Topographische Messung eines Objekts

Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur topographischen Messung eines Objekts. Bei einem solchen Verfahren wird eine Sequenz aus mehreren Messmustern auf das Objekt projiziert.

Die EP 1 505 367 A2 beschreibt ein Verfahren zur Bestimmung einer Achsgeometrie und einen Sensor zu dessen Durchführung. Zur Bestimmung der Achsgeometrie durch Aufnahme und Auswertung eines topographischen Bildes der Stirnseite eines auf einer Achse angebrachten Rades wird dabei folgendermaßen vor- gegangen: flächige Projizierung von Licht mit einer flächigen Codierung auf die Stirnseite des Rades, flächige Aufnahme des von der Stirnseite des Rades reflektierten Lichtes aus einer anderen Richtung als der Licht-Projektionsrichtung durch einen Bildwandler,

- Ermittlung von dreidimensionalen Oberflächenkoordinaten für das topographische Bild der Stirnseite des Rades aus den Lichtsignalen, und

- Auswertung des topographischen Bildes in Bezug auf ein Referenzsystem.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die topographische Messung eines Objektes zu verbessern, insbesondere zu beschleunigen .

Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren zur topographischen Messung eines Objekts, bei welchem Verfahren eine Sequenz aus mehreren Messmustern auf das Objekt projiziert wird, wobei ein Messmuster jeweils ein mit einer Wertesequenz periodisch moduliertes Phasenschiebemuster beinhaltet, wobei die Phasenschiebemuster eine Phasenverschiebung gegeneinander aufweisen, wobei die Wertesequenzen ortsfest gegeneinander sind, und bei welchem Verfahren die auf das Objekt projizier- ten Messmuster erfasst und ausgewertet werden, wobei die Phasenverschiebung der Phasenschiebemuster und die Modulation mit den Wertesequenzen derart gewählt werden, dass Anteile der Phasenschiebemuster und der Wertesequenzen aus dem proji- zierten Messmustern unabhängig voneinander auswertbar sind.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung zur topographischen Messung eines Objekts, mit mindestens einem Projektionsmittel zur Projektion einer Sequenz aus mehreren Mess- mustern auf das Objekt, wobei ein Messmuster jeweils ein mit einer Wertesequenz moduliertes periodisch moduliertes Phasenschiebemuster beinhaltet, wobei die Phasenschiebemuster eine Phasenverschiebung gegeneinander aufweisen, wobei die Wertesequenzen ortsfest gegeneinander sind, und mit Mitteln zur Erfassung und mit Mitteln zur Auswertung der auf das Objekt projizierten Messmuster, wobei die Phasenverschiebung der Phasenschiebemuster und die Modulation mit den Wertesequenzen derart gewählt sind, dass Anteile der Phasenschiebemuster und der Wertesequenzen aus den projizierten Messmustern unabhän- gig voneinander auswertbar sind.

Der Erfindung beruht auf der Idee, einem klassischen periodisch modulierten Phasenschiebemuster eine Wertesequenz zu überlagern, welche nach der Erfassung der Messmuster unabhän- gig von dem periodisch modulierten Phasenschiebemuster auswertbar ist. Trotz der Möglichkeit der getrennten Auswertung müssen die periodisch modulierten Phasenschiebemuster und die Wertesequenzen jedoch nicht getrennt projiziert werden. Da die Messmuster zeitlich sequentiell projiziert werden, können somit gegenüber aus dem Stand der Technik bekannten Verfahren die relevanten Informationen mit entsprechend weniger Messmustern projiziert werden. Damit ist das erfindungsgemäße Verfahren deutlich schneller ausführbar.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Maschine gehen aus den abhängigen Ansprüchen hervor. Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung sind mindestens zwei der Wertesequenzen vorzeichenalternierend, d. h. mindestens zwei der Wertesequenzen sind mit unterschiedlichem Vorzeichen moduliert. Dies bietet den Vorteil, dass bei einer Auswertung der projizierten Messmuster entsprechend vorzeichenalternierend modulierte Wertesequenzen bei einer einfachen Addition der projizierten Messmuster sich gegenseitig herauslöschen bzw. bei einer einfachen Subtraktion der Messmuster sich gegenseitig verstärken. Damit sind die vorzeichenalternierend modulierten Wertesequenzen besonders einfach auswertbar.

