Die Erfindung betrifft eine Vakuumbeschichtungsanlage nach dem Oberbegriff von Anspruch 1 und 3, und ein Verfahren zum Beschichten eines bandförmigen Materials nach dem Oberbegriff von Anspruch 17.

Bei der Herstellung von Stahlbändern kommt es sowohl beim Warmwalzen als auch beim Kaltwalzen zu Breitenänderungen des Bandes über der Länge. Dies wird durch die sogenannte„Breitung“ verursacht, welche eine Zunahme der Breite des gewalzten Bandes von einigen Millimetern durch den Walzstich zur Folge hat. Die unterschiedliche Breitung über der Länge des Stahlbandes ist in der Regel auf Zugschwankungen innerhalb der Anlage, mit der das Stahlband bearbeitet wird, zurückzuführen.

Eine weitere Problematik beim Walzen von Stahlbändern besteht darin, dass durch den Walzprozess Rand- oder Mittelwellen durch unterschiedliche Verlängerung über den Querschnitt entstehen können.

Bei der Herstellung von bandförmigen Material, z.B. in Form von Stahlbändern, ist es nach dem Stand der Technik bekannt, die Oberflächen dieses bandförmigen Materials zu verzinken. Dies kann durch einen Vakuumbedampfungsprozess erfolgen, wie z.B. aus DE 30 35 000 A1 , DE 195 27 515 C1 oder DE 197 35 603 C1 bekannt. Zu diesem Vakuumbedampfungsprozess zählt auch die sogenannte PVD- Technologie, die z.B. in der DE 10 2009 053 367 A1 erläutert ist.

Bei dem vorstehend genannten Vakuumbedampfungsprozess erfolgt das Beschichten des bandförmigen Materials in Vakuum, wobei das bandförmige Material durch eine Schleuse und/oder ein System von Blendenelementen einer Kammer oder dergleichen zugeführt wird, in der Vakuum besteht bzw. erzeugt ist. Die Abdichtung des in der Kammer erzeugten Vakuums gegenüber der Umgebung erfolgt in der Regel über Dichtmittel in Form von Blendenelementen, was z.B. in der WO 2008/049523 A1 im Zusammenhang mit einer Bandschleuse beschrieben ist. Eine solche Abdichtung kann gemäß EP 1 004 369 B1 auch durch eine Schleuse mit einer Mehrzahl von Walzen realisiert werden, wobei zumindest eine Walze in Bezug auf mindestens zwei andere Walzen versetzt angeordnet ist und mit ihrer Distanz zu diesen zwei anderen Walzen eingestellt werden kann, um eine Abdichtung für das bandförmige Material, das zwischen diesen Walzen hindurch bewegt wird, zu erreichen. Falls ein bandförmiges Material nach dem Prinzip des Vakuumbedampfungsprozess beschichtet wird, kommt der Abdichtung des Vakuums gegenüber der Umgebung eine große Bedeutung zu. Zu diesem Zweck weist die Vakuumkammer, in der die Beschichtung des bandförmigen Materials realisiert wird, an der Einlassseite und Auslassseite jeweils Schleusen auf. Falls das bandförmige Material über seiner Bandlänge Imperfektionen wie eine nicht konstante Breite (Säbelform) oder Planheitsfehler aufweisen sollte, die durch vorgelagerte Wärmebehandlungprozesse entstehen können, kann es zu einem Verlaufen des bandförmigen Materials auf der Förderstrecke einer Vakuumbeschichtungsanlage kommen, was insbesondere im Bereich der Schleusen einer Vakuumkammer dieser Anlage kritisch ist im Hinblick auf ein notwendiges Abdichten des Vakuums. Eine ungenaue Positionierung des bandförmigen Materials auf der Förderstrecke kann im Bereich der Schleusen der Vakuumkammer entweder zu einem erhöhten Verschleiß oder gar zu einem Einbruch des Vakuums führen, wodurch der Beschichtungsprozess unter Vakuum gestört wird. Flinzu tritt, dass solche Imperfektionen innerhalb der Vakuumkammer zu veränderten Abständen zwischen den Oberflächen des zu beschichtenden bandförmigen Materials und den Beschichtungs- und Reinigungsmodulen führt, wodurch der Vakuum- Beschichtungsprozess ebenfalls beeinträchtigt wird.

Entsprechend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, das Beschichten von bandförmigem Material unter Vakuum mit einfachen Mitteln zu optimieren und hierfür eine verbesserte Prozesssicherheit zu erreichen. Diese Aufgabe wird durch eine Vakuumbeschichtungsanlage gemäß der Ansprüche 1 und 3, und durch ein Verfahren mit den in Anspruch 17 angegebenen Merkmalen gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen definiert.

