Halbleiterlithographie

Diese Anmeldung nimmt die Priorität der deutschen Patentanmeldung DE 10 2019 200 388.5 in Anspruch, der Inhalt hierin vollumfänglich durch Bezugnahme aufge nommen wird.

Die Erfindung betrifft eine Schutzvorrichtung für Leitungen in einer Projektionsbelich tungsanlage für die Halbleiterlithographie.

Zwischen den Komponenten einer Projektionsbelichtungsanlage der Halbleitertech nologie werden über Leitungen Energie, Signale und andere Versorgungsmedien untereinander ausgetauscht, wodurch die Subsysteme untereinander verbunden sind. Diese Leitungen verlaufen üblicherweise in Schutzvorrichtungen, um eine Beschädigung der Leitungen während des Transports und dem Montageprozess zu vermeiden. Speziell Lichtwellenleiter zur Übertragung von optischen Signalen müssen vor mechanischer Fremdeinwirkung, wie beispielsweise durch Kollision mit Werkzeugen oder Bauteilen der Komponenten, sowie der Unterschreitung des Mindestbiegeradius geschützt werden.

Die Leitungen in den Schutzvorrichtungen stellen eine mechanische Verbindung zwischen den Komponenten dar, welche auch unerwünschte mechanische Schwin gungen übertragen können. Daher müssen die Schutzvorrichtungen so ausgebildet sein, dass Sie minimale statische und dynamische Steifigkeiten von einer Kompo nente zu einer mit dieser verbundenen Komponente übertragen, also die Komponen ten maximal voneinander entkoppeln. Die statische Steifigkeit ergibt mit einer Auslenkung zusammen eine Kraft, die bei einer Relativbewegung der beiden Kom ponente zueinander auf beide Komponenten wirkt. Die dynamische Steifigkeit beschreibt die frequenzabhängige Steifigkeit eines Körpers, die Einfluss auf die Regelbarkeit von Komponenten hat. Die Schutzvorrichtungen sind im Stand der Technik beispielsweise als Wellschläu che aus Stahl ausgebildet, die in einem Bogen zwischen zwei Komponenten oder Subsystemen angeordnet sind. Die Wellschläuche bieten einen ausreichenden mechanischen Schutz und können bei entsprechender Auslegung auch eine Unter- schreitung des Mindestbiegeradius von Lichtwellenleitern sicherstellen. Diese weisen für die gesteigerten Anforderungen in den neuesten Generationen von Projektionsbelichtungsanlagen eine zu hohe statische und dynamische Steifigkeit auf. Alternative Kunststoffschläuche, die die statischen und dynamischen Steifig keitsanforderungen erfüllen neigen zu starkem Ausgasen und/oder schützen nicht bezüglich der Unterschreitung des Biegeradius und sind daher nicht für den Einsatz in einer Projektionsbelichtungsanlage geeignet.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung bereitzustellen, welche die oben beschriebenen Nachteile des Standes der Technik löst.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung den Merkmalen des unabhängi- gen Anspruchs. Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Weiterbildungen und Varianten der Erfindung.

Eine erfindungsgemäße Schutzvorrichtung für Leitungen zwischen zwei Komponen ten einer Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie, wobei die Schutzvorrichtung mit beiden Komponenten fest verbunden ist, umfasst mindestens einen ersten Teilbereich und mindestens einen zweiten Teilbereich, wobei der erste Teilbereich und der zweite Teilbereich zum Schutz vor mechanischen Beschädigun gen der Leitungen ausbildet sind. Der erste Teilbereich ist dabei zumindest zeitwei se zur mechanischen Entkopplung zwischen der ersten und zweiten Komponente eingerichtet. Die Leitungen, die durch die Schutzvorrichtung zu jedem Zeitpunkt vor mechani scher Beschädigung geschützt sind, wobei auch die Unterschreitung eines minima len Biegeradius als mechanische Beschädigung angesehen wird, können als elektrische oder optische Leiter, wie beispielsweise Lichtwellenleiter, oder andere Versorgungsleitungen für Fluide ausgebildet sein. Die entkoppelnde Wirkung des ersten Teilbereiches kann zu bestimmten Zeitpunkten, wie beispielsweise beim Transport der verbundenen Komponenten, nicht gegeben sein, was wiederum den Schutz vor mechanischer Beschädigung beim Transport verbessern kann, da geringere Relativbewegungen der Leitungen möglich sind und so beispielsweise ein Anschlägen der Leitungen in der Schutzvorrichtung vermieden werden kann. Der zweite Teilbereich kann beispielsweise als Wellschlauch oder aber als gebogenes Stahlrohr ausgebildet sein.

