terahertzstrahlung 30 weist, wie auch das konkrete Ausführungsbeispiel aus Fig. 1B, einen zweigeteilten Antennenleiter 2 und einen mit dem Antennenleiter 2 verschalteten und durch Licht 9 aktivierbaren ersten Photoleiter 3 auf, der in einem aktivierten Zustand einen durch den Antennenleiter 2 und den ersten Photoleiter 3 flie ßenden Antennenstrom 28 ermöglicht.

Weiterhin weist die Empfangsantenne 1 einen ebenfalls mit dem Antennenlei ter 2 verschalteten und durch Licht 9 aktivierbaren zweiten Photoleiter 4 auf, der mit dem ersten Photoleiter 3 parallel geschaltet ist und in einem aktivier ten Zustand einen durch den Antennenleiter 2 und den zweiten Photoleiter 4 fließenden Antennenstrom 28 ermöglicht. Zwischen jeden der Photoleiter 3, 4 und jeden der beiden Teile des zweigeteilten Antennenleiter 2 ist mittels elektrischer Kontaktierungen 6 jeweils ein Hochpassfilter 8 geschaltet.

Mittels der Kontaktierungen 6 ist jeder der Photoleiter 3, 4 mit jeweils einem Messverstärker 10 verbunden. Die Kontaktierungen 6 ermöglichen es, mittels der Messverstärker 10 jeweils ein Messsignal, etwa einen niederfrequenten Anteil 29 des durch den jeweiligen Photoleiter 3, 4 fließenden Antennen stroms 28, abzunehmen.

Wiederkehrende Merkmale sind in den Figuren jeweils mit den gleichen Be zugszeichen versehen. Die in Fig. 1B gezeigte Empfangsantenne 1 ist als optoelektronischer Chip auf einem Substrat 5, bestehend aus InP oder GaAs, ausgeführt.

Auf dem Substrat 5 sind aufgebracht: der erste Photoleiter 3 und der zweite Photoleiter 4; die Kontaktierungen 6, die mit den Photoleitern 3 und 4 elekt risch verschaltet sind; der zweigeteilte Antennenleiter 2, ausgeführt als metal lische Schicht und von den elektrischen Kontaktierungen 6 durch eine dielekt rische Schicht 7 getrennt, wobei die dielektrische Schicht 7 zusammen mit einem darüber liegenden Teil des Antennenleiters 2 und jeweils einer der Kontaktierungen 6 jeweils einen Kondensator bildet, der als Hochpassfilter 8 zwischen dem Antennenleiter 2 und dem jeweiligen Photoleiter 3 oder 4 wirkt. Die beiden Photoleiter 3 und 4 sind in dieser Anordnung parallel ge schaltet.

Die Kondensatoren, gebildet aus der dielektrischen Schicht 7, den Kontaktie rungen 6 und dem Antennenleiter 2, sind dabei so dimensioniert, dass sich für den Hochpassfilter 8 eine Transmissionskante zwischen 50 GHz und 100 GHz ergibt.

Die Photoleiter 3 und 4 sind als epitaktische Schichten im Materialsystem In- Ga-Al-As-P realisiert. Der Abstand zwischen den Photoleitern 3 und 4 beträgt weniger als 50 pm. Die Photoleiter 3 und 4 sind durch Licht 9 (als Pfeile ange deutet) aktivierbar, wodurch in einem aktivierten Zustand jeweils ein durch den Antennenleiter 2 und einen aktivierten Photoleiter 3 oder 4 fließender Antennenstrom 28 ermöglicht wird. Die Photoleiter 3 und 4 sind dabei so an geordnet, dass zwischen Ihnen ein Abstand von weniger als 50 pm besteht, möglicherweise sogar weniger als 20 pm oder 10 pm.