Eine Vakuumbeschichtungsanlage nach der vorliegenden Erfindung dient zum Beschichten eines bandförmigen Materials insbesondere aus Metall, und umfasst eine Förderstrecke mit Transportmitteln insbesondere in Form von Walzen, auf denen das bandförmige Material in einer Transportrichtung bewegt werden kann, eine Beschichtungskammer, in der Vakuum erzeugbar ist, wobei die Beschichtungskammer einen Einlassbereich und einen Auslassbereich aufweist und dadurch von dem bandförmigen Material entlang bzw. auf der Förderstrecke in der Transportrichtung durchlaufen werden kann, eine Einlaufschleuse, die im Einlassbereich der Beschichtungskammer vorgesehen ist, und eine Auslaufschleuse, die im Auslassbereich der Beschichtungskammer vorgesehen ist.

Die Vakuumbeschichtungsanlage umfasst auch zumindest eine Bandlagenregel einrichtung, mit der eine Position des bandförmigen Materials in Bezug auf eine Mitte der Förderstrecke eingestellt, vorzugsweise ausgerichtet werden kann. Eine solche Bandlagenregeleinrichtung ist entweder innerhalb der Beschichtungskammer und/oder - in Transportrichtung des bandförmigen Materials gesehen - stromaufwärts der Beschichtungskammer und außerhalb davon angeordnet ist.

In gleicher Weise sieht die Erfindung auch ein Verfahren zum Beschichten eines bandförmigen Materials insbesondere aus Metall vor, bei dem das bandförmige Material über eine Förderstrecke in einer Transportrichtung bewegt und innerhalb einer Beschichtungskammer, in der ein Vakuum angelegt ist, vakuumbeschichtet wird. Hierbei wird das bandförmige Material durch zumindest eine Bandlagen regeleinrichtung, die entweder innerhalb der Beschichtungskammer und/oder - in Transportrichtung des bandförmigen Materials gesehen - stromaufwärts der Beschichtungskammer und außerhalb davon angeordnet ist, mit seiner Bandmitte in Bezug auf eine Mitte der Förderstrecke eingestellt, vorzugsweise ausgerichtet. Der Erfindung liegt die wesentliche Erkenntnis zugrunde, dass das bandförmige Material durch die Bandlagenregeleinrichtung in Bezug auf eine Mitte der Förderstrecke, d.h. senkrecht zu seiner Transportrichtung, eingestellt und vorzugsweise ausgerichtet wird. Hierdurch ist gewährleistet, dass das bandförmige Material insbesondere innerhalb der Beschichtungskammer optimal zentriert auf der Förderstrecke bewegt wird, so dass innerhalb der Beschichtungskammer eine Kollision bzw. Berührung des bandförmigen Materials mit den Seitenwänden verhindert und ein optimales Beschichtungsergebnis erzielt wird. Hierzu ist es zweckmäßig, wenn eine solche Bandlagenregeleinrichtung in die Beschichtungskammer integriert ist, d.h. innerhalb der Beschichtungskammer angeordnet ist. Falls das bandförmige Material bei seiner Bewegung durch die Beschichtungskammer hindurch in seiner Position von der Förderstrecke zur Seite abweichen bzw. „wegwandern“ sollte, kann dem mit der innerhalb der Beschichtungskammer angeordneten Bandlagenregeleinrichtung wirkungsvoll entgegengewirkt werden.

Ergänzend und/oder alternativ ist es auch möglich, dass eine Bandlagenregel einrichtung - in Transportrichtung des bandförmigen Materials gesehen - strom- aufwärts der Beschichtungskammer angeordnet ist. Die Funktionsweise einer solchen außerhalb der Beschichtungskammer angeordneten Bandlagenregeleinrichtung entspricht identisch einer Bandlagenregeleinrichtung, die wie vorstehend erläutert innerhalb der Beschichtungskammer angeordnet ist, nämlich dass hiermit die Position des bandförmigen Materials in Bezug auf eine Mitte der Förderstrecke vorzugsweise ausgerichtet wird. Dies führt zu dem Vorteil, dass das bandförmige Material in Bezug auf seine Position auf der Förderstrecke bereits korrekt ausgerichtet ist, wenn es bei seiner Bewegung in der Transportrichtung dann die Einlaufschleuse der Beschichtungskammer erreicht und darin einläuft. Hiermit wird ein störungs- und im Wesentlichen verschleissfreier Kontakt des bandförmigen Materials mit an der Einlaufschleuse vorgesehenen Dichtmitteln erreicht, wodurch ein zuverlässiges Abdichten des Vakuums innerhalb der Beschichtungskammer gegenüber der Umgebung gewährleistet ist. In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung kann eine Bandlagenregeleinrichtung - in Transportrichtung des bandförmigen Materials gesehen - auch stromaufwärts der Beschichtungskammer angeordnet sein. Somit wird das bandförmige Material, nachdem es beschichtet worden ist, nochmals hinsichtlich einer korrekten Position in Bezug auf eine Mitte der Förderstrecke überprüft und ggf. hierzu korrigierend ausgerichtet. Damit ist gewährleistet, dass das beschichtete bandförmige Material störungsfrei auf einer Haspeleinrichtung aufgewickelt oder ggf. in einem davor angeordneten Speicher zwischengespeichert werden kann

