Title:
慣性センサー、慣性センサーの製造方法、および慣性計測装置
Document Type and Number:
Japanese Patent JP2024005410
Kind Code:
A
Abstract:
【課題】信頼性が高い慣性センサー、慣性センサーの製造方法を提供すること。【解決手段】慣性センサーは、基板と、前記基板の主面に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜における前記基板とは反対側の面に設けられた第１半導体層および第２半導体層と、前記第１半導体層における前記第２半導体層側の第１側面に設けられた第１酸化膜と、前記第２半導体層における前記第１半導体層側の第２側面に設けられた第２酸化膜と、前記第１酸化膜及び前記第２酸化膜の上方、及び前記第１酸化膜及び前記第２酸化膜の間に埋め込まれた平坦化絶縁膜と、前記平坦化絶縁膜上に設けられ、前記第２半導体層と電気的に接続された配線とを備える。【選択図】図３
More Like This:
| JPH0763780 | ACCELERATION SENSOR |
| JPS59169184 | MANUFACTURE OF PRESSURE SENSOR |
| JP5034043 | Accelerometer and accelerometer |
Inventors:
Teruo Takizawa
Kazunori Ueno
Daiki Goto
Kazunori Ueno
Daiki Goto
Application Number:
JP2022105586A
Publication Date:
January 17, 2024
Filing Date:
June 30, 2022
Export Citation:
Assignee:
Seiko Epson Corporation
International Classes:
H01L29/84; G01P15/125
Attorney, Agent or Firm:
Satoshi Nakai
Hiroki Matsuoka
Masayuki Imamura
Hiroki Matsuoka
Masayuki Imamura