In einer Variante der Erfindung kann der zweite Teilbereich mehrere Segmente umfassen. Die Segmente sind nicht direkt miteinander zusammenhängende Ab schnitte des Teilbereichs, die die gleiche Funktion haben, wie beispielsweise Schutz vor mechanischer Beschädigung und Flexibilität. Diese sind häufig nahezu identisch aufgebaut, beispielsweise können alle Segmente des zweiten Teilbereichs als Wellschlauch oder als Stahlrohr ausgebildet sein, wobei auch eine Kombination aus Wellschlauch und Stahlrohr denkbar ist. Diese Segmente haben nur geringe bezie hungsweise keine entkoppelnden Eigenschaften. Zwischen den Segmenten kann beispielsweise ein erster Teilbereich der Schutzvorrichtung angeordnet sein.

Insbesondere können die Segmente des zweiten Teilbereichs mit unterschiedlichen Längen ausgeführt sein. Mechanische Schwingungen, die der Frequenz der Eigen moden oder Resonanzen der Segmente entsprechen, können von diesen verstärkt übertragen werden, wobei die Eigenmoden unter anderem von deren Länge abhän- gen. Sind die Segmente des zweiten Teilbereichs unterschiedlich lang, können die mechanischen Schwingungen eines ersten Segments nur noch abgeschwächt vom zweiten Segment weiter übertragen werden, da diese das zweite Segment nicht in den vom ersten Segment unterschiedlichen Eigenmoden anregen. Die Ausbildung der Segmente in verschiedenen Längen kann zu einer Reduzierung der Amplituden für bestimmte Frequenzen führen.

Weiterhin kann der erste Teilbereich mit mindestens einem Segment des zweiten Teilbereiches fest verbunden sein. Insbesondere kann die Verbindung zwischen dem ersten Teilbereich und dem mindestens einen Segment des zweiten Teilbereiches eine Klemmverbindung sein. Auch zur Befestigung der Schutzvorrichtung an den Komponenten, also zwischen einer Komponente und einem ersten Teilbereich und einer Komponente und einem zweiten Teilbereich, können Klemmvorrichtungen verwendet werden, wobei auch Schraubverbindungen oder einfache Steckverbindungen denkbar sind.

In einer Variante der Erfindung kann der erste Teilbereich in einer ersten und in einer zweiten Position mit dem mindestens einen Segment des zweiten Teilbereichs verbunden werden. Die beiden Teilbereiche sind also zueinander beweglich ange ordnet.

Insbesondere kann der erste Teilbereich in der ersten Position zwei Segmente des zweiten Teilbereiches oder ein Segment des zweiten Teilbereichs mit mindestens einer der beiden Komponenten fest miteinander verbinden. Der erste Teilbereich kann dabei ein Befestigungsmittel und eine Hülse umfassen, wobei das Befesti gungsmittel zur Verbindung mit den Segmenten des zweiten Teilbereichs bezie hungsweise den Komponenten ausgebildet ist, wogegen die Hülse keine direkte Verbindung mit den Segmenten des zweiten Teilbereichs oder den Komponenten hat, diese aber zumindest nahezu vollständig umgeben kann. In dieser ersten Position können zwei Segmente des zweiten Teilbereichs für den Fall, dass der zweite Teilbereich zwei Segmente umfasst, durch das Befestigungsmittel so mitei nander verbunden werden, dass keine Relativbewegung zwischen den beispielswei se als Stahlrohre ausgebildeten Segmenten des zweiten Teilbereichs mehr möglich ist. Im Fall, dass der zweite Teilbereich nur ein Segment umfasst, kann der erste Teilbereich das Segment des zweiten Teilbereichs mit einer der beiden Komponen ten verbinden, wobei eine Relativbewegung in dieser ersten Position ebenfalls nicht möglich ist.