In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung sind eine Steuerungseinrichtung und zumindest ein Positionssensor vorgesehen, wobei zwischen einer Bandlagen regeleinrichtung und einem solchen Positionssensor eine Signalverbindung mit dieser Steuerungseinrichtung besteht. Mit dem Positionssensor kann eine Position des bandförmigen Materials auf der Förderstrecke erkannt bzw. bestimmt werden, insbesondere in Bezug auf einen Mittenbereich der Förderstrecke. Falls dabei eine Abweichung der Position des bandförmigen Materials bezüglich des Mittenbereichs der Förderstrecke erkannt werden sollte, kann eine Bandlagenregeleinrichtung in Abhängigkeit der Signale des Positionssensors durch die Steuerungseinrichtung geeignet angesteuert werden, zwecks einer Korrektur bzw. Ausrichtung der Position des bandförmigen Materials auf der Förderstrecke.

Mit der vorliegenden Erfindung lässt sich vorteilhaft eine Beschichtung von bandförmigem Material unter Vakuum realisieren, das aus Stahlband besteht und einen Gefügeanteil von mindestens 10% Martensit aufweist. Ein solches Stahlband kann weiterhin 0,1 - 0,4% Kohlenstoff, 0,5 - 2,0 % Silizium und/oder 1 , 5-3,0% Mangan enthalten. Solche Stähle können als „Dualphasenstähle“ (DP), „Komplexphasenstahl“ (CP), „Quenching and Partitioning Stähle“ (Q&P) oder als „Martensitische Stähle“ (MS) vorliegen, die jeweils einen unterschiedlichen Gehalt an Martensiten (mit zumindest 10%) haben. Nachstehend ist eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung anhand einer schematisch vereinfachten Zeichnung im Detail beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematisch vereinfachte Seitenansicht einer erfindungsgemäßen

Vakuumbeschichtungsanlage, mit der auch ein Verfahren nach der vorliegenden Erfindung durchgeführt werden kann,

Fig. 2-4 jeweils schematisch vereinfachte Ansichten von verschiedenen

Ausführungsformen einer Bandlagenregeleinrichtung, die bei einer Vakuumbeschichtungsanlage von Fig. 1 zum Einsatz kommt, und Fig. 5, Fig. 6 jeweils vereinfachte Draufsicht auf eine Steuerrolle nach weiteren

Ausführungsformen der Erfindung.

Die vorliegende Erfindung sieht eine Vakuumbeschichtungsanlage 10 vor, mit der ein bandförmiges Material 1 1 an zumindest einer Seite davon, vorzugsweise an beiden Seiten (Oberseite und Unterseite) mit einer Beschichtung versehen werden kann. Entsprechend kann mit einer solchen Vakuumbeschichtungsanlage 10 auch ein Verfahren durchgeführt werden, um das bandförmige Material 1 1 insbesondere zu beschichten. Gleiche Merkmale in den beiden Figuren der Zeichnung sind jeweils mit gleichen Bezugszeichen versehen. An dieser Stelle wird gesondert darauf hingewiesen, dass die Zeichnung lediglich vereinfacht und insbesondere ohne Maßstab dargestellt ist.

Das bandförmige Material 1 1 kann aus Metall bestehen, insbesondere aus Stahl oder Edelstahl oder entsprechenden Legierungen hiervon. Des Weiteren wird darauf hingewiesen, dass es sich bei dem bandförmigen Material 1 1 , welches mit der Vakuumbeschichtungsanlage 10 beschichtet wird, um Warmband oder Kaltband handeln kann.

