Die Erfindung betrifft ein Spektrometer für Röntgenstrahlung gemäß Anspruch 1.

Es ist aus Lehrbüchern der Physik [z. B. Christian Gerthsen: "Physik", neunte Auflage, Springer-Verlag Berlin, Heidelberg, New York (1966), Seiten 404 ff.] bekannt, daß ein Röntgen¬ strahl (Wellenlänge ca. 10 - 8 cm) beim Auftreffen unter fla¬ chem Winkel (z. B. 10') auf einem Strichgitter (z. B. 200 Striche/mm) unter Beugung reflektiert wird. Weiterhin ist bekannt, daß Strahlung beim Durchtritt durch eine Blende ge¬ beugt wird, wobei die Beugung von der Wellenlänge der Strah¬ lung abhängig ist.

Aus Rev. Sei. Instrum. 58 (1), 1987, S. 43/44 ist ein Spektro¬ meter für Röntgenstrahlung bekannt, das aus einer für die Röntgenstrahlung undurchlässigen Scheibe, die mit einer Viel¬ zahl von Kanälen versehen ist, besteht.

Aus Nuclear Instruments an Methods in Physics Research B82, 1993, S. 121-124 ist ein Spektrometer für Röntgenstrahlung, bestehend aus einer für die Röntgenstrahlung undurchlässigen gewölbten Scheibe mit einer konvexen und einer konkaven Ober¬ fläche, die mit einer Vielzahl von Kanälen (Kapillaren) verse¬ hen ist, die auf einen gemeinsamen Punkt weisen, bekannt.

Aufgabe der Erfindung ist, ein weiteres Spektrometer vorzu¬ schlagen, mit dessen Hilfe ein Spektrum von Röntgenstrahlung erhalten wird.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch das in Anspruch 1 be¬ schriebene Spektrometer gelöst. Der abhängige Anspruch be¬ schreibt eine bevorzugte Ausgestaltung des Spektrometers.

Ein Bestandteil des erfindungsgemäßen Spektrometers ist eine gewölbte, für Röntgenstrahlung an sich undurchlässige Scheibe,

die eine Vielzahl von Kanälen mit maximal 50 μm Durchmesser enthält, die so angeordnet sind, daß sie auf eine gemeinsame Linie oder auf einen gemeinsamen Punkt weisen. Wegen der Wöl¬ bung weist die Scheibe eine konkave und eine konvexe Oberflä¬ che auf. Die gemeinsame Linie oder der gemeinsame Punkt liegen der konkaven Oberfläche der Scheibe gegenüber. Die Dicke der Scheibe kann unterhalb 1 cm, bei weicher Röntgenstrahlung so¬ gar unterhalb 1 mm liegen.

Überraschenderweise hat es sich gezeigt, daß die Kanäle einer solchen Scheibe nur für einen einzigen Wellenlängenbereich ei¬ ner kontinuierlichen Röntgenstrahlung durchlässig sind. Wel¬ cher Wellenlängenbereich der kontinuierlichen Röntgenstrahlung das Spektrometer passiert, hängt vom Maß der Wölbung des Spek¬ trometers ab. Trifft auf die konvexe Oberfläche der Scheibe ein paralleler Röntgenstrahl mit kontinuierlicher Wellenlänge auf, ist die Scheibe bei vorgegebener Wölbung nur für Strah¬ lung eines bestimmten Wellenlängenbereichs durchlässig, wäh¬ rend die anderen Wellenlängenbereiche absorbiert werden. Die Strahlung des Wellenlängenbereichs, der die Scheibe durch¬ strahlt, wird auf der gemeinsamen Linie oder im gemeinsamen Punkt fokussiert. Eine zusätzliche Einrichtung, mit deren Hilfe die Wölbung der Scheibe verändert werden kann, eröffnet damit die Möglichkeit, nacheinander einzelne Wellenlängenbe¬ reiche auf der konkaven Seite der gewölbten Scheibe zu fokus- sieren.