Weiterhin kann der erste Teilbereich in der zweiten Position mit einem Segment des zweiten Teilbereichs oder der Komponente fest verbunden sein. Der erste Teilbe reich kann dabei nur mit einem der genannten Teile verbunden sein, sodass in dieser Position keine Verbindung zwischen den beiden Segmenten beziehungswei- se zwischen dem Segment des zweiten Teilbereichs und der Komponente vorhan den ist und eine Relativbewegung zwischen den beiden Segmenten des zweiten Teilbereichs oder dem Segment des zweiten Teilbereichs und der Komponente möglich ist. Dadurch kann eine Entkopplung zwischen den beiden Komponenten erreicht werden. Die Hülse des ersten Teilbereichs kann in dieser zweiten Position so positioniert sein, dass der Bereich der Leitungen, der nicht durch den zweiten Teilbereich der Schutzvorrichtung umschlossen wird, gegebenenfalls mit einem gewissen Abstand von der Hülse umschlossen werden kann. Somit ist der Schutz vor mechanischer Beschädigung auch in diesem Bereich gegeben. Die erste Position kann beispielsweise für den Transport der Komponenten und während der Montage der Projektionsbelichtungsanlage verwendet werden, wobei nach Abschluss der Montage, der erste Teilbereich von der ersten in die zweite Position geschoben wird und somit eine nahezu vollständige Entkopplung der beiden Komponenten zueinander gewährleistet werden kann, die nur noch durch die Leitungen selbst fest miteinander verbunden sind.

In einer Variante der Erfindung kann das Verhältnis der statischen Steifigkeit des ersten Teilbereiches und des zweiten Teilbereiches größer als 1 sein. Die statische Steifigkeit ergibt mit der Auslenkung zusammen eine Kraft, die bei einer Relativbe wegung der beiden Komponente zueinander auf beide Komponenten wirkt, wodurch eine Bewegung von einer Komponente auf die andere Komponente übertragen werden kann. Je geringer die statische Steifigkeit, desto geringer die Kräfte, die bei gleicher Auslenkung übertragen werden. Durch diese Wahl der statischen Steifigkeit des ersten Teilbereiches kann insbesondere auch die Einhaltung der erforderlichen Mindestbiegeradien sichergestellt werden. Daneben kann das Verhältnis der dynamischen Steifigkeit des ersten Teilbereiches und des zweiten Teilbereiches in einem Frequenzbereich von 500Hz-2000Hz kleiner als 1/10 sein. Die dynamische Steifigkeit beschreibt die frequenzabhängige Steifig keit eines Körpers, die Einfluss auf die Regelbarkeit von Komponenten über einen bestimmten Frequenzbereich hinweg hat. Des Weiteren kann der erste Teilbereich ein Material mit einer Eigendämpfung von größer als 20% umfassen. Dies kann beispielsweise ein Kunststoff sein, wie ein Perfluorkautschuk, der auch als FFKM bzw. FKM bekannt ist. Der Perfluorkautschuk besitzt eine sehr geringe Ausgasrate und ist daher für die Verwendung im Vakuum geeignet.