Um die Anzahl der zu projizierenden Messmuster möglichst gering zu halten, wird gemäß einer weiteren vorteilhaften Aus- gestaltung der Erfindung vorgeschlagen, dass die Sequenz vier Messmuster aufweist, wobei die periodisch modulierten Phasen- schiebemuster der vier Messmuster jeweils um eine Viertel Periodenlänge zueinander phasenverschoben sind.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung besitzen die Wertesequenzen die Eigenschaft der Eindeutigkeit einer beliebigen Teilsequenz, wenn die Länge der Teilsequenz mindestens der Länge eines entsprechenden Eindeutigkeitsfensters entspricht. Je nach Anzahl der zur Verfügung stehenden Wertestufen einer Wertesequenz lässt sich somit die Länge der Teilsequenz bestimmen, welche erforderlich ist, um Eindeutigkeit herzustellen.

Um die im jeweiligen Anwendungsfall erforderliche Redundanz herzustellen, wird gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung vorgeschlagen, dass die Wertesequenz eine Codesequenz mit einzelnen Codewörtern ist, wobei die einzelnen Codewörter untereinander eine minimale Hamming- Distanz größer 1 aufweisen. Damit ist zumindest Fehlererken- nung gewährleistet, bei einer Hamming-Distanz größer 2 auch eine Fehlerkorrektur. Es kann somit die gewünschte Fehlertoleranz erreicht werden. Vorteilhafterweise sind die periodisch modulierten Phasen- schiebemuster gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung sinusförmig moduliert.

Um eventuelle Fehlstellen in den mittels des Verfahrens gewonnenen Tiefenkarten, z. B. infolge von Über- bzw. Unterbelichtung oder nicht eindeutig decodierbaren Symbolfolgen, ergänzen zu können, erfolgt gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung die Erfassung der auf das Objekt projizierten Messmuster mit mehreren Bildwandlern, wobei die Auswertung der auf das Objekt projizierten Messmuster mittels eines stereoskopischen Verfahrens erfolgt, wobei die Anteile der Wertesequenzen zur Korrespondenzsuche verwendet werden. Dazu kann je Bildwandler für jeden Bildpunkt ohne Tiefenwert ein korrespondierender Bildpunkt oder eine korrespondierende Bildpunktumgebung in den verbleibenden Bildwandlern gesucht werden. Bei der Korrespondenzsuche kann somit als Ergänzung zu klassischen photometrischen Stereoverfahren die darunter liegende Wertesequenz genutzt werden.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele näher beschrieben und erläutert.

Es zeigen:

FIG 1 eine Vorrichtung zur topographischen Messung eines Objekts in schematischer Darstellung,

FIG 2 ein mit einem Messmuster beleuchtetes Objekt, sowie erfasste und ausgewertete Messmuster,

FIG 3 Beispiele einer Mustersequenz, und

FIG 4 eine Vorrichtung zur topographischen Messung eines Objekt mit mehreren Bildwandlern. Die Erfindung verringert die Anzahl an Bildaufnahmen, die für eine topographische Messung (sogenannte Profilometrie) mittels klassischem Phasenschiebeverfahren nach dem Stand der Technik mindestens notwendig ist. Die Verringerung der Anzahl an Bildaufnahmen ermöglicht die Nutzung zahlreicher Vorzüge des Phasenschiebeverfahrens gegenüber anderen Verfahren der strukturierten Beleuchtung, insbesondere für zeitkritische Anwendungen wie der mobilen, freihand geführten Profilo- metrie. Gegenüber dem Stand der Technik beträgt die Verkür- zung der Messzeit durch Einsparung von Bildaufnahmen mindestens ein Drittel.

