Login| Sign Up| Help| Contact|

Patent Searching and Data


Title:
SAWING WIRE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2003/041899
Kind Code:
A1
Abstract:
The present invention relates to a sawing wire, comprising an abrasive mixture (2), which contains a bonding resin and an abrasive material, as well as a multifilament core made of fibres (1) which are resistant to breaking. Said fibres are substantially arranged parallel to each other and enveloped by the abrasive mixture (2), the area between the fibres (1) being filled with said abrasive mixture (2). Said sawing wire is characterized in that the bonding resin does not contain polytetrafluoroethylene and/or in that the quantity of abrasive material in said abrasive mixture (2) gradually decreases from the surface of the abrasive wire to the inner area, said sawing wire being suitable for cutting hard and brittle materials such as single-crystal silicon.

Inventors:
JENTGENS CHRISTIAN (CH)
Application Number:
PCT/EP2002/012002
Publication Date:
May 22, 2003
Filing Date:
October 28, 2002
Export Citation:
Click for automatic bibliography generation   Help
Assignee:
SIA ABRASIVES IND AG (CH)
JENTGENS CHRISTIAN (CH)
International Classes:
B24B27/06; B23D61/18; B24D3/00; B24D3/02; B24D3/32; B24D11/00; B28D5/04; D02G3/40; (IPC1-7): B23D61/18
Foreign References:
FR1142604A1957-09-20
EP1025942A22000-08-09
EP0680813A11995-11-08
US5068142A1991-11-26
DE2820014A11979-11-15
Other References:
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1996, no. 09 30 September 1996 (1996-09-30)
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1998, no. 11 30 September 1998 (1998-09-30)
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 2000, no. 03 30 March 2000 (2000-03-30)
Attorney, Agent or Firm:
Hepp, Dieter (Wenger & Ryffel AG Friedtalweg 5 Wil, CH)
Download PDF:
Claims:
Patentansprüche
1. Sägegarn, umfassend eine Schleifmischung enthaltend ein Bindeharz und Schleifmaterial, sowie ein MultiFilament aus reissfesten Fasern, welche vorzugsweise im wesentlichen parallel zueinander angeordnet und von der Schleifmischung umhüllt sind, wobei der Raum zwischen den Fasern mit der Schleifmischung gefüllt ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Bindeharz kein Polytetrafluorethylen enthält.
2. Sägegarn, umfassend eine Schleifmischung enthaltend ein Bindeharz und Schleifmaterial, sowie ein MultiFilament aus reissfesten Fasern, welche vorzugsweise im wesentlichen parallel zueinander angeordnet und von der Schleifmischung umhüllt sind, wobei der Raum zwischen den Fasern mit der Schleifmischung gefüllt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Menge an Schleifmaterial in der Schleifmischung von der Oberfläche des Schleifgarns zum Inneren hin graduell abnimmt.
3. Sägegarn nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Sägegarn eine Dicke von gleich oder weniger als 350 um aufweist.
4. Sägegarn nach Anspruch 1 oder 2, wobei das Sägegarn eine Dicke von 125300 um aufweist.
5. Sägegarn nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei die Fasern aus einem Material aus der Gruppe, bestehend aus mund/oder pAramid, ultrahochfestem Polyethylen, hochorientiertem Polyester, Polyester, Polyamid, Kohlefasern, pPolyphenylen 2, 6benzobisoxazol oder Glasfasern oder Kombinationen dieser Materialien, aufgebaut sind.
6. Sägegarn nach Anspruch 5, wobei die Fasern aus mAramid, p Aramid oder ultrahochfestem Polyethylen aufgebaut sind.
7. Sägegarn nach Anspruch 5, wobei die Fasern aus pPolyphenyl en2,6benzobisoxazol aufgebaut sind.
8. Sägegarn nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei das Bindeharz aus einem thermoplastischen oder duroplastischen Polymer oder einer Kombination dieser Materialien aufgebaut ist.
9. Sägegarn nach Anspruch 8, wobei das Bindeharz aus einem duroplastischen Polymer aufgebaut ist.
10. Sägegarn nach Anspruch 9, wobei das duroplastische Polymer aus der Gruppe, bestehend aus härtbaren Phenolharzen, Epoxidharzen, härtbaren PhenolFormaldehydHarzen, MF Formmassen und härtbaren MelaminPhenolFormaldehyd (MPF) Formmassen oder einer Kombination dieser Materialien, ausgewählt ist.
11. Sägegarn nach Anspruch 8, wobei das Bindeharz aus einem thermoplastischen Polymer, ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Polyimiden, Polyamiden und Polyetheretherketonen aufgebaut ist.
12. Sägegarn nach einem der Ansprüche 1 bis 11, wobei das Schleifmaterial aus der Gruppe, bestehend aus feinklassiertem Diamant, Siliciumcarbid (SiC), A1203, kubischem Bornitrid (cBN), TiC, ZrC, HfC, Gemischem aus diesen Carbiden, TiN, ZrN, HfN, oder Gemischem aus diesen Nitriden, oder einer Kombination dieser Materialien, ausgewählt ist.
13. Sägegarn nach Anspruch 12, wobei das Schleifmaterial feinklassierter Diamant ist.
14. Verfahren zur Herstellung eines Sägegarns nach einem der Ansprüche 1 bis 13, umfassend die Schritte a) Bereitstellung eines Multifilaments aus reissfesten Fasern b) Beschichten bzw. Füllen dieses MultiFilaments mit einer Schleifmischung, umfassend ein Bindeharz und Schleimaterial, und c) Weitere Verarbeitung des so erhaltenen MultiFilaments.
15. Verfahren nach Anspruch 14, wobei das Beschichten bzw. Füllen im Schritt b) durch ein Nassimprägnierverfahren oder ein Trockenbeschichtungsverfahren erfolgt.
16. Verfahren nach Anspruch 15, wobei der Schritt b) mit einem Trockenbeschichtungsverfahren durch Ziehen des Multi Filaments durch eine Wirbelschicht durchgeführt wird.
17. Verfahren nach Anspruch 16, wobei der Schritt b) in einem zweistufigen Prozess zunächst durch Ziehen des Multi Filaments durch eine Wirbelschicht, enthaltend Bindeharz und wenig oder keine Schleifpartikel, und nach anschliessender Kalibrierung erneut durch Ziehen durch eine Wirbelschicht, enthaltend Schleifpartikel und wenig oder kein Bindeharz, ausgeführt wird.
18. Verfahren nach Anspruch 16, wobei der Schritt b) in einem ZwillingsFluidbad ausgeführt wird, umfassend das Durchführen des MultiFilaments durch ein erstes Becken, enthaltend Bindeharz, sowie Überführen des MultiFilaments in ein zweites Becken, enthaltend Schleifmaterial und wenig Bindeharz.
19. Verfahren nach Anspruch 18, wobei das MultiFilament senkrecht aus dem ersten Becken herausgeführt, verzwirnt, umgelenkt, zumindest partiell geöffnet und anschliessend in das zweite Becken geführt wird.
20. Sägegarn, erhältlich nach einem der Verfahren 14 bis 19.
21. Sägegarn nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, dass im Schleifmaterial die Menge des Schleifpartikels von aussen nach innen abnimmt.
22. Verwendung eines Sägegarns gemäss einem der Ansprüche 1 bis 13 oder 20 bis 21 zum Schneiden von hartspröden Werkstoffen.
23. Verwendung nach Anspruch 22, wobei das hartspröde Material aus der Gruppe, bestehend aus monokristallinenem Silicium, Silciumcarbid, Saphir, Quarz, Smaragd, Rubin, Keramik oder Al203, ausgewählt ist.
Description:
Sägegarn Die vorliegende Erfindung betrifft ein Sägegarn, ein Verfahren zu seiner Herstellung sowie dessen Verwendung zum Schneiden bzw.

