Title:
駆動部計測装置及びそれを備えたシリコーン単結晶成長装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP6812519
Kind Code:
B1
Abstract:
【課題】より精緻かつ簡便に駆動部に対する計測を行うことができ、駆動部の速度検証を介して駆動部の速度と変位を正確に制御できる駆動部計測装置及びそれを備えたシリコン単結晶成長装置を提供する。【解決手段】本発明は、るつぼを支持するるつぼ支持台；前記るつぼ上部で種子結晶を昇降または回転させる引き上げ手段；前記るつぼ支持台を回転または昇降させるるつぼ駆動手段；前記引き上げ手段に着脱結合されるフラットナット；前記るつぼ駆動手段に着脱結合されるるつぼ軸検査ジグ；及び前記フラットナットと前記るつぼ軸検査ジグに結合され、前記引き上げ手段と前記るつぼ駆動手段の昇降または回転変位の少なくともいずれか一つを測定する変位測定部を含む駆動部計測装置を提供する。【選択図】図２
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Inventors:
Kim, Ute
Application Number:
JP2019152768A
Publication Date:
January 13, 2021
Filing Date:
August 23, 2019
Export Citation:
Assignee:
SK Syltron Company Limited
International Classes:
C30B15/00; C30B29/06
Domestic Patent References:
| JP2016538226A |
Foreign References:
| KR1020090061817A | ||||
| CN202793517U |
Attorney, Agent or Firm:
Shigeki Yamakawa
Masaki Yamakawa
Masaki Yamakawa