Es existieren Ansätze zur Verkürzung der Bildsequenz, diese unterscheiden sich jedoch wesentlich von klassischen Phasen- Schiebetechniken, sowohl in Bezug auf die Qualität der Messergebnisse als auch auf den technischen Aufwand zur Durchführung der Messung. Hierzu zählen die Verfahren der Fourier- Transformations-Profilometrie, wobei mehrere Phasenschiebe- bilder in einem hybriden Bild vereint und bei der Auswertung mittels Frequenzfilter getrennt werden. Diese Verfahren garantieren im Gegensatz zur vorliegenden Erfindung nicht die Unversehrtheit des Phasenbildes, da die Objekttextur das Spektrum der projizierten Frequenzen erweitert. Zusätzlich ist auch die Verkürzung der Bildsequenz mittels chromatischer Codierung möglich, wobei erhebliche Sonderanforderungen an die Hardware zur Messbeleuchtung (schmalbandige, z. B. bichromatische Projektion) und Bildaufnahme entstehen.

Phasenschiebeverfahren werden in einer Vielzahl von kommer- ziell verfügbaren optischen Profilometern angewandt. Allen nach diesen Verfahren arbeitenden Profilometern liegt zugrunde, dass eine Messmustersequenz von mindestens drei zueinander phasenverschobenen eindimensional periodischen Mustern (z. B. sinusförmigen Mustern) auf die zu vermessende Oberflä- che projiziert und durch mindestens eine Kamera aufgenommen wird. Diese mindestens drei Kamerabilder werden mittels eines geschlossenen mathematischen Ausdrucks in ein sogenanntes Phasenbild überführt. Dieses Phasenbild erlaubt für jedes die Messbeleuchtung erfassende Kamerapixel den Rückschluss auf die beleuchtende Pixelspalte (oder -zeile) des Messmusterprojektors, innerhalb der Periodizität des Messmusters. Beispielsweise kann bei einem Messmuster mit n Perioden jede im Phasenbild errechnete Phase bis zu n-mal vorkommen, d. h. eine ermittelte Phase kann auf bis zu n beleuchtende Pixelspalten (oder -zeilen) des Messmusterprojektors hindeuten. Aufgrund der Mehrdeutigkeit des Phasenbildes ist nach dem Stand der Technik die Aufnahme einer zusätzlichen Musterse- quenz zur Herstellung eines eindeutigen Zusammenhangs zwischen Kamerapixel und beleuchtender Projektorzeile oder Projektorspalte notwendig. Erst wenn dieser Zusammenhang eindeutig hergestellt ist, kann mittels Triangulation eine Tiefenkarte der zu vermessenden Oberfläche ermittelt werden. Nach dem Stand der Technik wird zu diesem Zweck meist eine zusätzliche Sequenz aufgenommen, die ausschließlich der Herstellung der Eindeutigkeit des Phasenbildes dient. Häufig wird bei kommerziell verfügbaren Profilometern die sogenannte Gray- Code-Sequenz eingesetzt, wobei die Anzahl an notwendigen Bildaufnahmen dem aufgerundeten, binären Logarithmus der Anzahl der Perioden im Messmuster entspricht. Beispielsweise ist für die Herstellung der Eindeutigkeit über 128 Perioden im Messmuster die Aufnahme einer Sequenz von 7 Gray-Code Mustern notwendig. Diese Aufnahmen und die darin investierte Messzeit dienen nicht der Steigerung der Messgenauigkeit, sondern ausschließlich der Herstellung der Eindeutigkeit des Phasenbildes .

Ein weiteres im Stand der Technik verbreitetes Verfahren zur Herstellung der Eindeutigkeit liegt in der Ermittlung eines weiteren Phasenbildes durch eine zweite Messmustersequenz mit teilerfremder Musterperiode. Das sogenannte Mehrwellenlängenverfahren ist gegenüber dem erstgenannten vorteilhaft, da nur mindestens drei Messaufnahmen zusätzlich notwendig sind und das zweite Phasenbild durch geeignete Verarbeitung zur Steigerung der Genauigkeit der Messung genutzt werden kann. Allgemein ist eine Vielzahl anderer Ansätze mit dem Ziel der Herstellung von Eindeutigkeit im Phasenbild bekannt. Diese beschränken sich jedoch auf die Aufnahme zusätzlicher Einzelbilder oder Bildsequenzen. Diese Ansätze sind, vermutlich aufgrund von Nachteilen wie der schlechten Decodierbarkeit, der Notwendigkeit von Farbkameras oder zusätzlichem Aufwand seitens der Projektionseinheit, im kommerziellen verfügbaren Stand der Technik nicht anzutreffen.