Teilen von harten Werkstoffen wie beispielsweise monokristallinem Silicium.

Dünne Scheiben aus sprödharten Materialien finden in zahlreichen technischen Bereichen Anwendung. Als prominentes Beispiel sei nur die Verwendung sogenannter Silicium-Wafer in der Halbleitertechnologie erwähnt. Derartige Scheiben werden in der Regel aus Blöcken oder Einkristallen der entsprechenden Materialien durch Schneide-oder Trennvorgänge gewonnen.

Herkömmlich werden diese Schneide-oder Trennvorgänge unter Verwendung eines Sägedrahts aus Stahl in Gegenwart eines Schleifmittels durchgeführt. In der Regel wird das Schleifmittel in Form einer losen Aufschlämmung während des Schneidevorgangs auf den Sägedraht gebracht, um das Schneiden des Werkstoffs zu ermöglichen. Eine derartige Vorrichtung ist beispielhaft in der US-4,187, 828 gezeigt. Dieses herkömmliche Verfahren leidet jedoch unter dem Nachteil, dass sich der Sägedraht während des Arbeitsvorgangs stark abnutzt und in der Regel nur einmal verwendet werden kann. Zudem fallen bei der Verwendung von losen Aufschlämmungen von Schleifmaterial in nicht unerheblichem Masse nicht recyclebare Abfälle an.

Es hat daher Bemühungen gegeben, den Sägedraht durch direktes Aufbringen des Schleif-mittels auf dessen Oberfläche widerstandsfähiger zu machen. So ist in der EP-A-0 982 094 ein Sägedraht beschrieben, bei der ein Sägedraht aus Stahl über eine haftvermittelnde Zwischenschicht mit einer metallischen Bindephase verbunden ist, in der das Schleifmittel, beispielsweise Diamantkörner, eingelagert ist. Eine ähnliche Drahtsäge ist auch in der US-4,485, 757 beschrieben. Derartige Sägedrahte sind aber im Herstellungsprozess kostspielig. Zudem leiden sie oft unter dem Problem der Wasserstoffversprödung und daraus resultierenden Spontanbrüchen.