In einer Variante der Erfindung kann der erste Teilbereich mehrere Segmente umfassen. Alle Segmente des ersten Teilbereichs können zu der entkoppelnden Gesamtwirkung des ersten Teilbereiches beitragen. Die Segmente können dabei beispielsweise eine Muffe und zwei Befestigungsmittel umfassen. Die Muffe kann aus Perfluorkautschuk ausgestaltet sein, wodurch die Muffe eine Eigendämpfung besitzt, also Bewegungsenergie im Material in Wärmeenergie umwandeln kann, und so die Übertragung von mechanischer Energie zusätzlich dämpft. Der Perfluorkaut schuk ist flexibel genug, um Biegungen in der Schutzvorrichtung zuzulassen, aber auch steif genug, um die Unterschreitung eines zu kleinen Biegeradius sicherzustel- len. Die Befestigungsmittel können zur Verbindung der Muffe mit einem Segment des zweiten Teilbereichs oder einer der beiden Komponenten dienen.

Weiterhin können die Komponenten und die Segmente des ersten und zweiten Teilbereichs wie folgt nacheinander angeordnet sein:

- erste Komponente, Segment des ersten Teilbereichs, Segment des zweiten Teilbe- reichs, zweite Komponente oder,

- erste Komponente, Segment des zweiten Teilbereichs, Segment des ersten Teilbe reichs, zweite Komponente oder,

- erste Komponente, erstes Segment des ersten Teilbereichs, Segment des zweiten Teilbereichs, zweites Segment des ersten Teilbereichs, zweite Komponente oder, - erste Komponente, erstes Segment des ersten Teilbereichs, erstes Segment des zweiten Teilbereichs, zweites Segment des ersten Teilbereichs, zweites Segment des zweiten Teilbereichs, drittes Segment des ersten Teilbereichs, zweite Kompo nente oder, - erste Komponente, erstes Segment des ersten Teilbereichs, erstes Segment des zweiten Teilbereichs, zweites Segment des ersten Teilbereichs, zweites Segment des zweiten Teilbereichs, zweite Komponente oder,

- erste Komponente, erstes Segment des zweiten Teilbereichs, erstes Segment des ersten Teilbereichs, zweites Segment des zweiten Teilbereichs, zweites Segment des ersten Teilbereichs, zweite Komponente oder,

- erste Komponente, erstes Segment des zweiten Teilbereichs, Segment des ersten Teilbereichs, zweites Segment des zweiten Teilbereichs, zweite Komponente.

Bei einer größeren Anzahl von Segmenten des ersten und zweiten Teilbereichs sind weitere Anordnungen möglich. Insbesondere kann der erste Teilbereich als abge stimmter Massendämpfer ausgebildet werden. Im Fall, dass die Schutzvorrichtung in einer Schlinge von einer Komponente zur anderen Komponente ausgeführt ist und beispielsweise im tiefsten Punkt der Schlinge angeordnet ist, kann dieser so ausge- legt sein, dass er Bewegungen der Schlinge durch die Bewegung einer zusätzlichen Masse dämpft.

Weiterhin können die Materialien der Schutzvorrichtung vakuumtauglich sein, also geringe Ausgasraten aufweisen. Dies ermöglicht den Einsatz in Projektionsbelich tungsanalgen der neuesten Generation, die üblicherweise in Vakuum betrieben werden.

Nachfolgend werden Ausführungsbeispiele und Varianten der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen

Figur 1 den prinzipiellen Aufbau einer EUV-Projektionsbelichtungsanlage, in welcher die Erfindung verwirklicht sein kann, Figur 2 eine aus dem Stand der Technik bekannte Schutzvorrichtung,

Figur 3 eine erste Ausführungsform der Erfindung, Figur 4a - d weitere Varianten der ersten Ausführungsform der Erfindung und,

Figur 5a-b eine weitere Ausführungsform der Erfindung.