FIG 1 zeigt eine Vorrichtung zur topographischen Messung eines Objekts 1 gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Die Vorrichtung weist Projektionsmittel 2 zur Projektion einer Sequenz aus mehreren Messmustern 3 auf das Objekt 1 auf. Des Weiteren weist die Vorrichtung Mittel zur Erfassung 4 und Mittel zur Auswertung 5 der auf das Objekt 1 projizierten

Messmuster 3 auf. Sowohl die Projektionsmittel 2 als auch die Mittel zur Erfassung 4 befinden sich auf einer gemeinsamen Basis 6, d. h. ihre räumliche Zuordnung zueinander ist bekannt. Die Projektionsmittel 2 projizieren Strahlenbündel 7 auf das Objekt 1, welche auf dem Objekt 1 als Messmuster 3 abgebildet werden. Mit dem Bezugszeichen 8 ist eine Teilsequenz 8 des projizierten Messmusters 3 bezeichnet, in diesem Fall ein Streifen eines Streifenmusters mit der Streifenphase φ und dem Streifenindex i. Das abgebildete Messmuster 3 wird durch die Mittel zur Erfassung 4 auf einer Abbildungsebene 11 abgebildet. Das Teilsegment 8 des Messmusters 3 wird in diesem Fall als Linie 10 abgebildet. Die Erfassung des Messmusters 3 erfolgt über ein von dem Objekt 1 reflektiertes Strahlenbündel 9. Mit anderen Worten weist die Vorrichtung somit mindestens eine Vorrichtung zur Beleuchtung des Messobjekts mit der codierten Mustersequenz und mindestens einen Bildwandlers zur Aufnahme der Messszene auf. Optional sind mehrere Bildwandler zur Aufnahme der Messszene (siehe FIG 4) . Zusätzlich wird ei- ne Vorrichtung zur Verarbeitung der Bilddaten benötigt (z. B. PC) , insbesondere zur Decodierung der Codesequenz und zur Berechnung des Phasenbildes, in FIG 1 als Mittel zur Auswertung 5 dargestellt. FIG 2 zeigt ein mit einem Messmuster 21 beleuchtetes Objekt 20, sowie erfasste und ausgewertete Messmuster 22, 23, 24. Dabei wird das Objekt 20 mit einem Streifenmuster 21 beleuch- tet. Das dargestellte Streifenmuster 21 stellt in diesem Fall eines von mehreren Phasenschiebemustern dar. Durch die Erfassung und Auswertung von mehreren solchen in der Phase gegeneinander verschobenen Phasenschiebemustern entsteht ein mehrdeutiges Phasenbild 22. Dieses mehrdeutige Phasenbild 22 lässt sich aus den einzelnen projizierten und erfassten Phasenbildern 21 bestimmen. Ebenso lässt sich gemäß dem hier gezeigten Ausführungsbeispiel der Erfindung ein Codierungsbild 23 bestimmen, welches die ortsfeste Wertesequenz, welche auf das Objekt 20 projiziert wird, wiedergibt. Durch die Verrech- nung des mehrdeutigen Phasenbildes 22 und des decodierten Codierungsbildes 23 ergibt sich ein eindeutiges Phasenbild 24 gemäß FIG 2.

Damit ergibt sich eine Vorrichtung zur topographischen Mes- sung eines Objekts mit gegenüber dem Stand der Technik um mindestens ein Drittel verkürzter Messmustersequenz. Das oben beschriebene Problem der Herstellung der Eindeutigkeit des Phasenbildes wird durch ein neuartiges Verfahren der Modulation einer insbesondere redundanten Wertesequenz in das Mess- muster erreicht, die nach der Aufnahme der Messmustersequenz getrennt vom mehrdeutigen Phasenbild decodiert werden kann.