Das Material der Scheibe soll für Röntgenstrahlung undurchläs¬ sig sein. Generell wird diese Bedingung von Glas erfüllt. Für weiche Röntgenstrahlung sind Kunststoffe wie z. B. Poly- carbonat geeignet.

Die Scheibe kann in einer ersten Ausführungsform in der Weise gewölbt sein, daß sie einen Teil der Mantelfläche eines Zylin¬ ders bildet, so daß ihr Querschnitt einen Teil eines Kreises, z. B. ein Drittel oder Viertel eines Kreises, darstellt. Die Kanäle weisen in diesem Fall auf eine gemeinsame Linie, nä -

lieh die Achse des Zylinders und sind senkrecht zur Scheibe angeordnet. Mittels der Einrichtung wird in diesem Fall be¬ wirkt, daß sich der Zylinderdurchmesser ändert. In einer zwei¬ ten, verbesserten Ausführungsform ist die Scheibe in der Weise gewölbt, daß alle Kanäle auf einen gemeinsamen Punkt, den Brennpunkt, weisen. In diesem Fall bildet die konkave Seite eine radialsymmetrische Vertiefung, während die konvexe Seite eine entsprechende Erhöhung darstellt. Wiederum sind die Kanäle senkrecht zur Scheibe angeordnet. Das Ausmaß der Ver¬ tiefung wird durch die Einrichtung eingestellt.

Um das Spektrum einer kontinuierlichen Röntgenstrahlung zu er¬ halten, muß somit die Wölbung der Scheibe verändert werden, damit jeweils ein anderer Wellenlängenbereich auf der konkaven Seite erfaßt werden kann. Die Änderung der Wölbung vollzieht sich mit Hilfe der Einrichtung in der Weise, daß sich die ge¬ meinsame Linie oder der gemeinsame Punkt verschiebt. Die Ver¬ schiebung erfolgt entlang einer Linie, die durch die Normale zur Fläche der Tangenten am Scheitelpunkt oder an der Schei¬ tellinie der konvexen Oberfläche der Scheibe gegeben ist.

In beiden genannten Ausführungsformen ist die Scheibe vorzugs¬ weise in der Weise gewölbt, daß die Tangente an ihrem Rand mit der Tangentenfläche an ihrem Scheitelpunkt einen Winkel im Be¬ reich zwischen 3° und 20° einschließt. Diese Winkelangabe wurde für ein Spektrometer aus Polycarbonat abgeleitet.

Die Zahl der Kanäle und ihr Durchmesser bestimmt die Durchläs¬ sigkeit des Spektrometers für die zu fokussierende Strahlung. Die Absorption von auf das Spektrometer fallender Strahlung ist abhängig vom Gesamtverhältnis der Flächen der offenen und der geschlossenen Bereiche. Je höher die Gesamtfläche der Kanaleintrittsöffnungen und damit der offenen Bereiche ist, desto durchlässiger ist das Spektrometer. Die Kanäle sollen einen Durchmesser von weniger als 50 μm aufweisen. Besser ge¬ eignet erscheinen kleinere Durchmesser, etwa von 10 μm und we¬ niger. Optimale Eigenschaften werden bei einem Kanaldurch es-

ser von weniger als 1 μm, etwa von 0,1 μm, erwartet. Um die Absorption der Strahlung durch das strahlenundurchlässige Ma¬ terial der Scheibe zu vermindern, muß in diesem Fall die Zahl der Kanäle entsprechend vergrößert werden.

Das erfindungsgemäße Spektrometer läßt sich ausgehend von ei¬ ner planaren, für Röntgenstrahlung undurchlässigen Scheibe herstellen. Die planare Scheibe wird mit einer Vielzahl von durchgehenden, zueinander parallelen Kanälen versehen, die senkrecht zur Ebene der planaren Scheibe verlaufen und maximal 50 μm im Durchmesser messen. Eine Vielzahl sehr feiner Kanäle läßt sich herstellen, indem die planare Scheibe einem paral¬ lelen, senkrecht auf die planare Scheibe auftreffenden Ionen¬ strahl ausgesetzt wird, der die planare Scheibe durchdringt. Die Anordnung der einzelnen Kanäle ist beliebig; ein bestimm¬ tes Muster braucht nicht vorgegeben werden.