Nachfolgend sind die Vakuumbeschichtungsanlage 10, die einzelnen Komponenten hiervon und deren Funktionsweise im Detail erläutert: Die Vakuumbeschichtungsanlage 10 umfasst eine Förderstrecke 12 mit (nicht gezeigten) Transportmitteln, z.B. in Form von Walzen, auf denen das bandförmige Material in einer Transportrichtung T bewegt wird. Hierbei wird das bandförmige Material 1 1 am Einlauf der Förderstrecke 12 von einer ersten Flaspeleinrichtung 46 abgewickelt, wobei das bandförmige Material 1 1 - nach Durchführung bzw. Abschluss der gewünschten Beschichtung - am Auslauf der Förderstrecke 12 von einer zweiten Flaspeleinrichtung 48 wieder aufgewickelt wird. Direkt nach der ersten

Flaspeleinrichtung 46 und vor der zweiten Flaspeleinrichtung 48 können (Band-)Speicher 44 vorgesehen sein, mit bzw. in denen das bandförmige Material 1 1 gespeichert werden kann. Innerhalb der Förderstrecke 12 wird das bandförmige Material 1 1 in der Bewegungsrichtung T bewegt bzw. transportiert, nämlich von der ersten Flaspeleinrichtung 46 in Richtung der zweiten Flaspeleinrichtung 48.

Entlang der Förderstrecke 12 ist eine Beschichtungskammer 14 angeordnet, durch die hindurch das bandförmige Material 1 1 bewegt wird. Zu diesem Zweck weist die Beschichtungskammer 14 einen Einlassbereich 16 und einen Auslassbereich 18 auf, wobei in dem Einlassbereich 16 eine Einlaufschleuse 20 und in dem Auslaufbereich 18 eine Auslaufschleuse 22 vorgesehen sind. In der Beschichtungskammer 14 wird Vakuum erzeugt. Hierbei gewährleisten die Einlaufschleuse 20 und die Auslaufschleuse 22 eine geeignete Abdichtung dieses Vakuums gegenüber der äußeren Umgebung, bei gleichzeitiger Bewegung des bandförmigen Materials 1 1 entlang der Förderstrecke 12 bzw. durch diese beiden Schleusen 20, 22 hindurch.

Die Beschichtungskammer 14 ist mehrteilig ausgebildet und weist einen Beschichtungsteil 26 und einen Reinigungsteil 28 auf. Beide dieser Teile 26 und 28 sind - wie vorstehend bereits erläutert - unter Vakuum gesetzt. In dem Beschichtungsteil 26 wird das eigentliche Beschichten des bandförmigen Materials 11 durchgeführt, z.B. nach dem Prinzip der„PVD“ (= physical vapor deposition), an entweder einer Seite des bandförmigen Materials oder an beiden Seiten hiervon.

Innerhalb der Beschichtungskammer 14 kann zumindest eine Bandlagen regeleinrichtung 24 angeordnet sein, z.B. innerhalb des Beschichtungsteil 26, wie in der Fig. 1 gezeigt. Ergänzend oder alternativ ist es möglich, eine solche Bandlagen regeleinrichtung 24 in dem Reinigungsteil 28 anzuordnen.

Nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung ist es möglich, eine Bandlagenregeleinrichtung 24.2 - in Transportrichtung T des bandförmigen Materials 1 1 gesehen - stromaufwärts der Einlaufschleuse 20 anzuordnen. Diesbezüglich wird darauf hingewiesen, dass auch eine Kombination mit der zuvor genannten Ausführungsform möglich ist, wobei dann sowohl eine Bandlagenregeleinrichtung 24 innerhalb der Beschichtungskammer 14 als auch eine Bandlagenregeleinrichtung 24.2 in dem Bereich stromaufwärts der Einlaufschleuse 20 angeordnet ist.

Optional kann auch vorgesehen sein, dass eine Bandlagenregeleinrichtung 24.3 auch im Bereich der Einlaufschleuse 20, und eine weitere Bandlagenregeleinrichtung 24.4 im Bereich der Auslaufschleuse 22 vorgesehen sind. Schließlich ist es auch möglich, eine weitere Bandlagenregeleinrichtung 24.5 - in Transportrichtung T des bandförmigen Materials 1 1 gesehen - stromaufwärts der Auslaufschleuse 22 anzuordnen.

Unter Bezugnahme auf die nachfolgenden Fig. 2 bis 6 sind verschiedene Ausführungsformen einer Bandlagenregeleinrichtung 24 (bzw. 24.2, 24.3, 24.4, 24.5) und deren Funktionsweise im Detail erläutert.