FIG 3 zeigt Beispiele einer Mustersequenz. In der linken Spalte von FIG 3 sind Querschnitte durch die Messmuster einer Phasenschiebesequenz mit vier Bildaufnahmen gezeigt. Dargestellt ist eine Sequenz aus mehreren Messmustern 30, 31, 32, 33, welche zeitlich sequentiell auf ein Objekt projiziert werden. Dabei beinhaltet ein Messmuster 30 bis 33 jeweils ein mit einer Wertesequenz 38, 39, 40, 41 moduliertes periodisch moduliertes Phasenschiebemuster 34, 35, 36 bzw. 37. Gemäß dem in FIG 3 dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Phasenschiebemuster 34 bis 37 sinusförmig moduliert und weisen eine Phasenverschiebung von π/2, d. h. eine Viertelperiodenlänge, gegeneinander auf, d. h. die sinusförmige Modulation (entspricht der Helligkeit des projizierten Musters) wird dabei für jedes aufeinanderfolgende Bild um jeweils π/2 in der Phase verschoben.

Zusätzlich zu dieser sinusförmigen Modulation wird nun durch Amplitudenmodulation eine geeignete Wertesequenz 38 bis 41 mit dem Phasenschiebemuster überlagert. Die Modulation der Wertesequenz erfolgt dabei abwechselnd mit positivem und ne- gativem Vorzeichen, wodurch die Trennung von periodischer und nicht-periodischer Modulation ermöglicht wird. Des Weiteren ist die Modulation der Wertesequenzen 38 bis 41 ortsfest, d. h. sie nimmt nicht an der Phasenverschiebung teil. Im dargestellten Ausführungsbeispiel sind die Wertesequenzen 38 und 40 bzw. 39 und 41 identisch. Zudem sind die Wertesequenzen 38 und 40 gegenüber den Wertesequenzen 39 bzw. 41 vorzeichenalternierend moduliert.

Die dargestellten Wertesequenzen 38 bis 41 besitzen die Ei- genschaft der Eindeutigkeit einer beliebigen Teilsequenz, wenn die Länge der Teilsequenz mindestens der Länge eines entsprechenden Eindeutigkeitsfensters entspricht. Zum Beispiel kann bei einem Eindeutigkeitsfenster von fünf Symbolen die Position einer beliebigen Teilsequenz von mindestens fünf aufeinanderfolgenden Symbolen in der gesamten Sequenz bestimmt werden. Diese Eigenschaft wird beispielsweise von sogenannten De Bruijn-Sequenzen erfüllt. Zusätzlich ist es möglich, die Wertesequenz redundant auszuführen, so dass gegebenenfalls Fehler bei der Decodierung korrigiert werden können.

Die Modulation der Phasenschiebe-Mustersequenz kann grundsätzlich mit jeder beliebigen Wertesequenz erfolgen. Im Falle einer Wertesequenz C, bestehend aus den Symbolen [cl...cn] und aufgebaut aus dem Alphabet A mit den Symbolen [al...an], besitzt C idealerweise ein garantiertes Eindeutigkeitsfenster, um die eindeutige Zuordnung von Streifenindizes zu einer korrekt identifizierten Symbolfolge (Wort W mit den Symbolen [wl...wn]) sicher zu stellen, wenn die Wortlänge mindestens der Breite des Eindeutigkeitsfensters entspricht. Diese Eigenschaft erfüllt z. B. eine De Bruijn-Sequenz . Fehlertoleranz kann z. B. durch Einhaltung eines Hamming-Abstands von mindestens 3 der Worte [Wl... Wn] zueinander erreicht werden. Bei Einhaltung eines Hamming-Abstands von mindestens 2 ist keine Fehlerkorrektur möglich, jedoch können fehlerhaft dekodierte Worte als solche identifiziert werden.

Die Symbole des Alphabets A können grundsätzlich aus einem einzelnen oder einer Folge von Werten bestehen. Im Falle einer Folge von Werten ergeben sich zusätzliche Möglichkeiten bei der Auswertung des Codierungsbildes. Beispielsweise können in einem Alphabet als Symbole periodische Wertefolgen mit unterschiedlicher Periodenlänge (Frequenzcodierung) verwendet werden. Der erste Schritt der Demodulation findet dann auf herkömmlichem Weg durch Anwendung der unten angegebenen Gl. 2 statt, anschließend erfolgt eine Frequenzanalyse eines entsprechend segmentierten Bildbereichs zur Erkennung der Periodenlänge des gesuchten Symbols. Möglich ist auch eine nicht an codierte Symbole geknüpfte Ausführung der Modulation, beispielsweise als Wertesequenz in Form eines Graukeils, mehrerer Graukeile oder jeder beliebigen, den jeweiligen Zweck erfüllenden Funktion.