Die Empfangsantenne 1 weist weiterhin zwei Messverstärker 10 auf, wobei jeder der Messverstärker über Zuleitungen 11 mit den Kontaktierungen 6 ei- nes der Photoleiter 3 und 4 verbunden ist. Der mit dem ersten Photoleiter 3 verbundene Messverstärker 10 ist eingerichtet zum Erfassen eines ersten Messsignals, das dem niederfrequenten Anteil des durch den ersten Photolei ter 3 fließenden Antennenstroms entspricht; der mit dem zweiten Photoleiter 4 verbundene Messverstärker 10 ist eingerichtet zum Erfassen eines zweiten Messsignals, das dem niederfrequenten Anteil des durch den zweiten Photo leiter 4 fließenden Antennenstroms entspricht. Als Messverstärker werden Transimpedanzverstärker (TIAs) verwendet, die sich durch ihre gute Eignung zum Messen kleiner Ströme auszeichnen.

In einem weiteren Ausführungsbeispiel der Empfangsantenne 1 (nicht ge zeigt), kann die dielektrische Schicht 7 entfallen, können die Kontaktierungen 6 also direkt mit dem Antennenleiter 2 elektrisch verschaltet sein. Die Hoch passfilter 8 können dann durch mäanderförmige Leiterbahnen als

Induktivitäten realisiert sein, die von den Kontaktierungen 6 abzweigen und mit einem Bezugspotential verschaltet sind.

Eine Anwendung der Empfangsantenne aus Fig. 1A oder 1B ist in Fig. 4 zu se hen, die einen Empfänger 12 für Terahertzstrahlung im Kontext eines

Terahertzsystems 21 zeigt. Der Empfänger 12 weist außer der Empfangsan tenne 1 eine Lichtquelle 13, zwei Strahlteiler 14 und zwei Koppler 14' auf. Die Lichtquelle 13 ist zum Erzeugen eines Lichtsignals zum Aktivieren des ersten Photoleiters 3 und des zweiten Photoleiters 4 eingerichtet.

Die Lichtquelle 13 enthält zwei gleichartige Dauerstrichlaser LI und L2, die gegeneinander so verstimmt oder verstimmbar sind, dass durch Kombinieren von Licht der beiden Laser LI und L2 ein optisches Schwebungssignal erzeugt werden kann.

Die Dauerstrichlaser LI und L2 sind dazu mit Strahlteilern 14 gekoppelt. Zur Aktivierung der Empfangsantenne vorgesehene Lichtanteile des von den La sern LI und L2 erzeugten Lichts werden zunächst mittels der Strahlteiler 14 in jeweils zwei Anteile aufgeteilt. Einer dieser Anteile wird mit einer Phasenver schiebung DF beaufschlagt. Mittels der Koppler 14' wird nun jeweils einer der auf den Laser LI und einer der auf den Laser L2 zurückgehenden Anteile über lagert, wodurch zwei getrennte Anteile desselben mittels der beiden Laser LI und L2 der Lichtquelle erzeugten Schwebungssignals gebildet werden.

Auf diese oder ähnliche Weise kann ein erster Anteil eines Lichtsignals dem ersten Photoleiter S und ein demgegenüber mit einer definierten Phasenver schiebung und/oder Laufzeitdifferenz beaufschlagter zweiter Anteil desselben Lichtsignals dem zweiten Photoleiter 4 zugeführt werden. Durch Wellenleiter 15 wird ein erster dieser Anteile des Schwebungssignals zum ersten Photolei ter S und ein zweiter dieser Anteile zum zweiten Photoleiter 4 geleitet.

Wie in Fig. 2 gezeigt, können die Wellenleiter 15 dabei durch einen planaren integrierten Wellenleiter-Chip 18 realisiert sein. Die Anteile des Lichtsignals werden bei diesem Ausführungsbeispiel über optische Fasern 24 in die Wel lenleiter 15 eingekoppelt. Derjenige Wellenleiter 15 oder diejenige optische Faser 24, der bzw. die den zweiten Anteil des Lichtsignals dem zweiten Photo leiter 4 zuführt, ist durch einen Längenunterschied gegenüber dem Wellenlei ter 15 bzw. der optischen Faser 24, der bzw. die den ersten Anteil des Licht signals dem ersten Photoleiter 3 zuführt, dazu eingerichtet, den zweiten An teil des Lichtsignals mit einer festen Phasenverschiebung von 90° zu beauf schlagen. Durch den integrierten Wellerleiter-Chip 18 kann die Dimension der Fasern 24 an die Dimension und den Abstand der Photoleiter 3 und 4 ange passt werden.