In der JP-A-207598 ist ein Sägedraht beschrieben, der aus einem Pianodraht und Schleifpartikeln besteht, die auf der Oberfläche des Drahts mittels eines bestimmten Bindemittels befestigt sind.

Das Bindemittel ist aufgrund der Zugabe von Additiven wie Metallteilchen widerstandsfähiger gegen äussere Einflüsse. In der US-5, 313Z742 sind Schneideräder beschrieben, die aufgrund ihres einstückigen Aufbaus mit einer grösseren Dicke im mittleren, nichtschneidenden Bereich und einer geringeren Dicke in den äusseren Schneidebereichen eine erhöhte Festigkeit aufweisen. Das Schneiderad besteht aus einem Bindeharz, in das Schleifpartikel gemischt sind.

Die vorstehend beschriebenen Schneidewerkzeuge erfüllen die an sie gestellten Anforderungen hinsichtlich der Verwendung zum Schneiden von hartspröden Werkstoffen jedoch nicht optimal.

Gerade bei teuren Werkstoffen wie einkristallinem Silicium sollten die Schnittbreiten sehr gering sein, um den Schnittverlust so klein wie möglich zu halten. Naturgemäss erhöht sich der Durchmesser des Schneidewerkzeugs durch Auftragen einer das Schleifmittel enthaltenden Schicht auf den Draht, wodurch die Schnittbreite erhöht wird. Bei Verwendung von Schleifmittel in Form einer losen Aufschlämmung muss mit hohen Schnittgeschwindigkeiten von etwa 1000 m/min gearbeitet werden, um ein Mitreissen der Schleifpartikel und somit einen Schnitt zu erreichen. Das führt zu einem starken Temperaturanstieg und macht eine Wasserkühlung während des Schneideprozesses unumgänglich. Bei Verwendung von Diamant als Schleifmaterial kommt es aufgrund des sehr guten Wärmeleitfähigkeitseigenschaften dieses Materials selbst bei Wasserkühlung zu lokal stark erhöhten Temperaturen und somit zu einer erheblichen Belastung für das Schneidewerkzeug und einem daraus resultierenden schnelleren Verschleiss. Ist das Schleifmittel auf der Oberfläche des Schneidewerkzeugs befestigt, wird das Schneidewerkzeug nach Abtragung dieser Oberflächenschicht unbrauchbar, was aufgrund der vorstehend beschriebenen Bedingungen während des Schneidens hartspröder Werkstoffe sehr schnell geschieht.

Verbundmaterialien mit einem Kern-auswFa-sermaterial und einer dieses Fasermaterial umfüllenden Polymermatrix sind grundsätzlich bekannt. Beispielsweise ist in der US-5,068142 ein derartiges faserverstärktes Verbundmaterial zur Verwendung im Baugewerbe beschrieben, beispielsweise zur Verhinderung von Erdrutschen. Dieses Verbundmaterial besteht aus einer Vielzahl von Fasern und weist eine Gesamtdicke im. Bereich von mehreren Millimetern oder mehr auf.

In der WO 93/18891 ist eine Bürste zum Polieren von Oberflächen beschrieben,'welche aus'e-inem'thermoplastischen Polymer mit- darin befindlichen Schleifpartikeln besteht. Es wird aber in dieser Schrift ausdrücklich darauf hingewiesen, dass die dort beschriebenen Strukturen sich insbesondere hinsichtlich der Zugfestigkeit von Strukturen unterscheiden, bei denen ein vorgeformtes Kernmaterial nachträglich mit einer Beschichtung aus mit Schleifmittel gefülltem thermoplastischen Elastomer überzogen wird. Es ist nicht beschrieben, dass die dort aufgeführten Filamente zum Schneiden von hartspröden Materialien verwendet werden können.

In der JP-A-10-151559 ist eine Drahtsäge beschrieben, die zum mehrmaligen Schneiden unter Wasserkühlung geeignet ist. Diese Säge besteht aus einem Multifilament-Garn, auf dessen Oberfläche und in dessen Innern Schleifmittel bereitgestellt ist. Das Schleifmittel ist mittels eines besonderen Bindeharzes auf der Basis von Polytetrafluorethylen als unverzichtbarem Bestandteil mit dem Multi-Filament verbunden. Das Schleifmittel-/ Bindemittelgemisch wird in Form einer Dispersion auf das Multifilament aufgetragen. Dies macht einen nachträglichen Evaporationsschritt erforderlich, bei dem es zur Bläschenbildung kommt. Eine exakte zylindrische Form des Sägedrahts ist somit nicht erhältlich. Zudem ist der Einsatz von fluorhaltigen Bindemitteln aus'ökologischen und toxikologischen Gründen bedenklich.

In der FR-A-1 142 604 ist grundsätzlich die Einsetzbarkeit von Kunststoffen als Material für Sägedrähte beschrieben. In dieser Schrift ist aber lediglich ein Sägedraht mit maximal 3 Kunststofffasern erläutert. Die Verwendung eines für die Sägeanwendungen der vorliegenden Erfindung erfordelrichen Multifilaments ist nicht offenbart.

