微細パターンを有する樹脂フィルムの製造方法及び有機ＥＬ表示装置の製造方法並びに微細パターン形成用基材フィルム、及びサポート部材付き樹脂フィルム

Title:

Document Type and Number:

Japanese Patent JP6801130

Kind Code:

B1

Abstract:

平板状のサポート部材（２）の第１面に金属膜（３）を形成し、金属膜（３）のサポート部材（２）の表面に樹脂硬化膜を形成する。樹脂硬化膜に微細加工用のレーザ光を照射し、所望の微細パターン（１３）を形成することによって微細パターンを有する樹脂フィルム（１）とする。その後、サポート部材（２）の第１面と反対面である第２面に向けて微細加工用のレーザ光とは異なる波長の紫外光を照射し、樹脂フィルム（１）をサポート部材（２）から剥離する。

More Like This:

WO/2022/028182	METAL MASK, EVAPORATION METHOD, DISPLAY PANEL AND DISPLAY DEVICE
JP2022192018	APPARATUS FOR MANUFACTURING MASK DEVICE, RECORDING MEDIUM, METHOD FOR MANUFACTURING MASK DEVICE AND MASK DEVICE

Inventors:

Katsuhiko Kishimoto
Susumu Sakio

Application Number:

JP2019570172A

Publication Date:

December 16, 2020

Filing Date:

March 27, 2019

Export Citation:

Click for automatic bibliography generation Help

Assignee:

Sakai Display Products Co., Ltd.

International Classes:

C23C14/04; C23C14/24; G09F9/00; G09F9/30; H01L27/32; H01L51/50; H05B33/10

Domestic Patent References:

JP2017014620A	2017-01-19
JP2018138698A	2018-09-06
JP2018172798A	2018-11-08

Foreign References:

WO2017168774A1

2017-10-05

Attorney, Agent or Firm:

Asahina Patent Office

Previous Patent: うつ病の治療方法

Next Patent: 診断装置、診断方法、及び診断プログラム