Der Empfänger 12 weist ferner einen digitalen Prozessor (nicht gezeigt) als Auswerteeinheit auf, welche die von den Messverstärkern 10 erfassten Mess signale auswertet und daraus - durch Ausnutzen der bekannten Phasenver schiebung - die Amplitude und die Phase der empfangenen

Terahertzstrahlung bestimmt.

In dem in Fig. 2 gezeigten Beispiel ist der integrierte Wellenleiter-Chip 18 als separates Element ausgeführt. Stattdessen können die Wellenleiter 15 auch ebenso wie die Lichtquelle 13 auf dem Substrat 5 des optoelektronischen Chips der Empfangsantenne 1 integriert sein.

Außerdem kann der Empfänger 12, wie in Fig. 2 gezeigt, eine verstellbare op tische Verzögerungseinheit 17 aufweisen, die in einen der Wellenleiter 15 integriert und dazu eingerichtet ist, den zweiten Anteil des Lichtsignals mit einer verstellbaren Phasenverschiebung zu beaufschlagen.

In einem weiteren Ausführungsbeispiel des Empfängers 12, das in Fig. 5 im Kontext eines weiteren Terahertzsystems 21' abgebildet ist, tritt an die Stelle der beiden Dauerstrichlaser LI und L2 ein Pulslaser L, der zum Erzeugen eines optischen Lichtpulses eingerichtet ist. Dieser Empfänger 12 weist ebenfalls eine verstellbare optische Verzögerungseinheit 17 auf, wobei diese dazu ein gerichtet ist, den zweiten Anteil des Lichtsignals mit einer verstellbaren Lauf zeitdifferenz zu beaufschlagen.

Der in Fig. 4 als Bestandteil des Terahertzsystems 21 gezeigte Empfänger 12 kann - wie weiter oben beschrieben - als IQ-Empfänger verwendet werden. Das entsprechende Funktionsprinzip ist in Fig. 3 dargestellt. Der Antennenlei ter 2 des Empfängers 12 ist, wie oben beschrieben, über die Hochpassfilter 8 (hier nicht gezeigt) mit dem ersten Photoleiter 3 und dem zweiten Photoleiter 4 verbunden. Diese werden durch das periodische Schwebungssignal 9' akti viert, wobei der zweite Anteil des Schwebungssignals 9' gegenüber dem ers ten Anteil eine Phasenverschiebung von 90° aufweist. Das in Fig. 1A und 1B veranschaulichte Licht 9 zum Anregen oder Aktivieren der Photoleiter 3 und 4 entspricht in diesem Fall den zwei Anteilen des Schwebungssignals 9'. Das bei gegebener Frequenz durch seine Phase und seine Amplitude bestimmte Terahertzsignal 19 kann - wie abgebildet - im Zeigerdiagramm in eine I- Komponente 19' und eine dazu orthogonale Q-Komponente 19" zerlegt wer den. Aufgrund der Phasenverschiebung von 90° zwischen den beiden Anteilen des Schwebungssignals 9' können die durch die entsprechenden Photoleiter 3 und 4 fließenden Ströme mit den Komponenten 19' und 19" identifiziert wer den, was die Bestimmung der Phase und Amplitude des Terahertzsignals 19 ermöglicht.

Das in Fig. 4 gezeigte Terahertzsystem 21 umfasst auch einen Sender 20, ein gerichtet zum Erzeugen von Terahertzstrahlung, wobei der Empfänger 12 zum Empfangen von mittels des Senders 20 erzeugter Terahertzstrahlung einge richtet ist.