-Es bestand daher-die Aufgabe der'vorliegenden Erfindung, ein'-'- Schneidewerkzeug bereitzustellen, mit welchem die vorstehend beschriebenen Nachteile aus dem Stand der Technik überwunden werden können.

Die vorstehende Aufgabe wird erfindungsgemäss durch ein Sägegarn gelöst, umfassend eine Schleifmischung enthaltend ein Bindeharz und Schleifmaterial, sowie ein Multi-Filament aus reissfesten Fasern, welche vorzugsweise im wesentlichen parallel zueinander angeordnet und von der Schleifmischung umhüllt sind, wobei der Raum zwischen den Fasern mit der Schleifmischung gefüllt ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Bindeharz kein Polytetrafluorethylen enthält.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein Sägegarn, umfassend eine Schleifmischung enthaltend ein Bindeharz und Schleifmaterial, sowie ein Multi-Filament aus reissfesten Fasern, welche vorzugsweise im wesentlichen parallel zueinander angeordnet und von der Schleifmischung umhüllt sind, wobei der Raum zwischen den Fasern mit der Schleifmischung gefüllt ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Menge an Schleifmaterial in der Schleifmischung von der Oberfläche des Sägegarns zum Inneren hin graduell abnimmt. Mit anderen Worten befinden sich bei diesem-Sägegarn mehr Schleifmaterialteilchen--- an der Oberfläche als im Innern. Unter einer graduellen Abnahme der Menge an Schleifmaterial soll gemäss der vorliegenden Erfindung verstanden werden, dass die Menge an Scheifmaterial von der Oberfläche des Garns zu dessem Inneren hin im wesentlichen kontinuierlich abnimmt. Gewisse Abweichungen der Kontinuität, beispielsweise Abweichungen von etwa 10%, können sich aus dem Herstellungsprozess ergeben. Erfindungsgemäss bevorzugt nimmt die Menge an Schleifmaterial im Sägegarn von der Oberfläche zum Innern hin nach einer Strecke von 30 ßm um jeweils 2-60%, vorzugswei^se um 5-40%, besonders bevorzugt um 5-- 20% ab. Auch bei diesem Aspekt der vorliegenden Erfindung enthält vorzugsweise das Bindeharz kein Polytetrafluorethylen.

Gemäss einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist das Sägegarn eine Dicke von gleich oder weniger als 350 um auf.

Gemäss einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung weist das Sägegarn eine Dicke von 125-300 um auf.

Gemäss der vorliegenden Erfindung wird unter Multi-Filament ein Verbundmaterial verstanden, dass aus vielen einzelnen Fasern aufgebaut ist.

Überraschend wurde gefunden, dass die erfindungsgemässen Sägegarne sich hervorragend zum Schneiden von hartspröden Materialien eignen. Durch die Verwendung von vergleichsweise wenig Fasern im Bereich von 200-1000 Fasern, vorzugsweise 200- 800 Fasern, weist das Verbundmaterial einen Durchmesser von etwa 125 bis 350 um auf, wodurch Schnittbreiten von weniger oder gleich 350 um erreicht werden können. Im Gegensatz zu den Schneidewerkzeugen aus dem Stand der Technik, bei denen lediglich auf der Oberfläche eines Metalldrahts eine--- schleifmittelhaltige Schicht vorhanden ist und die folglich nach Abnutzung dieser Oberfläche unbrauchbar werden, ist bei dem erfindungsgemässen Sägegarn eine Schleifmischung zwischen den einzelnen Fasern vorhanden. Bei Abrieb der Oberfläche des Sägegarns wird somit während des Arbeitsvorgangs neues Schleifmittel im Innern des Schleifgrans freigelegt, welches das ursprünglich an der Oberfläche befindliche und durch Verschleiss verlorengegangene Schleifmittel ersetzen kann. Mit dem erfindungsgemässen Sägegarn lassen sich somit deutlich erhöhte Standzeiten beim Schneiden von'hartspröden Materialien---"-"- erreichen.

Zudem kann das Schneiden hartspröder Materialien mit den erfindungsgemässen Sägegarnen bei niedrigeren Schnittgeschwindigkeiten durchgeführt werden. Dadurch wird die Belastung des Schneidewerkzeugs aufgrund von während des Schneidens auftretenden erhöhten Temperaturen verringert. Zudem wird eine sorgfältigere Verfahrensführung möglich, welche präzisere Schnitte mit weniger Schnittverlust erlaubt. Eine Zuführung einer losen Aufschlämmung von Schleifmaterial ist nicht notwendig.

Zudem ist das erfindungsgemässe Sägegarn im Gegensatz zu dem Sägegarn aus der JP-A-10 151 559 nicht auf ein Bindeharz beschränkt, das Polytetrafluorethylen als unverzichtbaren Bestandteil enthält und daher nicht die hiermit verbundenen ökologischen und toxikologischen Nachteile aufweist.

Weiterhin kann gemäss der vorliegenden Erfindung ein Sägegarn erhalten werden, dass eine exakte zylindrische Form aufweist.