Fig. 2 zeigt vereinfacht die wesentlichen Komponenten einer Ausführungsform der Bandlagenregeleinrichtung 24 in Verbindung mit einer Draufsicht auf das bandförmige Material 1 1 , wobei die übrigen Teile der Vakuumbeschichtungsanlage 10 von Fig. 1 zur Vereinfachung weggelassen sind. In der Fig. 2 ist die Förderstrecke 12 vereinfacht durch eine strichpunktierte Linie symbolisiert, wobei eine Mitte dieser Förderstrecke mit „12 _m “ bezeichnet ist. An einem Lager 29 bzw. Teil eines Gehäuses der Beschichtungskammer 14 ist ein Stellglied 30 angebracht, an dessen vorderem Ende eine Kontaktrolle 31 drehbar gelagert ist. Das Stellglied 30 ist in Form eines Hydraulikzylinders ausgebildet, wobei alternativ hierzu - mit gleicher Funktionalität - auch ein Stellglied in Form eines elektrischen Linearmotors oder dergleichen möglich ist. Mittels des Stellglieds 30 ist eine Bewegung der Kontaktrolle 31 in Richtung des bandförmigen Materials 1 senkrecht zu dessen Transportrichtung T möglich.

Die Position des bandförmigen Materials 1 1 auf der Förderstrecke 12 kann durch einen Positionssensor 36 erfasst werden, der signaltechnisch mit einer Steuerungs einrichtung 34 verbunden ist (in Fig. 2 symbolisch durch eine gestrichelte hier gezeigt). Insoweit kommt dem Positionssensor 36 die Funktion eines Bandlagen erfassungselements zu. Ein solcher Positionssensor 36 kann vorzugsweise als Abstandsmesser oder dergleichen ausgebildet sein, z.B. in Form eines Lasersensors

Die Ansteuerung eines Stellglieds 30 kann kraftgesteuert und/oder weggesteuert erfolgen. Flierzu sind pro Stellglied 30 ein Druckgeber 32 und ein Weggeber 33 vorgesehen. Das Stellglied ist ebenfalls signaltechnisch mit der Steuerungseinrichtung 34 verbunden. Entsprechend kann die Ansteuerung des Stellglieds 30 durch die Steuerungseinrichtung 34 in Abhängigkeit der Signale des Positionssensors 36 erfolgen.

Die Draufsicht von Fig. 2 verdeutlicht, dass ein Stellglied 30 mit einer daran angebrachten Kontaktrolle 31 beiderseits der Förderstrecke 12 angeordnet ist.

Die Fig. 3 zeigt eine weitere Ausführungsform für die Bandlagenregeleinrichtung 24. Im Unterschied zur Ausführungsform von Fig. 2 sind hierbei an jeder Seite der Förderstrecke 12 zwei Kontaktrollen 31 vorgesehen, die an einem Führungslineal 35 drehbar angebracht sind. Pro Führungslineal 35 sind zwei Stellglieder 30 vorgesehen, z.B. in Form von Hydraulikzylindern, die signaltechnisch mit der Steuerungseinrichtung 34 verbunden und dadurch, in Abhängigkeit der Signale des Positionssensors 36, kraftgesteuert und/oder weggesteuert werden können.

Bei den Ausführungsformen nach den Fig. 2 und 3 dienen die Kontaktrollen 31 dazu, bei Bedarf - durch entsprechende Betätigung der Stellglieder 30 - senkrecht zur Transportrichtung T an die Bandkanten des bandförmigen Materials 1 1 angestellt zu werden und damit in Kontakt zu gelangen, um eine Position des bandförmigen Materials 1 1 in Bezug auf die Mitte 12 _M der Förderstrecke 12 zu korrigieren bzw. darauf auszurichten.

Die Fig. 4 zeigt eine weitere Ausführungsform für die Bandlagenregeleinrichtung 24, bei der beiderseits der Förderstrecke 12 jeweils eine bestrombare Spule L vorgesehen ist, die an einem Lager 29 bzw. Gehäuseteil der Beschichtungskammer 14 angebracht ist. Diese Spulen L sind signaltechnisch mit der Steuerungseinrichtung 34 verbunden, so dass sie in Abhängigkeit von Signalen des Positionssensors 36 angesteuert bzw. bestromt werden können. Durch die Bestromung dieser Spulen L wird angrenzend an die Förderstrecke 12 ein Magnetfeld bzw. ein elektromagnetisches Wechselfeld erzeugt, das mit dem bandförmigen Material 1 1 insbesondere dann in Wechselwirkung gelangt, wenn es aus Stahl oder einer Stahllegierung besteht. Konkret bedeutet dies, dass durch diese Wechselwirkung eine Abstoßung zwischen den bestromten Spulen L und dem bandförmigen Material 1 1 bestehend aus Stahl hervorgerufen wird. Durch diese Wechselwirkung bzw.