Figur 1 zeigt exemplarisch den prinzipiellen Aufbau einer EUV-Projektions- belichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie, in welcher die Erfindung Anwendung finden kann. Die Schutzvorrichtung kann beispielsweise zwischen einer nicht dargestellten Steuerung und der Projektionsoptik 9 angeordnet sein. Ein Beleuch tungssystem der Projektionsbelichtungsanlage 1 weist neben einer Lichtquelle 3 eine Beleuchtungsoptik 4 zur Beleuchtung eines Objektfeldes 5 in einer Objektebe- ne 6 auf. Eine durch die Lichtquelle 3 erzeugte EUV-Strahlung 14 als optische Nutzstrahlung wird mittels eines in der Lichtquelle 3 integrierten Kollektors derart ausgerichtet, dass sie im Bereich einer Zwischenfokusebene 15 einen Zwischenfo kus durchläuft, bevor sie auf einen Feldfacettenspiegel 2 trifft. Nach dem Feldfacet tenspiegel 2 wird die EUV-Strahlung 14 von einem Pupillenfacettenspiegel 16 reflektiert. Unter Zuhilfenahme des Pupillenfacettenspiegels 16 und einer optischen Baugruppe 17 mit Spiegeln 18, 19 und 20 werden Feldfacetten des Feldfacetten spiegels 2 in das Objektfeld 5 abgebildet.

Beleuchtet wird ein im Objektfeld 5 angeordnetes Retikel 7, das von einem schema- tisch dargestellten Retikelhalter 8 gehalten wird. Eine lediglich schematisch darge stellte Projektionsoptik 9 dient zur Abbildung des Objektfeldes 5 in ein Bildfeld 10 in eine Bildebene 11. Abgebildet wird eine Struktur auf dem Retikel 7 auf eine licht empfindliche Schicht eines im Bereich des Bildfeldes 10 in der Bildebene 11 ange ordneten Wafers 12, der von einem ebenfalls ausschnittsweise dargestellten Waferhalter 13 gehalten wird. Die Lichtquelle 3 kann Nutzstrahlung insbesondere in einem Wellenlängenbereich zwischen 5 nm und 120 nm emittieren.

Die Erfindung kann ebenso in einer DUV-Anlage verwendet werden, die nicht dargestellt ist. Eine DUV-Anlage ist prinzipiell wie die oben beschriebene EUV- Anlage 1 aufgebaut, wobei in einer DUV-Anlage Spiegel und Linsen als optische Elemente verwendet werden können und die Lichtquelle einer DUV-Anlage eine Nutzstrahlung in einem Wellenlängenbereich von 100 nm bis 300 nm emittiert.

Insbesondere kann die Erfindung auch zwischen Komponenten zur Anwendung kommen, von denen die eine an einem sogenannten Force Frame und die andere an einem sogenannten Sensor Frame angeordnet ist. Bei dem Force Frame handelt es sich um eine Tragstruktur einer Projektionsbelichtungsanlage, die die von den verwendeten Komponenten ausgehenden Kräfte, insbesondere deren Gewichtskräf te aufnimmt. Der Sensor Frame dagegen trägt im Wesentlichen nur Sensorkompo nenten und muss bestmöglich insbesondere von mechanischen Einflüssen des Force Frame entkoppelt sein, um beispielsweise möglichst präzise Positionsmes sungen zu gewährleisten.

Figur 2 zeigt einen aus dem Stand der Technik bekannte Schutzvorrichtung 30, die einen Wellschlauch 40 und zwei Befestigungsmittel 61 umfasst. Die Schutzvorrich tung 30 ist mit den Befestigungsmitteln 61 jeweils an einer der beiden Komponenten 60, 60' befestigt, wobei die Schutzvorrichtung 30 in einer in der Figur nicht geson dert bezeichneten Schlinge von einer Komponente 60 zur anderen Komponente 60' verläuft. Die Schlinge dient zur Entkopplung von Relativbewegungen zwischen den beiden Komponenten 60, 60‘, wobei mechanische Schwingungen über den Well schlauch 40 von einer Komponente 60 zur anderen Komponente 60' übertragen werden können. Die durch die Schutzvorrichtung 30 vor mechanischer Beschädi gung geschützten Leitungen 70 sind mit gestrichelten Linien angedeutet.