Somit hat das erfindungsgemässe Sägegarn deutlich bessere Schneideeigenschaften.- Das erfindungsgemässe Sägegarn, ist wie nachstehend geschildert, auf einfache und kostengünstige Weise darstellbar.

Die vorliegende Erfindung wird nachstehend anhand von veranschaulichenden und nicht einschränkenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt : FIG. 1 einen Querschnitt durch ein erfindungsgemässes "---Sägegarn. < Wie in Fig. 1 gezeigt umfasst das erfindungsgemässe Sägegarn ein Multi-Filament aus reissfesten Fasern (1), welche in einer Schleifmischung (2) eingebettet im wesentlichen parallel zueinander angeordnet sind und durch die Schleifmischung (2) voneinander getrennt sind. Das erfindungsgemässe Sägegarn umfasst 200 bis 1000, vorzugsweise 200 bis 800 einzelne Fasern (1). Daraus ergibt sich eine Dicke des Sägegarns von gleich oder weniger als 350 um, vorzugsweise 125-300 um. Die Fasern weisen vorzugsweise einen im wesentlichen runden Querschnitt auf, wobei andere Formen erfindungsgemäss ebenfalls möglich sind.

Die Fasern (1) können aus Materialien gefertigt sein, die zur Herstellung von faserverstärkten Werkstoffen eingesetzt werden.

Beispielsweise seien Fasern aus m-und/oder p-Aramid (aromatisches Polyamid), ultrahochfestem Polyethylen, hochorientiertem Polyester, Polyester, Polyamid, Kohlefasern oder Glasfasern sowie Litzendrähte genannt. Erfindungsgemäss bevorzugt ist die Verwendung von Fasern aus m-Aramid, welche von den Firma Du Pont unter der Marke Nome2 und von der Firma Teijin unter der Marke Teijinconex vertrieben werden, und/oder p- Aramid, welche von der Firma Du Pont unter-der Marke Kevlar, von der Firma Twaron unter der Marke Twaron und von der Firma Teijin unter der Marke Technora vertrieben werden, und/oder von Fasern aus ultrahochfestem Polyethylen, welche von der Firma Toyobo unter der Marke Dyneema vertrieben werden.

Erfindungsgemäss besonders bevorzugt ist die Verwendung von Fasern aus p-Polyphenylen-2,6-benzobisoxazol, welche von der Firma Toyobo unter der Marke Zylon vertrieben werden.

Erfindungsgemäss können aber auch Kombinationen aller vorstehend genannten Materialien als Fasermaterial für die 'erfindungsgemässen Sägegarneeingesetzt werden.

Die Fasern (1) müssen eine Reissfestigkeit aufweisen, welche den Anforderungen des Prozesses des Schneidens von hartspröden Werkstoffen genügt. Gemäss der vorliegenden Anmeldung soll daher unter einer reissfesten Faser eine Faser verstanden werden, welche eine Zugfestigkeit (tensile strength) von mehr als 25 cN/tex bzw. mehr als 300 MPa aufweist. Die vorstehend aufgeführten Fasermaterialien erfüllen diese Anforderung.

Aufgrund der niedrigeren Schnittgeschwindigkeiten, die bei Verwendung des erfindungsgemässen Sägegarns zum Schneiden von hartspröden Materialien erforderlich sind, können auch Materialien zur Herstellung des Sägegarns eingesetzt werden, die für herkömmliche Schneidewerkzeuge aufgrund der bei deren Verwendung auftretenden hohen Temperaturen ungeeignet wären.

Wie aus Fig. 1 ersichtlich sind die Fasern (1) im wesentlichen parallel zueinander in eine Schleifmischung (2) eingebettet. Die Schleifmischung (2) enthält ein Bindeharz und Schleifmaterial.

Das Bindeharz kann erfindungsgemäss ein Festharz oder ein Flüssigharz sein. Es kann sich hierbei um bekannte thermoplastische oder duroplastische Polymere oder eine Kombination dieser Materialien handeln, mit Ausnahme der insbesondere ökologisch und toxikologisch bnachteiligen fluorhaltigen Bindemittel. Beispielsweise seien Thermoplaste wie Polyimide, Polybenzimidazole, Polycarbonate, Polyethylenterephthalate, Polybutylenterephthalate, Polyamide, Polyphenylenether, Polyphenylensulfide, Polyaryletherketone, Polyetheretherketone oder Duroplaste wie beispielsweise härtbare Phenolharze, härtbare Phenol-Formaldehyd-Harze, Polyimidharze, Bismaleinimide, Epoxidharze, ungesättigte Polyesterharze, DAP- Harze (Polydiallylphthalat), MF-Formmassen wie beispielsweise Melamin-Formaldehyd-Formmassen,-härtbare Melamion-Phenolw Formaldehyd- (MPF)-Formmassen oder vernetzte Polyurethane genannt. Bevorzugte Materialien sind hierbei von den Thermoplasten Polyethylenterephthalate, Polybutylenterephthalate, Polycarbonate oder Polyamide, während von den Duroplasten insbesondere härtbare Phenolharze, Epoxidharze, härtbare Phenol-Formaldehyd-Harze, MF-Formmassen wie beispielsweise Melamin-Formaldehyd-Formmassen und härtbare Melamin-Phenol-Formaldehyd- (MPF)-Formmassen bevorzugt sind.