Der Sender 20 weist einen Antennenleiter 2 und ein mit dem Antennenleiter 2 optisch gekoppeltes lichtempfindliches Element 27 auf, wobei das lichtemp findliche Element 27 in einem aktivierten Zustand und bei Anliegen einer Vor spannung einen durch den Antennenleiter 2 und das lichtempfindliche Ele ment 27 fließenden Antennenstrom verursacht. Der Sender 20 gleicht somit in seinem Aufbau weitgehend dem Empfänger 12, wobei der Sender 20 nur ein lichtempfindliches Element 27 aufweist. Die Vorspannung wird von einer Spannungsquelle 22 geliefert.

Sender 20 und Empfänger 12 werden in diesem Ausführungsbeispiel ferner von derselben Lichtquelle IS gespeist, d.h. die Lichtquelle 13 des Empfängers 12 ist optisch mit dem lichtempfindlichen Element 27 des Senders 20 gekop pelt und zum Erzeugen eines Lichtsignals zum Aktivieren des lichtempfindli chen Elements 27 des Senders 20 eingerichtet. Das Terahertzsystem 21 wird daher auch als homodynes System bezeichnet.

Empfängerseitig wird das optische Schwebungssignal 9' durch den Strahlteiler 14 in den ersten Anteil und den zweiten Anteil aufgeteilt, welche durch die Wellenleiter 15 zu den Photoleitern 3 und 4 geleitet werden, wobei der zweite Anteil beim Erreichen des zweiten Photoleiters 4 die Phasenverschiebung DF gegenüber dem ersten Anteil beim Erreichen des ersten Photoleiters 3 auf weist.

Das Terahertzsystem 21 ermöglicht ein Verfahren zum Erzeugen und Detek- tieren von Terahertzstrahlung unter Verwendung des Terahertzsystems 21. Hierbei wird mittels des Senders 20 ein Terahertzsignal 19 erzeugt. Dazu wird an den Antennenleiter 2 des Senders 20 mittels der Spannungsquelle 22 eine Vorspannung angelegt. Das lichtempfindliche Element 27 des Senders 20 wird durch das von der Lichtquelle 13 erzeugte Lichtsignal aktiviert, wodurch ein Antennenstrom als Wechselstrom mit der Periode des Schwebungssignals durch das lichtempfindliche Element 27 fließt, was das Abstrahlen des Terahertzsignals 19 durch den Antennenleiter 2 zur Folge hat.

Das mittels des Senders 20 erzeugte Terahertzsignal 19 wird mittels des Emp fängers 12 empfangen. Dazu wird der erste Photoleiter 3 der Empfangsanten ne 1 des Empfängers 12 durch den ersten Anteil des von der Lichtquelle 13 des Empfängers 12 erzeugten Lichtsignals aktiviert. Der zweite Photoleiter 4 der Empfangsantenne 2 des Empfängers 12 wird durch den zweiten Anteil des von der Lichtquelle 13 des Empfängers 12 erzeugten Lichtsignals aktiviert, wobei der zweite Anteil gegenüber dem ersten Anteil eine Phasenverschie bung DF von 90° aufweist. Gleichzeitig mit dem Aktivieren der Photoleiter 3 und 4 wird mittels der Messverstärker 10 das erste Messsignal, entsprechend dem niederfrequenten Anteil des durch den ersten Photoleiter 3 fließenden Antennenstroms, und das zweite Messsignal, entsprechend dem niederfre quenten Anteil des durch den zweiten Photoleiter 4 fließenden Antennen stroms, gemessen.

Durch Ausnutzen der bekannten Phasenverschiebung DF wird unter Verwen dung der Auswerteeinheit die Amplitude und Phase des empfangenen Terahertzsignals 19 aus dem ersten Messsignal und dem zweiten Messsignal bestimmt.

Eine beispielhafte Anwendung des beschriebenen Verfahrens eignet sich be sonders zur Untersuchung einer Probe 23. Die Probe 23 wird hierbei in einem Strahlengang zwischen dem Sender 20 und dem Empfänger 12 angeordnet (in Fig. 4 durch Pfeil angedeutet). Ein Anteil des von dem Sender 20 erzeugten Terahertzsignals 19 wird durch Wechselwirken mit der Probe 23 mit einer geänderten Phase und/oder Amplitude beaufschlagt.