Andererseits hat es sich gezeigt, daß planare Scheiben mit ei¬ ner Vielzahl von zueinander parallelen, senkrecht zur Schei¬ benebene verlaufenden Kanälen zum Zweck der Filtration von Flüssigkeiten bereits kommerziell angeboten werden. Geeignet zur Herstellung eines Spektrometers für weiche Röntgenstrah¬ lung erweisen sich z. B. Filterplättchen aus Polycarbonat mit einer Vielzahl von Poren, wie sie unter der Bezeichnung "Nucleopore ^R Polycarbonate Membrane" im Fachhandel angeboten werden. Sie messen ca. 4,5 cm im Durchmesser und sind ca. 0,01 mm dick. Sie enthalten durchgehende Poren mit einem Poren¬ durchmesser von 12 μm bis 0,015 μm und eine Porendichte von 10 ⁵ bis 6-10 ⁸ Poren/cm ² .

Mit Hilfe der Einrichtung wird die planare Scheibe in der be¬ schriebenen Weise gewölbt, wobei das Maß der Wölbung einstell¬ bar ist.

Sollen als Spektrometer Filterplättchen verwendet werden, kön¬ nen sie in eine Öffnung eines evakuierbaren Behälters ein¬ gesetzt werden, wonach der Behälter permanent durch eine Pumpe

evakuiert wird. Bei ausreichender Pumpleistung wölbt sich das Filterplättchen symmetrisch in Richtung des Behälterinnen¬ raums, wobei das Maß der Wölbung von der Pumpleistung abhängig ist. Wenn das Spektrometer keinen Brennpunkt, sondern eine Brenn"linie" aufweisen soll, ist es bei biegsamen planaren Scheiben ausreichend, die planare Scheibe in der Weise in eine Fixier- und Spanneinrichtung einzuspannen, daß sie einen Teil der Mantelfläche eines Zylinders bildet, wobei der Zylinder¬ durchmesser einstellbar ist.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Durchführungsbei¬ spielen und Figuren näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. l die Versuchsanordnung;

Fig. 2 schematisch das verwendete Spektrometer;

Fig. 3a und 3b Intensitätsdiagramme.

Fig. 1 stellt die Versuchsanordnung dar, mit deren Hilfe die nachfolgend beschriebenen Versuche durchgeführt wurden. Die Versuchsanordnung besteht aus einer Vorrichtung 1 zur Emission weicher Röntgenstrahlung, dem Spektrometer 2 und einem PIN-De- tektor (PIN-Diode) 3 zur Bestimmung der Intensität der Röntgenstrahlung. Die Vorrichung 1 besteht in bekannter Weise aus einer Anode 4 und einer Kathode 6, die durch ein Dielek¬ trikum 5 voneinander getrennt sind. An die Anode 4 und die Ka¬ thode 6 ist eine einstellbare Hochspannung 8 mit U > 10 bis 20 kV angelegt. Durch die Vorrichtung 1 wird eine gepulste weiche Röntgenstrahlung mit ET = 100 eV bis 500 eV und einer Puls¬ dauer von ca. 500 ns erzeugt, die vom Punkt 7 ausgeht. Die Ka¬ thode 6 bildet eine Blende mit einem Durchmesser von 10 mm. Der Punkt 7 ist ca. 50 mm von der Blendenöffnung entfernt. Die Versuchsanordnung wird unter einem Druck von P ~ 10~ ³ mbar ge¬ halten. Die Intensität der von der Vorrichtung 1 emittierten

Röntgenstrahlung hängt vom Material der Anode 4 und Kathode 6, deren Geometrie sowie von der angelegten Spannung ab.