Erfindungsgemäss sind duroplastische Materialien besonders bevorzugt. Gemäss der vorliegenden Erfindung können auch Gemische der vorstehenden Substanzen als Bindeharz verwendet werden.

Das Bindeharz enthält das Schleifmaterial in dispergierter Form.

Erfindungsgemäss bevorzugt handelt es sich hierbei um feinklassierten Diamant, Siliciumcarbid (SiC), Al203, sowie die sogenannten Super-Abrasives wie kubisches Bornitrid (c-BN), TiC, ZrC, HfC, Gemische aus diesen Carbiden, TiN, ZrN, HfN, oder Gemische aus diesen Nitriden. Erfindungsgemäss bevorzugt ist die Verwendung von feinklassiertem Diamant als Schleifmaterial. Die Schleifpartikel haben vorzugsweise eine Grösse von 1 bis 25 um, besonders bevorzugt 5 bis 20 um. Gemäss der vorliegenden Erfindung können äuch-Gemische'der vorstehenden Substanzen als Schleifpartikel verwendet werden.

Die Schleifmischung umfasst gemäss der vorliegenden Erfindung 0,1 Gew. -% bis 60 Gew.-%, vorzugsweise 20 Gew.-% bis 40 Gew.-% Schleifmaterial, bezogen auf das Gesamtgewicht der Schleifmischung.

Je nach gewünschter Anwendung beträgt dass Gewichtsverhältnis von Fasern zu Schleifmischung 4 : 1 bis 1 : 4. Der Fachmann kann das Gewichtsverhältnis p'roblemlos"ühter Berücksichtigung der erforderlichen Eigenschaften des Sägegarns optimieren.

Die Schleifmischung kann weiterhin herkömmliche Additive wie Trennmittel, Gleitmittel, Füllstoffe, Pigmente, Haftvermittler, Stabilisatoren, Inhibitoren oder Beschleunigersysteme enthalten.

Diese Additive sind dem Fachmann grundsätzlich bekannt und können von diesem entsprechend dem Anforderungsprofil des Sägegarns problemlos ausgewählt werden.

Die Schleifmischung kann, falls das gewählte Beschichtungsverfahren nicht die Zugabe der einzelnenen Komponenten gestattet, auf einfache, dem Fachmann bekannte Weise durch Mischen der einzelnen Bestandteile, beispielsweise in einer Kugelmühle, hergestellt werden.

Wie vorstehend erwähnt kann das erfindungsgemässe Sägegarn auf einfache Weise hergestellt werden. Die Fasern sind käuflich erhältlich und werden in Form eines Faserstrangs aus 200 bis 1000, vorzugsweise 200-800 Fasern bereitgestellt. Dieser Faserstrang wird anschliessend mit der Schleifmischung beschichtet beziehungsweise gefüllt.

Die Beschichtung und/oder Füllung kann beispielsweise mittels des Schmelzbeschichtungsverfahrens durchgeführt werden. Hierbei wird der zu beschichtende bzw. zu füllende Faserstrang durch eine das Bindeharz umfassende Schmelze gezogen und anschliessend abgekühlt.

Ein anderes Verfahren zur Beschichtung und/oder Füllung der Fasern ist das Nassimprägnierverfahren. Der Faserstrang wird auf einem sogenannten Roving-Gestell bereitgestellt und von diesem mit einer'-Geschwindigkeit von etwa 300-400 m/min'-abgewickelt'." Die abgewickelten Fasern werden durch ein flüssiges Imprägnierbad gezogen, in welchem neben dem Bindeharz das Schleifmittel sowie gegebenenfalls weitere Additive enthalten sind. Anschliessend muss das Lösungsmittel durch Abdampfen entfernt werden, was durch Aufwärts-und Abwärtsziehen der beschichteten Fasern durch einen"Kühlturm"mit unterschiedlichen Temperaturzonen erfolgt.

Bei einer Alternative dieses Verfahrens wird die abgewickelte Faser mit Hilfe einer Sprühbeschichtungsvorrichtung mit der Schleifmischung überzogen und gefüllt. Aus einer oberhalb der Fasern angeordneten drehbaren Vorrichtung wird die gegebenenfalls unter Druck gelöste Schleifmischung auf die Fasern gesprüht. Unterhalb der zu besprühenden Fasern befindet sich eine Auffangvorrichtung, in welcher die nicht auf die Fasern aufgebrachte Schleifmischung gesammelt und zur erneuten Verwendung der drehbaren Vorrichtung oberhalb der Fasern zugeführt wird. Die Entfernung des Lösungsmittels erfolgt analog zu oben.