Die fertig codierte Mustersequenz ist in amplitudennormalisierter Form in der rechten Spalte dargestellt.

Die in der rechten Spalte dargestellte Sequenz der Messmuster 30 bis 33 ist das amplitudennormalisierte Resultat der mit den jeweiligen Wertesequenzen 38 bis 41 amplitudenmodulierten Phasenschiebemuster 34 bis 37.

Die Auswertung der auf das Objekt projizierten Messmuster erfolgt gemäß dem gezeigten Ausführungsbeispiel der Erfindung wie im Folgenden beschrieben. Durch Gleichungen 1 und 2 kann nach der Projektion und Aufnahme der Sequenz von vier Messmustern sowohl ein (mehrdeutiges) Phasenbild, als auch ein separates Codierungsbild errechnet werden: Φp _hase (*» y) = arctan ₂ [/ ₃ (x, y) - 1 ₁ (x, y), I ₄ (x, y) - 1 ₂ (x, y)] G 1 . 1

_w , _-Λ _ i ₂ ( ^χ >y) +h( ^χ >y) - ¹ I( ^χ ,y)-h( ^χ >y)

I ₁ (X^) +I ₂ (x,y) + I ₃ (x,y) + I ₄ (x,y) _G1 _ ₂

Dabei ist besonders hervorzuheben, dass die Codierung der Messmuster bei idealer Intensitätskalibrierung des Projektors nicht das Phasenbild beeinflusst, das die wesentlichen profi- lometrischen Daten enthält. Wird Gl. 1 mit einem Beleuch- tungsmodell unter Berücksichtigung der anwesenden Lichteinflüsse (Messbeleuchtung und Umgebungsbeleuchtung) sowie der Objektreflektivität umgeformt, verschwindet der Modulationsanteil aus dem resultierenden Phasenbild.

Im Gegensatz dazu ist das Codierungsbild vollständig frei von der periodischen Modulation des Phasenschiebemusters, was die erfolgreiche Decodierung erheblich erleichtert oder oft erst ermöglicht. Wird oben beschriebenes Beleuchtungsmodell zur Validierung verwendet, verbleibt nach Umformung von Gl. 2 ein von der periodischen Modulation freier Ausdruck, in den neben der Codesequenz lediglich der Term der Umgebungsbeleuchtung als skalierender Faktor bleibt. Der skalierende Faktor kann durch entsprechende Gestaltung der Codesequenz und Auswertung des Codierungsbildes nahezu neutralisiert werden.

Im darauffolgenden Schritt der Auswertung wird das Codierungsbild decodiert. Wurde für jede Periode des Phasenschiebemusters eine entsprechende Teilcodesequenz mit der Minimallänge des Eindeutigkeitsfensters identifiziert, ist die Ein- deutigkeit des Phasenbildes hergestellt. Dieses ist die Voraussetzung für den Triangulationsschritt zur Erstellung der Tiefenkarte des Objekts 1.

FIG 4 zeigt eine Vorrichtung zur topographischen Messung ei- nes Objekts 1 mit einem Projektionsmittel 2 zur Projektion einer Sequenz aus mehreren Messmustern 3 auf das Objekt 1. In dem in FIG 4 gezeigten Ausführungsbeispiel der Erfindung wei- sen die Mittel zur Erfassung der auf das Objekt 1 projizierten Messmuster 3 mehrere Bildwandler 50, 55 auf. Die Projektionsmittel 2 werfen ein Strahlenbündel 7 auf das Objekt 1, welches als Messmuster 3 auf dem Objekt 1 abgebildet wird. Mit dem Bezugszeichen 8 ist im dargestellten Beispiel eine Linie eines entsprechend projizierten Streifenmusters bezeichnet. Das auf dem Objekt abgebildete Messmuster 3 wird durch zwei Messwandler 50 bzw. 55 aus unterschiedlichen Raumwinkeln erfasst. Die Erfassung erfolgt über Strahlenbündel 60 bzw. 61. Somit wird der Streifen 8 in einer Bildebene 51 als Streifen 52 vom Bildwandler 50 bzw. in einer Bildebene 56 als Streifen 57 vom Bildwandler 55 abgebildet. Die bekannte räumliche Zuordnung zueinander zwischen Projektionsmittel 2 und den Mitteln zur Erfassung, d. h. den Bildwandlern 50 und 55, sind jeweils als Basis 58 bzw. als Basis 59 gekennzeichnet.