Als Spektrometer 2 wird ein Filterplättchen eingesetzt, das unter der Bezeichnung "Nucleopore ^R Polycarbonate Membrane" im Fachhandel erhältlich ist. Das Filterplättchen besteht aus ei¬ ner planaren Scheibe mit 4,5 cm Durchmesser und 0,01 mm Dicke. Vom Hersteller wird angegeben, daß der Porendurchmesser 10 μm und die Porendichte 1-10 ⁵ Poren/cm ² betragen. Die Poren stel¬ len durchgehende Kanäle dar. Mit Hilfe einer (nicht darge¬ stellten) Einrichtung wird das Filterplättchen gewölbt, wobei das Maß der Wölbung einstellbar ist. Die Wölbung erfolgt in allen Fällen in der Weise, daß das Filterplättchen im Quer¬ schnitt eine stetig gebogene Linie darstellt. Anstatt einem Brennpunkt wird bei im Querschnitt kreisförmiger Wölbung eine Brenn"linie" erhalten, die mit "F" bezeichnet ist.

Zur Halterung des Spektrometers 2 wurde ein kleiner Randab¬ schnitt des Spektrometers eingeklemmt. Außerdem wurde das Spektrometer 2 seitlich durch einen Drahtbügel fixiert. Der dem eingeklemmten Randabschnitt gegenüberliegende Randab¬ schnitt wurde von einem weiteren Drahtbügel gehalten, der mit Hilfe einer Mikrometerschraube in Richtung auf den eingeklemm¬ ten Randabschnitt verschiebbar war, so daß das Spektrometer 2 durch Eindrehen der Mikrometerschraube in zunehmendem Maß ge¬ wölbt werden konnte. Mit Hilfe der Mikrometerschraube können die Stellungen 0 mm bis 8 mm eingestellt werden. Die Stellung 8 mm entspricht einer sehr schwachen Wölbung. Durch das Ein¬ drehen der Mikrometerschraube auf die Stellungen 7 mm bis 0 mm wird eine zunehmende Wölbung des Spektrometers 2 erzeugt. In Stellung 0 mm nimmt das Spektrometer 2 die am stärksten ge¬ wölbte Form an. Die Stellungen 0 bis 8 mm der Mikrometer¬ schraube wurden in den folgenden Intensitätsdiagrammen mit "Q" bezeichnet.

Fig. 2 zeigt schematisch das Filterplättchen in planarer Form in Aufsicht (Teil a) und und Querschnittsdarstellung (Teil b)

sowie in gewölbter Form (Teil c) . Die Wölbung entspricht dem oben genannten und in der Figur (Teil c) dargestellten Fall, daß das gewölbte Filterplättchen auf der Mantelfläche eines Zylinders liegt. Das Filterplättchen ist mit einer Vielzahl von durchgehenden Poren (Kanäle 7) versehen. Der angenommene Strahlverlauf der das Filterplättchen durchdringenden Strah¬ lung ist in Teil c dargestellt. An der inneren Oberfläche der durchgehenden Kanäle 7 findet eine Reflexion der von links einfallenden, mit τ _n (n = 1 ... n) bezeichneten Strahlen statt.

Strenggenommen weisen die Verlängerungen der Kanäle nicht exakt auf die mit "F" bezeichnete Linie, weil an ihrer inneren Oberfläche eine Reflexion stattfindet. Insbesondere bei sehr kleinen Kanaldurchmessern kann die Strahlabweichung infolge der Reflexion für praktische Zwecke vernachlässigt werden. In der Praxis werden die Strahlen τ _n daher bei sehr kleinen Ka¬ naldurchmessern auf der gemeinsamen Linie (der Zylinderachse) fokussiert, auf der sich die die Verlängerungen der Kanäle auf der konkaven Seite des Filterplättchens schneiden. Bei größe¬ ren Kanaldurchmessern liegt infolge der Reflexion der Strah¬ lung an den Innenwänden der Kanäle der Brennpunkt der Strah¬ lung näher an dem Spektrometer als der Schnittpunkt der Ver¬ längerungen der Kanäle, wie aus Teil c abgeleitet werden kann.