Alternativ kann das Beschichten und/oder Füllen der Faserstränge auch durch ein Trockenbeschichtungsverfahren erfolgen. Ein derartiges Verfahren ist beispielsweise in der EP-A-0 680 813 beschrieben, auf deren diesbezüglichen Inhalt hiermit ausdrücklich Bezug genommen wird. Hierbei werden die Faserstränge analog zum Nassimprägnierverfahren von einem Rovinggestell abgewickelt. Vorzugsweise werden sie zunächst mit einer Geschwindigkeit von etwa 400-600 m/min durch eine Vorrichtung geführt, in der sie elektrisch aufgeladen werden.

Dadurch wird das Anhaften der Schleifmischung an den Fasern begünstigt. Anschliessend werden sie durch ein Wirbelsinterbad geführt, in welchem sich die fertige Schleifmischung in <BR> <BR> Pulverform befindet. Durch~Löcher im Wannenboden wird Luft oder- ein Inertgas in das Wirbelsinterbad hineingeblasen, wodurch ein wallendes Pulverbad entsteht. Das Pulver bleibt an den durch das Wirbelsinterbad gezogenen Fasern haften. Anschliessend werden die so erhaltenen überzogenen Fasern erwärmt. Dies erfolgt vorzugsweise durch Bestrahlung mit infrarotem Licht. Das auf den Fasern befindliche Bindeharz wird hierbei zumindest teilweise verflüssigt, wodurch eine Einstellung der Menge an auf die Fasern aufzutragender Schleifmischung möglich ist. Die Faserstränge können durch weiteres Erhitzen in einem Ofen und anschliessendes Führen durch Kalibrieröffnungen hinsichtlich ihres Aussendurchmessers eingestellt werden.

Gemäss einer in der WO 99/36239 beschriebenen bevorzugten Variante, auf deren diesbezüglichen Inhalt hiermit ausdrücklich Bezug genommen wird, können die einzelnen Komponenten der Schleifmischung im Trockenbeschichtungsverfahren auch ohne vorangehende Compoundierung auf die Faserstränge aufgebracht werden. Hierzu werden die einzelnen Komponenten in das Wirbelsinterbad gebracht. Dort erfolgt ein Mischen beziehungsweise Durchmischen beispielsweise mit Hilfe eines Rotors, Rührers, mit Ultraschall und/oder elektromagnetischen -Wellen. Der-Mischvorgang muss so durchgeführt werden, dass eine- Entmischung der einzelnen Komponenten im Wirbelsinterbad weitgehend verhindert beziehungsweise aufgehoben wird. Die weitere Verarbeitung erfolgt analog zum obigen Trockene- schichtungsverfahren.

Gemäss der vorliegenden Erfindung kann die äussere Form des Schleifgarns sowie die Verteilung der Schleifpartikel genau eingestellt werden, indem man zunächst in einem ersten Verfahrensschritt gemäss dem vorstehend beschriebenen <BR> <BR> Trockenbeschichtungsverfahren-die Faserstränge-nur-mIt dem"- Bindeharz oder mit einer Mischung aus Bindeharz und wenig Schleifpartikel überzieht. Das so erhaltene Zwischenprodukt kann anschliessend auf eine bestimmte Dimension kalibriert werden, da das aufgetragene Bindeharz noch nicht ausgehärtet ist. In einem zweiten Verfahrensschritt wird das so erhaltene kalibrierte Zwischenprodukt erneut durch ein Wirbelsinterbad gezogen, welches die Schleifpartikel allein oder in Gegenwart von wenig Bindeharz enthält. Da das auf die Faserstränge aufgetragene Bindeharz noch nicht ausgehärtet und somit feucht ist, können die im zweiten Verfahrensschritt aufgetragenen Schleifpartikel in das Bindeharz eindringen. Durch Variation der.

Verfahrensbedingungen kann die Verteilung der Schleifpartikel in der so gebildeten Schleifmischung beeinflusst werden. In der Regel wird aber der grössere Teil der Schleifpartikel bei dem vorstehend beschriebenen zweistufigen Herstellungsverfahren an der Oberfläche des erzeugten Sägegarns verbleiben.

In Zusammenhang mit dem vorstehend beschriebenen Verfahren bedeutet"wenig Bindeharz bzw. Schleifpartikel", dass die entsprechende Komponente im entsprechenden Wirbelsinterbad nur in einer Menge von maximal 5 Gew. -%, bezogen auf die jeweils andere Komponente Bindeharz oder Schleifpartikel, vorhanden ist.