Figur 3 zeigt eine schematische Darstellung einer ersten Variante der Erfindung, wobei die Schutzvorrichtung 30 einen zwei Segmente 32, 32' umfassenden ersten Teilbereich 31 und einen als Wellschlauch 40 ausgebildeten zweiten Teilbereich 33 umfasst. Ein Segment 32, 32' des ersten Teilbereichs 31 umfasst dabei eine Muffe 42 und zwei Befestigungsmittel 41. Die Befestigungsmittel 41 verbinden die Muffe 42 jeweils mit dem zweiten Teilbereich 33 und mit einer der beiden Komponenten 60, 60‘. Die Muffe 42 kann beispielsweise Kunststoff, insbesondere Perfluorkautschuk umfassen. Die Flexibilität beziehungsweise die geringe Steifigkeit der Muffe 42 im io

Vergleich zu dem zweiten Teilbereich 33 führt einerseits zu einer Entkopplung der beiden Komponenten 60, 60' zueinander, andererseits wird durch die Eigendämp fung der Muffe 42 die Energie, die in Form von mechanischer Schwingungsenergie im System vorhanden ist, reduziert. Die Ausführung des Wellschlauches 40 ist nahezu identisch zu dem in der Figur 2 gezeigten Stand der Technik, wobei auch die Schlinge zur weiteren Entkopplung beibehalten wird. Die Leitungen 70 sind wiede rum als gestrichelte Linien angedeutet.

Figur 4a - 4d zeigen verschiedene Varianten einer erfindungsgemäßen Schutzvor richtung 30, wobei die Schutzvorrichtungen 30 zur Vereinfachung der Darstellung jeweils ohne Schlinge dargestellt sind. Die Segmente 32, 32‘, 32“ des ersten Teilbe reiches 31 sind im Wesentlichen identisch zu den in Figur 3 gezeigten Segmenten 32, 32' und umfassen jeweils eine Muffe 42 und zwei Befestigungsmittel 41.

Figur 4a zeigt eine erste Variante der Schutzvorrichtung 30, bei welcher der erste Teilbereich 31 nur ein Segment 32 umfasst. Dabei verbindet das erste Befesti gungsmittel 41 die Muffe 42 mit der Komponente 60 und das zweite Befestigungsmit tel 41 wiederum die Muffe 42 mit dem zweiten Teilbereich 33, der ebenfalls nur ein Segment 34 aufweist. Das Segment 34 ist mit einem Befestigungsmittel 61 mit der Komponenten 60' verbunden. Die entkoppelnde Wirkung des ersten Teilbereichs 31 ist nahezu identisch zu der in Figur 3 beschriebenen.

Figur 4b zeigt eine weitere Variante der Schutzvorrichtung 30, wobei der erste Teilbereich 31 ebenfalls nur ein Segment 32 aufweist. Dieses ist zwischen zwei Segmenten 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33 angeordnet. Die Segmente 34, 34' sind durch Befestigungsmittel 61 mit den Komponenten 60, 60' verbunden. In dieser Anordnung ist es denkbar, den ersten Teilbereich 31 zusätzlich als abgestimmten Dämpfer auszubilden. Dabei wirkt der erste Teilbereich 31 neben der Eigendämp fung und Entkopplung der Muffe 42 als Ganzes zusätzlich als Tilger, der die

Amplituden in einer Resonanzfrequenz der Schutzvorrichtung 30 auf ein Minimum reduzieren kann. Figur 4c zeigt eine weitere Variante der Schutzvorrichtung 30, die eine Kombination der in Figur 3 und der Figur 4a gezeigten Varianten entspricht, also drei Segmente 32, 32‘, 32“ des ersten Teilbereiches 31 und zwei Segmente 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33 umfasst. Die Segmente 32, 32‘, 32“ des ersten Teilbereichs 31 sind jeweils zwischen einer Komponente 60, 60' und je einem Segment 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33 beziehungsweise zwischen den Segmenten 34, 34' ange ordnet.

