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Title:
エネルギ計測装置及びエキシマレーザ装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JPWO2020008599
Kind Code:
A1
Abstract:
本開示の一観点に係るエネルギ計測装置は、メイン光の一部を第１ビームスプリッタ、第２ビームスプリッタ、第３ビームスプリッタ、及び第４ビームスプリッタで順に反射してエネルギセンサに入力する。第１ビームスプリッタ、第２ビームスプリッタ、第３ビームスプリッタ、及び第４ビームスプリッタは、メイン光の入射角変化及び偏光純度変化によるエネルギセンサの検出値の変化を抑制する入射角、光路の折り曲げ方向となるように配置されている。

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Inventors:
Yousuke Watanabe
Masato Moriya
Application Number:
JP2020528632A
Publication Date:
August 02, 2021
Filing Date:
July 05, 2018
Export Citation:
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Assignee:
Gigaphoton Co., Ltd.
International Classes:
H01S3/225; G01J1/02; H01S3/00
Domestic Patent References:
JP2011252841A2011-12-15
JPS63272087A1988-11-09
JPS63305577A1988-12-13
JP2000150998A2000-05-30
JPH11201869A1999-07-30
JP2001156374A2001-06-08
JP2007005538A2007-01-11
Foreign References:
WO2018016066A12018-01-25
WO2017199395A12017-11-23
US20180017875A12018-01-18
Attorney, Agent or Firm:
Kenzo Matsuura



 
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