Gemäss einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erfolgt die Herstellung des Sägegarns im Torckenbeschichtungsverfahren mit Hilfe eines Zwillings- Fluidbades. Hierbei werden die Faserstränge in das erste Becken des Bads geführt, wo sie mit einem Bindemittel, vorzugsweise einem niederviskosen Bindemittel überzogen werden. Gemäss der vorliegenden Erfindung ist unter einem niederviskosen Bindeharz ein Harz mit einer Viskosität von weniger als 500 mPas, vorzugsweise mit einer Viskosität im Bereich von 100-500 mPas und besonders bevorzugt im Bereich von 100 bis 200 mPas zu verstehen. Anschliessend wird das so beschichtete Garn vorzugsweise senkrecht aus dem Bad herausgeführt, verzwirnt und wieder geschlossen. Über eine Umlenkung wird das beschichtete Garn in das zweite Becken des Zwillings-Fluidbads geführt, wo es wieder zumindest partiell geöffnet wird. Unter einer partiellen Öffnung wird im Sinne der vorliegenden Erfindung eine nicht vollständige Öffnung der Verzwirnung verstanden, wobei jeder Öffnungsgrad zwischen 0 und 100%, vorzugsweise zwischen 50 und 99% umfasst ist. Das Verzwirnen und erneute Öffnen des das Garn bildenden Multi-Filaments kann beispielsweise durch Steuerung der Differentialgeschwindigkeiten an bereitgestellten Umlenkwalzen durchgeführt werden. Im zweiten Becken befindet sich eine Mischung aus Schleifmaterial und wenig Bindemittel. Im zweiten Becken bildet sich vorzugsweise ein stationärer Zustand der Zusammensetzung aus Schleifmaterial und Bindeharz aus, durch welches eine definierte Beschichtung des Multi-Filaments gewährleistet werden kann. Im zweiten Becken erfolgt eine Beschichtung des Garns mit Schleifmaterial und etwas Bindemittel. Das Schleifmaterial verbleibt dabei in der Mehrheit an der Oberfläche des Sägegarns. Bei dieser Verfahrensausgestaltung kommt es jedoch auch zu einem Eintrag des Schleifmaterials in das Innere des Sägegarns, wodurch ein Gradient-des Schleifmaterials in der Schleifmischung wie vorstehend beschrieben ausgebildet wird.

In Zusammenhang mit dem vorstehend beschriebenen Verfahren bedeutet"wenig Bindemittel", dass die entsprechende Komponente im entsprechenden Wirbelsinterbad nur in einer Menge von maximal 5 Gew.-%, bezogen auf die Komponente Schleifmaterial, vorhanden ist.

Durch das vorstehend beschriebene Trockenbeschichtungsverfahren können-die vorstehend aufgeführten Bindeharzeohne Einschränkung zur Herstellung der erfindungsgemässen Sägegarne eingesetzt werden. Im Gegensatz dazu können bei der Herstellung von Sägegarnen über Nassbeschichtungsverfahren in Abhängigkeit vom verwendeten Fasermaterial nur bestimmte Bindeharze herangezogen werden.

Mit dem vorstehend beschriebenen Trockenbeschichtungsverfahren, insbesondere dem erfindungsgemässen zweistufigen Herstellungsverfahren, kann die Dimension des zu erzeugenden Sägegarns genau eingestellt werden. Es sind Sägegarne mit nahezu exakter zylindrischer Form herstellbar. Im Gegensatz dazu leiden über daass Nassbeschichtungsverfahren hergestellte Sägegarne unter einer Blasenbildung, die durch die erforderliche Verdampfung des Lösemittels verursacht wird. Auf diese Weise sind daher Sägegarne mit glatter, nahezu exakter zylindrischer Aussenform nicht erhältlich. Die Schnitteigenschaften der erfindungsgemässen Sägegarne sind somit denjenigen von Sägegarnen aus dem Stand der Technik überlegen.

Das erfindungsgemässe Sägegarn kann vorteilhaft zum Schneiden beziehungsweise Teilen von hartspröden Werkstoffen verwendet werden. Das Schneiden kann gemäss einem der hierfür verwendeten Verfahren durchgeführt werden. Vorteilhafterweise wird hierbei der Werkstoff und das Sägegarn extern mittels eines Kühlmittels wie beispielsweise Wasser gekühlt.

Das erfindungsgemässe Sägegarn eignet sich insbesondere zum Schneiden beziehungsweise Teilen von monokristallinenem Silicium, das gewöhnlich durch das Zonenschmelzverfahren in Form langer Stangen (Ingots) hergestellt wird und für die Halbleiterindustrie in kleine Scheiben (Wafer) geschnitten werden muss. Weiterhin können Materialien wie Silciumcarbid (für die RaumEahrtindustrie),-Saphir (für Uhrengläser oder zurql- Herstellung von Leuchtdioden mit blauem Licht (blue LEDs), Quarz, Smaragd, Rubin, Keramik oder Al203 geschnitten werden.

Durch Verwendung des erfindungsgemässen Sägegarns kann der Schnittprozess mit Schnittgeschwindigkeiten deutlich unter 1000 m/min durchgeführt werden, ohne dass dies zu Einbussen hinsichtlich der Geschwindigkeit des Arbeitsvorgangs führt. Mit dem erfindungsgemässen Sägegarn können selbst bei geringeren Schnittgeschwindigkeiten höhere Abträge erzielt werden. Die geringere Schnittgeschwindigkeit erlaubt eine höhere Präzision des Arbeitsvorgangs sowie den Einsatz von Materialien, die bei herkömmlichen Schneidewerkzeugen aufgrund der dort beim Schneidevorgang herrschenden hohen Temperaturen nicht eingesetzt werden können.