Figur 4d zeigt eine weitere Variante der Schutzvorrichtung 30, die hinsichtlich der Anordnung der Segmente 32, 32‘, 32“, 34, 34' nahezu identisch zu der in Figur 4c gezeigten Schutzvorrichtung 30 ausgeführt ist. Die beiden Segmente 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33 sind dabei unterschiedlich lang, wodurch die Weiterleitung von mechanischen Schwingungen, deren Frequenz einer Resonanzfrequenz des ersten Segments 34 entspricht, deutlich reduziert wird. Auf Grund der durch die unterschiedliche Längen voneinander abweichenden Resonanzfrequenzen der Segmente 34 und 34' werden mechanische Schwingungen des Segmentes 34 durch das Segment 34' nicht vollständig übertragen. Dieser Effekt wird beispielsweise bei Schallschutzverglasungen dadurch erreicht, dass unterschiedlich dicke Scheiben verwendet werden.

Figur 5a und b zeigen eine weitere Ausführungsform der Schutzvorrichtung 30. Die Schutzvorrichtung 30 umfasst dabei ein Segment 32 des ersten Teilbereichs 31 , wobei dieses ein Befestigungsmittel 51 und eine Hülse 52 umfasst. Weiterhin umfasst die Schutzvorrichtung 30 im gezeigten Beispiel zwei Segmente 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33. Der erste 31 und der zweite Teilbereich 33 können dabei Stahlrohre 50, 50' umfassen. Darüber hinaus umfasst der erste Teilbereich 31 aus funktioneller Sicht auch den Bereich zwischen den beiden Segmenten 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33.

Die in Figur 5a gezeigte Position des ersten Teilbereichs 31 wird beispielsweise für den Transport oder beim Aufbau der Projektionsbelichtungsanlage verwendet. In dieser Position verbindet das Befestigungsmittel 51 des ersten Teilbereichs 31 die beiden Segmente 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33, wobei das Befestigungsmittel 51 als Klemmvorrichtung ausgebildet ist. Die Hülse 52, die in Form eines Rohrab schnitts ausgebildet ist, weist einen größeren Innendurchmesser als das Befesti gungsmittel 51 auf und ist mit diesem fest verbunden. Der Innendurchmesser ist dabei so gewählt, dass die Hülse 52, ohne die Segmente 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33 zu berühren, über diese hinwegbewegt werden kann.

Figur 5b zeigt die identische Anordnung in einer zweiten Position, in der der erste Teilbereich 31 mit der Befestigung 51 nur an einem der Segmente 34' des zweiten Teilbereichs 33 befestigt ist. Die Hülse 52 umschließt die Leitungen 70, die gestri chelt dargestellt sind, in dem Bereich zwischen den beiden Segmenten 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33, in dem die Leitungen 70 nicht von Rohren 50, 50' um schlossen sind. Die Hülse 52 dient in diesem Bereich zum Schutz der Leitungen 70 vor mechanischer Beschädigung und durch eine geeignete Auswahl des Innen durchmessers der Hülse 52 auch zur Vermeidung des Unterschreitens eines mini malen Biegeradius. In der zweiten Position ermöglicht der Bereich zwischen den beiden Segmenten 34, 34' des zweiten Teilbereichs 33 eine nahezu vollständige Entkopplung der beiden Komponenten, die nur über die Leitungen 70 miteinander verbunden sind.

Bezugszeichenliste

1 Projektionsbelichtungsanlage

2 Facettenspiegel

3 Lichtquelle

4 Beleuchtungsoptik

5 Objektfeld

6 Objektebene

7 Retikel

8 Retikelhalter

9 Projektionsoptik

10 Bildfeld

1 1 Bildebene

12 Wafer

13 Waferhalter

14 EUV-Strahlung

15 Zwischenfeldfokusebene

16 Pupillenfacettenspiegel

17 Baugruppe

18 Spiegel

19 Spiegel

20 Spiegel

30 Schutzvorrichtung

31 erster Teilbereich

32, 32', 32" Segment des ersten Teilbereichs 33 zweiter Teilbereich

34, 34' Segment des zweiten Teilbereichs

40 Wellschlauch

41 Befestigungsmittel

42 Muffe , 50' Rohr

Befestigungsmittel Hülse,60' Komponente

Befestigungsmittel Leitung