Wird die Erfindung gemäß FIG 4 mit mindestens zwei Bildwandlern, z. B. Kameras, ausgeführt, kann je Kamera ein mehrdeutiges Phasenbild und ein Codierungsbild ermittelt werden. Die abgeleiteten eindeutigen Phasenbilder können mittels Triangulation in je eine Tiefenkarte überführt werden. Eventuelle Fehlstellen in den Tiefenkarten (z. B. in Folge von Über/- Unterbelichtung oder nicht eindeutig decodierbaren Symbolfolgen) können mittels stereoskopischer Verfahren ergänzt wer- den. Dazu wird je Kamera für jedes Pixel ohne Tiefenwert ein korrespondierendes Pixel oder eine korrespondierende Pixelumgebung in den verbleibenden Kameras gesucht. Bei der Korrespondenzsuche kann als Ergänzung zu klassischen photometrischen Stereoverfahren der darunter liegende Codierungswert des Codierungsbildes genutzt werden. Voraussetzung hierfür ist die Anwesenheit der Messbeleuchtung auf den relevanten Pixeln der untersuchten Kamerabilder.

Die gezeigten Ausführungsbeispiele der Erfindung zeigen ein Phasenschiebe-Profilometer mit hybrider Messmustersequenz. Insbesondere wird die Projektion von vier periodisch modulierten, zueinander phasenverschobenen Mustern mit einer ortsfesten Wertesequenz unter Benutzung eines speziellen Mo- dulations- und Demodulationsverfahren beschrieben, das die störungsfreie Extraktion zweier separater Bilder (Phasenbild und Codierungsbild) aus der Messsequenz erlaubt. Gegenüber dem Stand der Technik ergibt sich damit eine von sechs auf vier Bilder verkürzte Messmustersequenz bzw. eine um 33 % verkürzte minimale Messdauer. Aufgrund der kurzen Messdauer ergibt sich somit insbesondere die Eignung für eine freihand geführte Messung.

Durch Nutzung einer redundanten (fehlertoleranten) Wertesequenz, z. B. einer De Bruijn-Sequenz mit Hamming-Abstand > 1 ergibt sich eine hohe Robustheit der Decodierung, sowie die Möglichkeit zur Erkennung und Korrektur unsicherer/ fehlergefährdeter Messbereiche (z. B. bei Mehrfachreflexion) durch Codierung.

Zusammenfassend betrifft die Erfindung somit ein Verfahren und eine Vorrichtung zur topographischen Messung eines Objekts 1. Um die topographische Messung des Objekts 1 zu verbessern, insbesondere zu beschleunigen, weist die erfindungsgemäße Vorrichtung mindestens ein Projektionsmittel 2 zur Projektion einer Sequenz aus mehreren Messmustern 3 auf das Objekt 1 auf, wobei ein Messmuster 3 jeweils ein mit einer Wertesequenz moduliertes periodisch moduliertes Phasen- schiebemuster beinhaltet, wobei die Phasenschiebemuster eine Phasenverschiebung gegeneinander aufweisen, wobei die Wertesequenzen ortsfest gegeneinander sind, und mit Mitteln zur Erfassung 4 und mit Mitteln zur Auswertung 5 der auf das Objekt 1 projizierten Messmuster 3, wobei die Phasenverschie- bung der Phasenschiebemuster und die Modulation mit den

Wertesequenzen derart gewählt sind, dass Anteile der Phasenschiebemuster und der Wertesequenzen aus den projizierten Messmustern 3 unabhängig voneinander auswertbar sind.