Die durch Wechselwirken mit der Probe 23 geänderte Phase/und oder Ampli tude des Terahertzsignals 19 wird durch die Auswerteeinheit erfasst. Aus der so erfassten Phase und/oder Amplitude wird eine Eigenschaft oder mehrere Eigenschaften der Probe 23 bestimmt. Je nach Anordnung der Probe 23 kann dabei von der Probe 23 transmittierte oder reflektierte Terahertzstrahlung detektiert werden.

Das in Fig. 5 gezeigte Terahertzsystem 21' entspricht in seinem Aufbau in wei ten Teilen dem Terahertzsystem 21 in Fig. 4. Daher werden hier nur die Unter scheidungsmerkmale gegenüber dem Terahertzsystem 21 aus Fig. 4 beschrie ben. Auch dieses Terahertzsystem 21' ist ein homodynes System, bei dem also Sender 20 und Empfänger 12 von derselben Lichtquelle 13 gespeist werden. Anstelle der beiden Dauerstrichlaser LI und L2 weist die Lichtquelle 13 des Empfängers 12 hier den Pulslaser L auf, der zum Erzeugen optischer Lichtpulse eingerichtet ist. Der zweite Anteil des Lichtpulses weist beim Erreichen des zweiten Photoleiters 4 die Laufzeitdifferenz DT gegenüber dem ersten Anteil beim Erreichen des ersten Photoleiters 3 auf.

Zusätzlich ist zwischen die Lichtquelle 13 und das lichtempfindliche Element 27 des Senders 20 eine zweite verstellbare optische Verzögerungseinheit 25 optisch geschaltet, welche eine Einstellung der relativen Zeitlage der Sende- und Abtastpulse erlaubt.

Das Terahertzsystem 21' nach Fig. 5 eignet sich für ein weiteres Beispiel des oben beschriebenen Verfahrens. Auch in diesem Beispiels wird eine Probe 23 in einem Strahlengang zwischen dem Sender 20 und dem Empfänger 12 ange ordnet (durch Pfeil angedeutet). Die Probe 23 kann dabei so angeordnet sein, dass den Empfänger 12 ein transmittierter Anteil des Terahertzsignals 19 trifft, aber auch so, dass den Empfänger 12 mindestens ein reflektierter Anteil des Terahertzsignals 19 trifft, wobei wenigstens ein Anteil des

Terahertzsignals 19, der den Empfänger 12 trifft, durch Wechselwirken mit der Probe 23 mit einer zweiten Laufzeitdifferenz beaufschlagt wird.

Die zweite Laufzeitdifferenz wird durch die Auswerteeinheit erfasst, wozu in manchen Verfahrensformen die verstellbare optische Verzögerungseinheit 17 und/oder die zweite verstellbare optische Verzögerungseinheit 25 verstellt wird. Aus der so erfassten zweiten Laufzeitdifferenz und/oder einer Abschwä chung der Terahertzstrahlung durch die Probe 23 wird eine Eigenschaft oder mehrere Eigenschaften der Probe 23 bestimmt, beispielsweise eine Dicke.

Fig. 6 zeigt ein weiteres Terahertzsystem 21", ausgeführt als heterodynes Sys tem, bei dem also Sender 20 und Empfänger 12 von unterschiedlichen Licht quellen 13' und 13 gespeist werden. Der Empfänger 12, der von der Lichtquel le 13 gespeist wird, ist hierbei vollständig analog zu dem Empfänger 12 in Fig. 4, auf deren Beschreibung daher verwiesen wird. Der Sender 20 wird bei dem Terahertzsystem von der Lichtquelle 13' gespeist, wobei die Lichtquelle 13' zwei gleichartige Dauerstrichlaser L3 und L4, aufweist, die gegeneinander so verstimmt sind, dass durch Kombinieren von Lichtsignalen der beiden Laser L3 und L4 ein optisches Schwebungssignal erzeugt werden kann, wobei die Schwebungsfrequenz der Frequenz der durch Kombinieren der beiden Laser LI und L2 erzeugten Schwebung identisch ist.