Abstoßung kann in gleicher weise wie mit den Kontaktrollen 31 erreicht werden, eine Position des bandförmigen Materials 1 1 in Bezug auf die Mitte 12 _M der Förderstrecke 12 zu korrigieren bzw. darauf auszurichten. Die vorstehend erläuterten Ausführungsformen einer Bandlagenregeleinrichtung 24 nach den Fig. 2-4 funktionieren nun wie folgt:

In einem Ausgangszustand befinden sich bei den Ausführungsformen von Fig. 2 und Fig. 3 die Kontaktrollen 31 nicht in Kontakt mit den Bandkanten des bandförmigen Materials 1 1. In gleicher Weise sind bei der Ausführungsform von

Fig. 4 die Spulen L stromlos gestellt, so dass auf das bandförmige Material 1 1 kein Magnetfeld einwirkt.

Falls nun im Betrieb der Vakuumbeschichtungsanlage 10 und einer Bewegung des bandförmigen Materials 11 entlang der Förderstrecke 12 durch den Positionssensor 36 festgestellt werden sollte, dass das bandförmige Material 1 1 über seiner Breite, d.h. senkrecht zur Transportrichtung T, Unregelmäßigkeiten aufweist und/oder sich nicht exakt auf der Mitte 12 _M der Förderstrecke 12 läuft, werden mittels der Steuerungseinrichtung 34 die Stellglieder 30 aktuiert bzw. die Spulen L bestromt, so dass durch das Anstellen der Kontaktrollen 31 an die Bandkanten des bandförmigen Materials 1 1 bzw. durch die Wechselwirkung der erzeugten Magnetfelder mit dem Band bestehend aus Stahl eine Position des bandförmigen Materials 1 1 auf der Förderstrecke 12 geeignet korrigiert wird. In Folge dessen wird der Bandlauf des bandförmigen Materials 1 1 auf der Förderstrecke 12 senkrecht bzw. quer zur Transportrichtung T korrigiert. In diesem Zusammenhang wird darauf hingewiesen, dass die Kontaktrollen 31 nur solange in Kontakt mit den Bandkanten bzw. Seitenrändern des bandförmigen Materials 1 1 sind, wie es für eine Korrektur der Position des bandförmigen Materials 1 1 auf der Förderstrecke 12 in Bezug auf deren Mitte 12 _M erforderlich ist. Anders ausgedrückt, können die Kontaktrollen 31 durch eine Betätigung der Stellglieder 30 wieder von den Bandkanten des bandförmigen Materials 1 1 abgerückt bzw. davon senkrecht zur Transportrichtung T wegbewegt werden, wenn durch den Positionssensor 36 eine korrekte Position des bandförmigen Materials 1 1 auf der Förderstrecke 12 erkannt wird. Mutatis mutandis gilt dies auch für die Spulen L bei der Ausführungsform von Fig. 4, die nur solange bestromt werden, wie es für eine Positionskorrektur des bandförmigen Materials 1 1 erforderlich ist. Je nach Anordnung einer Bandlagenregeleinrichtung 24 kann ein Positionssensor 36 innerhalb der Beschichtungskammer 14 angeordnet sein, oder auch in einem Bereich stromaufwärts der Einlaufschleuse 20 oder stromabwärts der Auslaufschleuse 22, oder auch im Bereich der Einlaufschleuse 20 bzw. der Auslaufschleuse 22. Dies bedeutet, dass die Vakuumbeschichtungsanlage 10 mehrere solcher Positions- sensoren 36 umfassen kann, die einer jeweiligen Bandlagenregeleinrichtung in den verschiedenen Bereichen der Vakuumbeschichtungsanlage 10 zugeordnet sind.

Nach weiteren Ausführungsformen der Bandlagenregeleinrichtung 24 kann hierbei eine sogenannte Steuerrolle (oder eine Mehrzahl von solchen Steuerrollen) eingesetzt werden, die in der Fig. 5 und in der Fig. 6 in einer vereinfachten Draufsicht gezeigt sind und z.B. von der EMG Automation GmbFI (D-57482 Wenden) angeboten werden. Hierbei wird das bandförmige Material 1 1 über eine Steuerrolle geführt, wobei sich zwischen dem bandförmigen Material 1 1 und der Steuerrolle ein bestimmter Umschlingungswinkel einstellt.

In den Darstellungen von Fig. 5 und Fig. 6 ist die Transportrichtung, mit der das bandförmige Material 1 1 über die Steuerrolle geführt wird, ebenfalls mit „T“ bezeichnet, wobei zur Vereinfachung das bandförmige Material selber nicht gezeigt ist. Bei der Steuerrolle 50 gemäß Fig. 5 erfolgt deren Verstellung relativ zum bandförmigen Material 1 1 derart, dass die Steuerrolle 50 entlang ihrer Längsachse A senkrecht zur Transportrichtung T verschoben wird. In dieser Weise wirkt die Steuerrolle 50 proportional. Demgegenüber erfolgt eine Verstellung der Steuerrolle 52 gemäß Fig. 6 derart, dass die Steuerrolle 52 mit ihrer Längsachse A relativ zur Transportrichtung T verdreht wird, wie dies in der Fig. 6 ausgehend von einer Position, bei der die Längsachse A mit der Transportrichtung T ein Winkel von 90° einschließt, für zwei beispielhafte Auslenkungen bzw. verdrehte Positionen gezeigt ist. In dieser Weise wirkt die Steuerrolle 52 integral.