Die Versuchsergebnisse mit der beschriebenen Anordnung sind in den folgenden Figuren 3a und 3b dargestellt.

Fig. 3a zeigt die mit der PIN-Diode 3 gemessenen Intensitäten in [mV] in Abhängigkeit von der Stellung der Mikrometer¬ schraube Q in [mm] . Die stärkste Wölbung des Spektrometers 2 ergibt sich wie erwähnt bei Q = 0 mm und die schwächste Wöl¬ bung bei Q = 5 mm. Bei diesem Versuch wurde eine Kathode aus Cu-64 und eine Anode aus Fe-56 eingesetzt. Der Abstand zwi¬ schen dem Scheitelpunkt des Spektrometers 2 und der PIN-Diode 3 betrug in Strahlrichtung 320 mm. Die PIN-Diode trug eine 5

μm dicke Aluminiumfolie, die nur für Röntgenstrahlung durch¬ lässig ist. Die Hochspannung 8 wurde auf U = 18 kV gehalten.

Im Diagramm gemäß Fig. 3 ergibt sich ohne Spektrometer 2 eine waagrechte Linie. Deutliche Intensitätsänderungen wurden dage¬ gen mit Spektrometer 2 erhalten. Die Intensitätsänderungen sind von der Stellung Q der Mikrometerschraube und damit von der Wölbung des Spektrometers 2 abhängig. In Fig. 3a sind die bei der jeweiligen Stellung der Mikrometerschraube gemessenen Intensitätswerte mit Fehlerbalken bezeichnet. Es sind mehrere Maxima zu erkennen. Es ist offensichtlich, daß die Röntgen¬ strahlung bei einzelnen Stellungen der Mikrometerschraube ge¬ bündelt und damit durch das Spektrometer 2 beeinflußt wird. Ein erstes Maximum wird z. B. bei relativ schwacher Wölbung des Spektrometers 2, nämlich bei Q « 4 mm erhalten. Schwächere Maxima ergeben sich bei stärkerer Spektrometerwölbung und ent¬ sprechend kleineren Stellungen der Mikrometerschraube. Bei ge¬ ringer Wölbung (Q im Bereich zwischen 5 und 4,5) liegen die beobachteten Intensitätswerte unter denen, die ohne Spektrome¬ ter gemessen wurden. Dies kann auf die Absorption der Strah¬ lung durch das Spektrometer zurückgeführt werden. Da ein kon¬ tinuierliches Röntgenspektrum vorliegt, durchdringt nur die Strahlung eines Wellenlängenbereichs die gewölbte Scheibe. Die Maxima werden als Röntgenspektrum der von der Kupferkathode emittieren Röntgenstrahlung interpretiert.

Fig. 3b zeigt ein zu Fig. 3a analoges Diagramm bei weitgehend unveränderter Versuchsanordnung. Die Vorrichtung 1 enthielt jedoch im Gegensatz zum oben beschriebenen Versuch sowohl eine Kathode als auch eine Anode aus Eisen. Wiederum wurde ohne Spektrometer 2 im Diagramm eine waagrechte Linie erhalten. Beim Versuch mit Spektrometer 2 wurden die erhaltenen Intensi¬ täten mit den Fehlerbalken bezeichnet. Der Fokussiereffekt des Spektrometers 2 zeigt sich in den Maxima der Intensität bei niedriger Stellung Q der Mikrometerschraube (stärkere Wöl¬ bung) . Die niedrigen Intensitätswerte bei schwach gewölbtem Spektrometer 2 scheinen wiederum auf die Absorption der Strah-

lung durch des Spektrometers 2 zurückzuführen sein. Eine stär¬ kere Wölbung (Q im Bereich zwischen 1 und 3 mm) ergibt Inten¬ sitätswerte, die deutlich über den Intensitätswerten liegen, die ohne Spektrometer 2 (waagrechte Linie) erhalten werden. Die Maxima entsprechen einzelnen Wellenlängenbereichen; sie werden als Röntgenspektrum der von der Eisenkathode emittieren Röntgenstrahlung interpretiert.