Die Schwebungsfrequenz des durch Kombinieren der Lichtsignale der beiden Laser LS und L4 erzeugten optischen Schwebungssignals muss jedoch nicht gleich der Schwebungsfrequenz des durch Kombinieren der Lichtsignale der beiden Laser LI und L2 erzeugten optischen Schwebungssignals sein. Es kön nen auch zwei Schwebungssignale unterschiedlicher Schwebungsfrequenz verwendet werden. Die Differenz der beiden Schwebungsfrequenzen oder - bei zusätzlicher Modulation - die Summe aus der genannten Differenz und der Modulationsfrequenz - sollte in diesem Fall jedoch geringer sein als die Transmissionskante der Hochpassfilter.

Der Sender 20 weist weiterhin einen Modulator 26 auf, der dazu eingerichtet ist, eine erzeugte Terahertzstrahlung durch Phasenmodulation und/oder Amplitudenmodulation mit einer Information zu beaufschlagen. Dazu ist der Modulator 26 als verstellbare optische Verzögerungseinheit ausgeführt, wel che das von dem Laser LS erzeugte Lichtsignal vor dem Kombinieren mit dem von dem Laser L4 erzeugten Lichtsignal mit einer verstellbaren Phasendiffe renz beaufschlagt. Zusätzlich oder alternativ kann der Modulator 26 auch zum Modulieren der Amplitude der erzeugten Terahertzstrahlung eingerichtet sein, beispielsweise durch Modulieren der Laserleistung der Laser L3 und L4.

Ein weiteres Beispiel des oben anhand von Fig. 4 beschriebenen Verfahrens wird vorteilhaft unter Verwendung des in Fig. 6 gezeigten heterodynen Terahertzsystems 21" möglich, wobei sich dieses Verfahren besonders zur Kommunikation eignet. Hierbei wird das beschriebene Verfahren dadurch abgewandelt, dass das mittels des Senders 20 des Terahertzsystems 21" er zeugte Terahertzsignal 19 mit einer Information durch Modulation der Phase und/oder der Amplitude des Terahertzsignals 19 mittels des Modulators 26 beaufschlagt wird und dass die Information, mit welcher das Terahertzsignal 19 beaufschlagt wird, erfasst wird.

Eine besondere Ausführung dieses Verfahrens ist speziell für die Kommunika tion mittels des oben beschriebenen IQ-Verfahrens eingerichtet. Hierbei wird beim Beaufschlagen des mittels des Senders 20 des Terahertzsystems 21" erzeugten Terahertzsignals 19 mit einer Information sowohl die Phase als auch die Amplitude des Terahertzsignals 19 unter Verwendung von Quadra turamplitudenmodulation moduliert; beim Erfassen der Information, mit wel cher das Terahertzsignal 19 beaufschlagt ist, werden das erste Messsignal und das zweite Messsignal als In-Phase-Komponente und Quadratur-Komponente verwendet.

Liste der Bezugszeichen

1 Empfangsantenne

2 Antennenleiter

3 Erster Photoleiter

4 Zweiter Photoleiter

5 Substrat

6 Kontaktierung

7 Dielektrische Schicht

8 Hochpassfilter

9 Licht

9' Schwebungssignal

10 Messverstärker

11 Zuleitungen

12 Empfänger

13 Lichtquelle

14 Strahlteiler

14' Koppler

15 Wellenleiter

17 Verstellbare optische Verzögerungseinheit

LI, L2 Dauerstrichlaser

L Pulslaser

18 Integrierter Wellenleiter-Chip

19 Terahertzsignal

19' I-Komponente

19" Q-Komponente

20 Sender

21, 21', 21" Terahertzsystem 22 Spannungsquelle

23 Probe

24 Optische Fasern

25 Zweite verstellbare optische Verzögerungseinheit 26 Modulator

27 Lichtempfindliches Element

28 Antennenstrom

29 Niederfrequenter Anteil

30 Terahertzstrahlung