In Bezug auf die Steuerrollen 50, 52, die in den Fig. 5 und 6 veranschaulicht und erläutert sind, darf darauf hingewiesen werden, dass es bei einer weiteren (nicht gezeigten) Ausführungsform der Bandlagenregeleinrichtung 24 möglich ist, die Funktionen der Steuerrollen 50, 52 und deren Verstellmöglichkeit in Form einer sogenannten Flebelsteuerrolle miteinander zu kombinieren.

Durch den Einsatz von zumindest einer Bandlagenregeleinrichtung, wie vorstehend erläutert, wird erreicht, dass das bandförmige Material 1 1 innerhalb der unter Vakuum gesetzten Beschichtungskammer 14 stets optimal positioniert auf der Förderstrecke 12 entlang der Transportrichtung T bewegt wird, so dass z.B. ein„Anecken“ bzw. eine Berührung des bandförmigen Materials 1 1 mit Seitenwänden der Beschichtungs kammer 14 bzw. des Beschichtungsteil 26 verhindert wird. Gleiches gilt für den Einlauf des bandförmigen Materials 1 1 in die Einlaufschleuse 20, oder auch für ein weiteres Bewegen des bandförmigen Materials 1 1 auf der Transportstrecke 12 nach dem Austritt aus der Auslaufschleuse 22. In Transportrichtung T des bandförmigen Materials 1 1 gesehen kann stromaufwärts der Einlaufschleuse 20 eine weitere chemische Reinigungseinrichtung 42 angeordnet sein, die von dem bandförmigen Material 1 1 vor einem Einlaufen in die Beschichtungskammer 14 durchlaufen wird. Hierdurch werden die Oberflächen des bandförmigen Materials 1 1 , bevor es in dem Reinigungsteil 28 (unter Vakuum) einer Feinreinigung unterzogen wird, vorbereitend gesäubert bzw. gereinigt.

Die Vakuumbeschichtungsanlage 10 umfasst zumindest eine Planheitsoptimierungs einrichtung 39, die eine Dressiergerüsteinrichtung 40 aufweist und - in Transport richtung T des bandförmigen Materials 1 1 gesehen - stromaufwärts der Einlauf schleuse 20 angeordnet ist. Das bandförmige Material 1 1 durchläuft die

Dressiergerüsteinrichtung 40, bevor es anschließend in die Beschichtungskammer 14 einläuft. Durch den Kontakt mit den Walzen der Dressiergerüsteinrichtung 40 wird die Planheit an den Oberflächen des bandförmigen Materials 1 1 auf einen gewünschten Wert eingestellt, wobei gleichzeitig mögliche Planheitsfehler an den Oberflächen des bandförmigen Materials 1 1 eliminiert werden.

Die Vakuumbeschichtungsanlage 10 umfasst zumindest eine Besäumschere 38, in Transportrichtung T des bandförmigen Materials 1 1 gesehen stromaufwärts der Einlaufschleuse 20 der Beschichtungskammer 14. Angrenzend hierzu ist zumindest ein weiterer Positionssensor 36 vorgesehen, mit dem eine Position des bandförmigen Materials 1 1 auf der Förderstrecke 12 in einem Bereich stromaufwärts der

Beschichtungskammer 14, und damit auch im Bereich der Besäumschere 38, bestimmt werden kann. Dieser Positionssensor 36 ist ebenfalls mit der Steuerungseinrichtung 34 signaltechnisch verbunden. Entsprechend ist es mittels der Steuerungseinrichtung 34 möglich, die Besäumschere 38 in Abhängigkeit von Signalen des Positionssensors 36 zu betätigen bzw. in Aktion zu setzen.

Die signaltechnische Verbindung zwischen der Steuerungseinrichtung 34 einerseits, und den Positionssensoren 36, den Bandlagenregeleinrichtungen 24 und der

Besäumschere 38 andererseits, ist in der Fig. 1 vereinfacht durch eine strichpunktierte Linie symbolisiert. Die Besäumschere 38 dient zu dem Zweck, das bandförmige Material 11 an entweder einer Bandkante davon, oder wahlweise an beiden Bandkanten (d.h. am linken und rechten Seitenrand des bandförmigen Materials 1 1 ) zu besäumen, d.h. dort durch ein Schneiden schmaler zu machen und dadurch die Breite des bandförmigen Materials 1 1 senkrecht zur Transportrichtung T zu vermindern. Die Besäumschere 38 wird im Betrieb der Vakuumbeschichtungsanlage 10 und bei einer entsprechenden Bewegung des bandförmigen Materials 1 1 entlang der Förderstrecke 12 dann betätigt, wenn durch den Positionssensor 36 erkannt wird, dass eine Breite des bandförmigen Materials 1 1 von einem vorbestimmten Sollwert abweicht und z.B. infolge einer Breitung zu groß ist. Durch das Besäumen wird erreicht, dass das bandförmige Material 1 1 in dem Bereich stromaufwärts der Einlaufschleuse 20, und damit vor dem Einlaufen hinein in die Beschichtungskammer 14, eine gleichbleibende Breite über dessen Länge erhält, wobei diese Breite auch optimal an die Breite der Einlaufschleuse 20 angepasst ist.

Nach einer weiteren (nicht gezeigten) Ausführungsform der Erfindung kann eine Streck-/Biegerichteinrichtung ebenfalls Bestandteil der Planheitsoptimierungs einrichtung 39 sein kann, ergänzend oder alternativ zu der genannten Dressiergerüsteinrichtung 40. Durch die Bezeichnung „K“ und das zugeordnete gestrichelte Rechteck in Fig. 1 ist vereinfacht symbolisiert, dass die Planheits optimierungseinrichtung 39 auch als eine Kompakteinheit ausgebildet sein kann, die sowohl eine Dressiergerüsteinrichtung 40 als auch eine Streck-/Biegerichteinrichtung umfasst. Mittels der Streck-/Biegerichteinrichtung und einer Anstellung von deren Walzen können die Planheit des bandförmigen Materials 1 1 an dessen Oberflächen weiter verbessert werden und ggf. auch eine Bandverlängerung, d.h. eine Längung des bandförmigen Materials 11 in dessen Längsrichtung erzielt werden.

Durch ein Fl indurchführen des bandförmigen Materials 1 1 durch die Beschichtungskammer 14 wird zumindest auf eine Oberfläche des bandförmigen Materials 1 1 , vorzugsweise auf beide Oberflächen davon, eine Beschichtung aufgebracht, z.B. eine Zinkschicht. Dieses Beschichten kann innerhalb des Beschichtungsteil 26 nach dem Prinzip der PVD erfolgen. Nachdem zumindest eine Oberfläche des bandförmigen Materials 1 1 mit einer Beschichtung, z.B. mit einer Zinkschicht, versehen worden sind, wird das bandförmige Material 1 1 dann wie erläutert von der zweiten Haspeleinrichtung 12 wieder aufgewickelt.

Somit gelingt mit der vorliegenden Erfindung das Aufbringen einer Beschichtung auf eine bzw. die Oberfläche(n) des bandförmigen Materials 1 1 bei nur geringen Temperaturen, ohne dass die Materialeigenschaften des bandförmigen Materials 1 1 verändert bzw. beeinträchtigt werden. Dies ist insbesondere dann von Vorteil, wenn es sich bei dem bandförmigen Material um ein Stahlband insbesondere in Form von Warmband handelt, welches einen Gefügeanteil von mindestens 10% Martensit aufweist.

Bezugszeichenliste

10 Vakuumbeschichtungsanlage 1 1 bandförmiges Material

12 Förderstrecke

14 Beschichtungskammer

16 Einlassbereich

18 Auslassbereich

20 Einlaufschleuse

22 Auslaufschleuse

24 Bandlagenregeleinrichtung

24.2 Bandlagenregeleinrichtung

24.3 Bandlagenregeleinrichtung 24.4 Bandlagenregeleinrichtung

26 Beschichtungsteil

28 Reinigungsteil

29 Lager / Gehäuse

30 Stellglied

31 Kontaktrolle(n)

32 Druckgeber

33 Weggeber

34 Steuerungseinrichtung

35 Führungslineal(e)

36 Positionssensor

38 Besäumschere

39 Planheitsoptimierungseinrichtung

40 Dressiergerüsteinrichtung

42 chemische Reinigungseinrichtung 44 Speicher

46 erste Flaspeleinrichtung (Einlauf) 48 zweite Flaspeleinrichtung (Auslauf) 50 Steuerrolle 52 Steuerrolle

A Längsachse (einer Steuerrolle 50, 52)

K Kompakteinheit

L Spule(n)

T Transportrichtung (für das bandförmige Material 11 )